专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板内部缺陷检查装置及方法-CN201010001197.2无效
  • 张仁明;李俞玺;周妍君;陈正锴;林瑞堉 - 台达电子工业股份有限公司
  • 2010-01-15 - 2011-07-20 - G01N21/88
  • 本发明提供一种基板内部缺陷检查装置及方法,该装置包含至少一光源,以及一取像模块,光源设在基板的一侧面并朝该侧面发射一对应穿透该基板的光线,该光线相对该侧面的入射角度为限制在一第一预定角度内,取像模块设于基板的上方。该方法包括:首先提供至少一光源在一基板的一侧面,并使该光源朝该侧面发射一穿透该基板的光线。并且提供一取像模块,撷取该基板的上表面的影像,其中需使该光线相对该侧面的入射角度限制在一可使该光线在该基板内以全反射传递的一第一预定角度内。借此,若光线于基板内传导时遭遇内部缺陷时,则会缺陷处形成亮点,以借取像模块检测到此缺陷的位置。采用上述装置及方法可确实提高内部缺陷较佳的影像清晰度。
  • 内部缺陷检查装置方法
  • [发明专利]表面检测装置及方法-CN200810133087.4无效
  • 何国诚;张仁明;陈诗涌;陈正锴;赖夏枝;许贸雄;林瑞堉;沈家麟 - 台达电子工业股份有限公司
  • 2008-07-08 - 2010-01-13 - G01N21/88
  • 一种表面检测装置及方法,用以非破坏性地检测一受测表面,该装置包括一改质单元及一处理单元。该改质单元提供一表面改质剂至该受测表面上,以使该受测表面暂时形成一改质表面。该处理单元利用侦测该改质表面,获得第一表面特性资料,且根据该第一表面特性资料,决定该受测表面是否具有一异质瑕疵。本发明通过在受测表面上加表面改质剂后检测该改质表面判断受测表面是否具有异质瑕疵,该方法不受待测基材的受测表面所具有的不规则纹路而影响,且其检测准确快速,另外,对受测表面检测完毕后,还可进行复原,不破坏原受测表面。
  • 表面检测装置方法
  • [发明专利]具清洁功能的电浆产生装置-CN200710130551.X无效
  • 林瑞堉;王腾纬;郭明村;寇崇善;黄崇杰;俞志杰 - 台达电子工业股份有限公司
  • 2007-07-16 - 2009-01-21 - C23C16/00
  • 本案揭示一种具清洁功能的电浆产生装置,用以提供一电浆以清洁一绝缘板,该电浆产生装置包含至少一电浆源与一可动部件,其中该电浆源是位于该绝缘板远离该电浆的一第一侧以透过该绝缘板而产生该电浆,该可动部件则是位于该绝缘板远离该电浆源的一第二侧,以结合于该绝缘板并形成一封闭空间而容置该电浆,进而使该电浆清洁该绝缘板。本发明能有效改善电浆产生装置在辅助化学气相沉积过程中所产生的镀膜很容易附着于处理腔室的内部腔壁而造成处理腔室中电磁波输入端的绝缘板的有效泄露区间缩减并导至电浆有效强度相应减小的现象。
  • 清洁功能产生装置
  • [发明专利]自动分析修补装置-CN200710127008.4有效
  • 张仁明;曾彦馨;许贸雄;林瑞堉 - 台达电子工业股份有限公司
  • 2007-06-13 - 2008-12-17 - H01L21/00
  • 本发明提供一种自动分析修补装置。该自动分析修补装置包含一自动缺陷分析系统、一自动缺陷修补系统及一手动缺陷修补系统;其中该自动缺陷修补系统还包含一数据撷取单元、一运算单元及一缺陷分类单元。当进行一待测物缺陷自动分析修补时,该数据撷取单元会撷取该待测物的一待分析缺陷数据并交予该运算单元分析以得一缺陷分析结果,接着该缺陷分类单元会针对该缺陷分析结果加以分类以利后续该自动缺陷修补系统或该手动缺陷修补系统进行缺陷修补。
  • 自动分析修补装置
  • [发明专利]等离子体产生装置-CN200710108183.9无效
  • 林瑞堉;寇崇善;王腾纬;潘彦儒;张子青;俞志杰 - 台达电子工业股份有限公司
  • 2007-05-30 - 2008-12-03 - H05H1/46
  • 本发明提供一种等离子体产生装置,以产生强度均匀的等离子体。该等离子体产生装置包含至少一天线组,该天线组包含至少一第一天线与至少一第二天线,该第一天线与该第二天线分别是用以提供一第一电磁波与一第二电磁波,其中在该第一天线与该第二天线的一重叠区域内,该第一电磁波与第二电磁波可以相互耦合而通过该天线组使该等离子体产生装置产生强度均匀的该等离子体。通过本发明,该等离子体产生装置可以具有制造成本极低而应用性极高的优点,并具有很高的产业价值。
  • 等离子体产生装置

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