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[发明专利]一种表面改性处理设备及改性处理方法-CN202310905793.0有效
发明人： 林默原;章莹;姚利峰 -专利权人：苏州迈微能等离子科技有限公司
申请日： 2023-07-24 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种表面改性处理设备及改性处理方法，表面改性处理设备包括真空腔、等离子体源装置、滚筒和驱动组件，真空腔包括可开合的腔体和腔门，腔体和/或腔门上设有真空抽气口；等离子体源装置设置在真空腔外，其被配置为产生等离子物质；被配置为容纳待处理材料的滚筒设置在真空腔内，滚筒的内部与真空腔连通；驱动组件被配置为驱动滚筒转动；其中，等离子体源装置产生的等离子通过导流通道输入至真空腔内。本发明通过将等离子激发区和材料处理区分隔设计，使得等离子放电过程不受处理物以及处理物的运动影响，实现稳定放电，进而提高材料处理质量。
一种表面改性处理设备方法

[发明专利]一种微波等离子体刻蚀设备及刻蚀方法-CN202310380340.0有效
发明人： 林默原 -专利权人：苏州迈微能等离子科技有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种微波等离子体刻蚀设备及刻蚀方法，刻蚀设备包括微波功率源和等离子炬，等离子炬包括外管、内管和聚能喷头，聚能喷头包括均具有在轴向向外方向上内径缩小的变径结构的金属外管喷头及介质内管喷头，介质内管喷头与金属外管喷头的内壁贴合；介质内管喷头的外端面探出金属外管喷头的外端面，且所述介质内管喷头在外端部的缩率较其他变径结构处的缩率减小；或者，所述介质内管喷头相对于所述金属外管喷头探出的外端部为匀直段；微波功率源与内管连通并向内管馈入脉冲式的微波，其输出微波功率范围为20~500 W，微波的占空比小于或等于99%。本发明能够实现高能低温的等离子体刻蚀，避免在刻蚀过程中损伤被刻蚀物体。
一种微波等离子体刻蚀设备方法

[发明专利]一种常压自点火式微波等离子炬及微波等离子发生系统-CN202010311833.5有效
发明人： 林默原;章莹;姚利峰 -专利权人：苏州迈微能等离子科技有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种常压自点火式微波等离子炬及微波等离子发生系统，等离子炬包括空心管状的内导体、套设在内导体局部外壁处的短路调谐杆、套设在短路调谐杆外壁处的空心管状的外导体以及用于向微波等离子炬馈入微波信号的射频同轴连接器；内导体具有用于流通工作气体的进气端与出气端，外导体的一端与短路调谐杆嵌套配合，外导体的另一端与内导体的出气端为微波等离子炬的点火端；内导体和外导体在靠近点火端的一端均具有缩口结构，内导体外表面与外导体内表面之间在非缩口区域形成75‑90欧姆特征阻抗的同轴传输面。本发明的等离子炬采用内导体顶部逐渐变细且呈尖角、外导体内壁收口结构，使内导体顶端在较低功率下产生击穿场强，实现常压自点火。
一种常压点火式微等离子微波发生系统

[实用新型]微波功率源、微波等离子体装置-CN202023243091.1有效
发明人： 林默原;章莹;姚利峰 -专利权人：苏州迈微能等离子科技有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微波功率源、微波等离子体装置，微波功率源包括微波信号发生器，用于产生微波信号；信号调节单元，用于对微波信号的幅度、相位进行调节，并用于加载不同频率与占空比的脉冲信号；半导体放大单元；信号传输与负载检测单元，用于将半导体放大单元放大的微波信号发送至负载，并对发送的微波信号以及由负载产生的微波反射信号进行检测，得到检测采样信号；控制单元，用于接收并分析检测采样信号，以根据分析结果来控制微波信号发生器的信号发射频率和/或控制信号调节单元调节方式。本实用新型实现自动点火频率搜索、自动点火流程以及自调谐流程，解决了目前传统微波等离子设备较难自动点火，难以稳定工作的问题。
微波功率等离子体装置

[实用新型]一种常压自点火式微波等离子炬及微波等离子发生系统-CN202022564381.X有效
发明人： 林默原;章莹;姚利峰 -专利权人：苏州迈微能等离子科技有限公司
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种常压自点火式微波等离子炬及微波等离子发生系统，等离子炬包括空心管状的内导体、套设在内导体局部外壁处的短路调谐杆、套设在短路调谐杆外壁处的空心管状的外导体以及用于向微波等离子炬馈入微波信号的射频同轴连接器；内导体具有用于流通工作气体的进气端与出气端，外导体的一端与短路调谐杆嵌套配合，外导体的另一端与内导体的出气端为等离子炬的点火端；内导体和外导体在靠近点火端的一端均具有缩口结构，内导体出气端处的外径与外导体的所述另一端处的内径均在出气方向上由大变小。本实用新型的等离子炬采用内导体顶部逐渐变细且呈尖角、外导体内壁收口结构，使内导体顶端在较低功率下产生击穿场强，实现常压自点火。
一种常压点火式微等离子微波发生系统

