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[发明专利]一种大温度梯度薄膜温度传感器及其制备方法-CN202310840540.X在审
发明人：田边;樊旭;史萌;张仲恺;刘兆钧;刘江江;林启敬;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01K1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种大温度梯度薄膜温度传感器及其制备方法，属于温度测量技术领域；传感器包括平面基底、设置于平面基底上若干的孔、正极热电偶薄膜、负极热电偶薄膜、冷端热电偶及金属导线；其中正极热电偶薄膜与负极热电偶薄膜的一端重叠作为温度敏感区，另一端作为冷端；平面基底上开设的若干孔增大了导热热阻，从而增加了温度梯度，降低了热电偶薄膜的冷端温度，进而保证冷端引线连接的可靠性并提升热电输出。另外，基于丝网印刷技术制备正极热电偶薄膜与负极热电偶薄膜，制备工艺简单、成本低、仪器设备要求低，经济性好。
一种温度梯度薄膜温度传感器及其制备方法

[发明专利]一种夹层结构的探针式薄膜温度传感器及其制备方法-CN202310840505.8在审
发明人：田边;樊旭;张仲恺;史萌;刘兆钧;刘江江;林启敬;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01K1/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种夹层结构的探针式薄膜温度传感器及其制备方法，属于温度测量技术领域，传感器包括第一基底与第二基底，设置于第一基底与第二基底之间的正极热电偶薄膜、负极热电偶薄膜、冷端热电偶及金属导线，以及基底端面的端面热电偶薄膜；利用基底及耐高温胶将正极热电偶薄膜与负极热电偶薄膜保护起来，只有形成热接点的端面热电偶薄膜直接暴露在高温环境中，避免正负极热电偶薄膜受高温环境及气流冲刷而导致失效，也保证了薄膜热接点的快速响应；正负极热电偶薄膜及端面热电偶薄膜的制备采用丝网印刷技术，制备工艺简单，成本低，仪器设备要求低，经济性好。
一种夹层结构探针薄膜温度传感器及其制备方法

[发明专利]一种全光纤系统的二维位移扫描测磁平台及其测磁方法-CN202310734907.X在审
发明人： 林启敬;单文军;赵曼;朱良全;姚坤;张福政;仙丹;赵立波;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01R33/032 文献下载
摘要：一种全光纤系统的二维位移扫描测磁平台及其测磁方法，平台包括激光源及微波源，激光源激发集成磁力探针内的金刚石产生荧光信号，荧光信号依次通过宽带多模光纤环形器、第三光纤转换接头，进入光电探测器检测后，再通过锁相放大器解调后反馈到上位机；测磁方法标定磁场线圈确定与三轴笛卡尔坐标系下的角度、磁场大小，利用标定磁场确定NV色心的四个中心轴，测量待测磁场的ODMR谱图后，再测量标定磁场与待测磁场的叠加场，最后得出待测磁场在标定磁场坐标系下的磁场值；本发明的宽带多模光纤环形器有效地分离了金刚石发出的激光和荧光，取代了传统的二向色镜；使得本发明相比于传统的共聚焦系统，器件集成化程度高，测试方便准确，可用于实验室外的远程磁测。
一种光纤系统二维位移扫描平台及其方法

[发明专利]一种基于融合神经网络的薄膜热电偶误差补偿方法及系统-CN202310377270.3在审
发明人：田边;李博;张仲恺;何铭洲;王猛;陈伦涛;徐书生;林启敬;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学;烟台先进材料与绿色制造山东省实验室
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于融合神经网络的薄膜热电偶误差补偿方法及系统，包括：构建BP神经网络；将粒子群优化算法融合到BP神经网络模型中；将标准热电偶温度传感器热电势作为输出标签，薄膜热电偶热电势作为输入特征，放入训练后的神经网络，训练后的神经网络经过自身训练学习，达成训练的目标；根据MSE损失函数的计算方法，计算训练后薄膜热电偶温度传感器输出电压预测值与标准热电偶温度传感器输出电压之间的最低误差。本发明将神经网络技术引入薄膜热电偶进行补偿，在薄膜热电偶输出的后端对热电曲线进行校正，同时在硬件层面相较于现存技术大幅度简化，精度也可以随着所收集的数据集的增多而在后续不断迭代提高，且不局限于实验室工况。
一种基于融合神经网络薄膜热电偶误差补偿方法系统

[发明专利]一种基于循环神经网络的薄膜热电偶误差补偿方法-CN202310376428.5在审
发明人：田边;何铭洲;张仲恺;李博;李乐;李水敏;雷嘉明;方续东;林启敬;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01K7/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于循环神经网络的薄膜热电偶误差补偿方法，包括：采用丝网印刷工艺制备薄膜热电偶；对薄膜热电偶进行温度测试；采集薄膜热电偶和标准K型热电偶的热电动势数据，并在集成开发环境Pycharm中对采集到的热电动势数据进行处理；在Pycharm中构建循环神经网络，加载数据集，调整神经网络的初始状态并定义超参。本发明对热电信号加以校正和补偿，解决了在氧化铝陶瓷刀具上薄膜热电偶由冷端温度变化和制造偏差等导致的测量误差问题。对薄膜热电偶温度传感器因为冷端温度在测试中上升所导致的热电信号偏差，以及在丝网印刷工艺过程中存在的随机误差进行了校正和补偿，从而提高了薄膜热电偶传感器的精度。
一种基于循环神经网络薄膜热电偶误差补偿方法

[发明专利]一种玻璃纤维金属复合结合剂超硬磨料砂轮及其制备方法-CN202210611904.2有效
发明人：段端志;刘衡;林启敬;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B24D3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种玻璃纤维金属复合结合剂超硬磨料砂轮及其制备方法，通过在金刚石或CBN磨料表面粘接包裹一层合金钎料后烘干得到超硬磨料体，玻璃纤维和合金钎料均匀混合得到玻璃纤维金属复合体，然后超硬磨料体、玻璃纤维金属复合体和增强体混合制备成砂轮毛坯，最后将砂轮毛坯置在真空环境、温度800℃‑950℃下保温10‑20min进行真空烧结，玻璃纤维金属复合结合剂由于合金钎料能与超硬磨料形成化学结合从而对超硬磨料具有较高的把持强度，磨削过程中超硬磨料不容易脱落，砂轮的加工性能和工件的表面精度得到提升。同时，由于玻璃纤维耐磨性差，在磨削过程中能被快速去除从而使砂轮能够持续出刃，提升砂轮的加工性能。
一种玻璃纤维金属复合结合剂超硬磨料砂轮及其制备方法

[发明专利]一种基于自动学习和集成学习的静电形成纳米线半导体VOCs识别方法-CN202310384296.0在审
发明人：赵立波;杨晓凯;韩香广;夏勇;李敏;贾琛;杨萍;林启敬;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G06F18/241 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于自动学习和集成学习的静电形成纳米线半导体VOCs识别方法，识别方法包括如下过程：获取第一数据集或第二数据集，其中，第一数据集包括待检测VOCs通过静电形成纳米线前后的背栅阈值电压偏移量、背栅亚阈值摆动偏移量和背栅源漏电流偏移量，所述第二数据集包括待检测VOCs通过静电形成纳米线前后的结栅极阈值电压偏移量、结栅亚阈值摆动偏移量和结栅源漏电流偏移量；利用已训练好的CatBoost模型、Stacking模型或Blending模型对第一数据集进行处理，得到待检测VOCs种类；或者，利用已训练好的CatBoost模型、Stacking模型或Blending模型对第二数据集进行处理，得到待检测VOCs的种类。
一种基于自动学习集成静电形成纳米半导体 vocs 识别方法