[发明专利]微波功率源、微波等离子体系统、点火方法及自调谐方法-CN202011593731.3在审
发明人： 林默原;章莹;姚利峰 -专利权人：苏州迈微能等离子科技有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： H05H1/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种微波功率源、微波等离子体系统、点火方法及自调谐方法，微波功率源包括微波信号发生器，用于产生微波信号；信号调节单元，用于对微波信号的幅度、相位进行调节，并用于加载不同频率与占空比的脉冲信号；半导体放大单元；信号传输与负载检测单元，用于将半导体放大单元放大的微波信号发送至负载，并对发送的微波信号以及由负载产生的微波反射信号进行检测，得到检测采样信号；控制单元，用于接收并分析检测采样信号，以根据分析结果来控制微波信号发生器的信号发射频率和/或控制信号调节单元调节方式。本发明实现自动点火频率搜索、自动点火流程以及自调谐流程，解决了目前传统微波等离子设备较难自动点火，难以稳定工作的问题。
微波功率等离子体系统点火方法调谐

[发明专利]双频驱动等离子发生器的微波功率源及等离子发生系统-CN202011239269.7在审
发明人： 林默原;章莹;姚利峰 -专利权人：苏州迈微能等离子科技有限公司
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种双频驱动等离子发生器的微波功率源及等离子发生系统，微波功率源包括微波信号发生单元和系统控制单元，其中，微波信号发生单元包括第一微波信号发生器和第二微波信号发生器；在等离子发生器的激发点火阶段，第一微波信号发生器工作；在等离子发生器由激发点火阶段向维持阶段过渡期间，两个微波信号发生器同时工作；在等离子发生器的维持阶段，至少第二微波信号发生器工作；且系统控制单元控制两微波信号发生器使微波功率源产生的微波信号频率与等离子负载的频率响应匹配。本发明使用两个微波信号发生器，一个用于激发等离子并维持至负载稳定，另一个在等离子体激发后，匹配等离子负载所需的频率变化并稳定维持等离子体。
双频驱动等离子发生器微波功率发生系统

[实用新型]双频驱动等离子发生器的微波功率源及等离子发生系统-CN202020590172.X有效
发明人： 林默原;章莹;姚利峰 -专利权人：苏州迈微能等离子科技有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双频驱动等离子发生器的微波功率源及等离子发生系统，微波功率源包括微波信号发生单元和系统控制单元，其中，微波信号发生单元包括第一微波信号发生器和第二微波信号发生器；在等离子发生器的激发点火阶段，第一微波信号发生器工作；在等离子发生器由激发点火阶段向维持阶段过渡期间，两个微波信号发生器同时工作；在等离子发生器的维持阶段，至少第二微波信号发生器工作；且系统控制单元控制两微波信号发生器使微波功率源产生的微波信号频率与等离子负载的频率响应匹配。本实用新型使用两个微波信号发生器，一个用于激发等离子并维持至负载稳定，另一个在等离子体激发后，匹配等离子负载所需的频率变化并稳定维持等离子体。
双频驱动等离子发生器微波功率发生系统

[实用新型]一种用于微波等离子体无极陶瓷灯泡-CN201820032336.X有效
发明人：单家芳;林默原;李永付;贾华;张文伟;宦维定;刘甫坤 -专利权人：单家芳
申请日： 2018-01-09 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： H01J65/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于微波等离子体无极陶瓷灯泡，包括透光材料制成的泡体，泡体内同轴设有腔体，泡体轴向单个外端或两个外端分别同轴连接有陶瓷柱，其中一个陶瓷柱中同轴设有通孔，通孔中同轴设有塞杆，由塞杆内端封闭腔体，封闭的腔体内填充有发光物质和稀有气体。本实用新型具有更高的工作温度和散热特性，大大提高了整体灯具的发光效率，可以大范围改善显色指数和色温等光参数，结构简单，体积小，功率大，成本低，便于大批量生产。
同轴微波等离子体本实用新型陶瓷灯泡陶瓷柱泡体塞杆通孔外端无极体内发光物质发光效率范围改善封闭腔体散热特性同轴连接透光材料稀有气体显色指数整体灯具光参数体积小内端腔体色温轴向填充封闭生产

[发明专利]一种用于微波等离子体无极陶瓷灯泡-CN201810018971.7在审
发明人：单家芳;林默原;李永付;贾华;张文伟;宦维定;刘甫坤 -专利权人：单家芳
申请日： 2018-01-09 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： H01J65/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微波等离子体无极陶瓷灯泡，包括透光材料制成的泡体，泡体内同轴设有腔体，泡体轴向单个外端或两个外端分别同轴连接有陶瓷柱，其中一个陶瓷柱中同轴设有通孔，通孔中同轴设有塞杆，由塞杆内端封闭腔体，封闭的腔体内填充有发光物质和稀有气体。本发明具有更高的工作温度和散热特性，大大提高了整体灯具的发光效率，可以大范围改善显色指数和色温等光参数，结构简单，体积小，功率大，成本低，便于大批量生产。
一种用于微波等离子体无极陶瓷灯泡

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