[发明专利]一种液压系统内高精度温度压力复合测量传感器-CN202310425843.5在审
发明人：韩香广;卢旭浩;苏文斌;李支康;任伟;皇咪咪;华迎利;杨萍;林启敬;景蔚萱;赵立波;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01K7/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种液压系统内高精度温度压力复合测量传感器，包括外壳，所述外壳中设置有引压空腔，所述引压空腔内设置有压力芯片，所述压力芯片通过金属柱引出外壳，所述外壳一端设置有温度探头，所述温度探头内部安置铂电阻，铂电阻通过引线引出外壳。本发明采用分体式结构，实现了传感器上压力和温度的同时测量，且压力芯片和温度探头在测量时互不干扰，且温度探头测量的温度可用于对压力进行补偿，提高了传感器测量准确度。
一种液压系统高精度温度压力复合测量传感器

[发明专利]一种具有位置无关纯轴向变形压阻梁的MEMS压阻式加速度计芯片及其制备方法-CN202211715305.1在审
发明人：夏勇;王延斌;赵立波;于明智;卢德江;贾琛;韩香广;李支康;林启敬;杨萍;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有位置无关纯轴向变形压阻梁的MEMS压阻式加速度计芯片及其制备方法，子单元为一轴对称结构，第一支撑梁的一端与芯片外框连接，第一支撑梁的另一端与第一质量块一端的中部连接，第一质量块的另一端与第二质量块的一端之间通过第一敏感梁和第二敏感梁连接，第二质量块另一端的中部与第二支撑梁的一端连接，第二支撑梁的另一端与芯片外框连接；第一支撑梁和第二支撑梁关于子单元对称轴对称，第一质量块和第二质量块关于子单元对称轴对称，第一敏感梁和第二敏感梁关于第一支撑梁以及第二支撑梁的轴线对称。该芯片支撑梁和敏感梁通过质量块分离设置，极大弱化了灵敏度与谐振频率之间的直接耦合关系。
一种具有位置无关轴向变形压阻梁 mems 压阻式加速度计芯片及其制备方法

[发明专利]一种薄膜超材料结构谐振型温度传感器-CN202310310011.9在审
发明人：王琛英;陈伦涛;田边;张仲恺;王松;刘兆钧;张雅馨;王猛;李博;柳迪;林启敬;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01K11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜超材料结构谐振型温度传感器，包括介质层，介质层上设置有由超材料结构组成的超材料层，超材料结构构成谐振结构单元。本发明提供的薄膜超材料结构温度传感器采用设计简单的超材料结构，采用微波散射式传感原理，实现温度传感器品质因数高，灵敏度高，工作在GHz频段的特点。
一种薄膜材料结构谐振温度传感器

[发明专利]一种磁力计探针、系统及探针制备方法-CN202310340061.1在审
发明人： 林启敬;赵曼;单文军;陈瑶;赵立波;仙丹;孟庆之;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01R33/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁力计探针、系统及探针制备方法，通过在多模光纤端部集成了锥形透镜，锥形透镜的端部集成了金刚石头部，将金刚石头部固定于锥形透镜上可同时增强激光激发效率和荧光收集效率；多模光纤端部的锥形透镜通过锥形透镜侧面与空气界面的全反射增强了光纤端面的激光功率密度，同尺寸的金刚石颗粒可以激发出更多的荧光，从而提升了激光激发效率，大大提高了其适用范围，并且采用多模光纤结构，能够将整体磁力计探针结构小型化，提高其使用范围，克服了传统NV色心共聚焦方案的测量范围小，实验器材过于笨重的缺点，解决了金刚石NV色心‑光纤集成磁力计的数值孔径小、荧光收集效率低的问题，提高了系统的测磁灵敏度。
一种磁力计探针系统制备方法

[发明专利]一种光纤粗锥激励型光栅传感器及其制备方法-CN202310078514.8在审
发明人：赵娜;林启敬;李龙博;姚坤;田边;赵立波;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-01-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种光纤粗锥激励型光栅传感器及其制备方法，包括单模光纤段和光纤锥段，单模光纤段与光纤锥段之间设置有多模光栅，本申请通过在一段单模光纤段的多模光栅前端加入光纤锥段，当一束光引入时，由于光纤锥段结构出可以激发出高阶模式，当高阶和低阶模式的光遇到多模光栅结构时发生反射，通过探测反射信号可以得到多模式的光栅信号，进而获得高精度测量结果，该传感器具有灵敏度高、易于制造、价格低廉、结构紧凑、温度范围宽等优点，在高精度温度测量等领域具有较大的潜力。通过在单模光纤段的多模光栅上用熔接机制作出光纤锥段耦合点，遇到光纤光栅的光会发生反涉，形成待测光谱，监测反涉光谱随待测量的变化，实现光纤传感测量。
一种光纤激励光栅传感器及其制备方法

[发明专利]一种光纤传感器双层封装结构及其制作方法-CN202310243259.8在审
发明人： 林启敬;李龙博;赵娜;姚坤;仙丹;孟庆之;张福政;田边;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：一种光纤传感器双层封装结构及其制作方法，封装结构包括由内而外设置的传感光纤、石英封装管及SiC封装管，SiC封装管和石英封装管的封装端面平齐并通过密封胶粘结密封，另一端面通过密封胶粘结密封时仅保留传感光纤从中穿出，穿出部分为导出光纤，导出光纤伸出封装管，以实现光信号的传输；石英封装管和传感光纤间采用激光焊接式的方法进行连接，石英封装管和SiC封装管间采用高温密封胶胶粘的方法进行连接；光纤传感器通过石英封装管和SiC封装管进行封装保护，本发明封装结构尤其适用于航空航天领域高温环境下，可以有效保证传感器的精度和可靠性，减少传感器在恶劣的工程环境中的损伤，实现光纤传感器的重复使用。
一种光纤传感器双层封装结构及其制作方法

[发明专利]一种双腔MEMS碱金属气室及其制备方法-CN202211604516.8在审
发明人：赵立波;王延斌;秦广照;于明智;陈瑶;张赟;马银涛;路舜;郭举;杨萍;林启敬;王建鲁;张南;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学;明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司;山东明石微纳技术研究院
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种双腔MEMS碱金属气室及其制备方法，P型(100)晶面双面抛光硅片上设有工作腔室、辅助腔室以及连接通道，第一玻璃片和第二玻璃片分别键合于P型(100)晶面双面抛光硅片的背面和正面并将工作腔室、辅助腔室和连接通道密封，工作腔室、辅助腔室、连接通道表面、第一玻璃片上与工作腔室和辅助腔室对应的区域以及第二玻璃片上与工作腔室、辅助腔室和连接通道对应的区域表面均设有HF型派瑞林薄膜；辅助腔室内设有碱金属化学反应物，工作腔室、辅助腔室和连接通道内填充有保护气体。与传统碱金属气室相比，本发明双MEMS碱金属气室具有体积小、气室间一致性好，以及批量制造等优点。
一种 mems 碱金属及其制备方法

[发明专利]一种柔性温度传感器及其制备方法-CN202011547272.5有效
发明人：刘兆钧;田边;张丙飞;程功;张仲恺;刘江江;史鹏;林启敬;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性温度传感器及其制备方法，包括柔性绝缘基底以及设置于柔性绝缘基底上的正极热电偶薄膜及负极热电偶薄膜，其中，正极热电偶薄膜的一端与负极热电偶薄膜的一端重叠作为温度敏感区域，正极热电偶薄膜的另一端与负极热电偶薄膜的另一端作为冷端，该传感器结构及其制备工艺简单，且制备成本低。
一种柔性温度传感器及其制备方法

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