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- [发明专利]基板收纳容器-CN201880004500.9有效
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松鸟千明
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未来儿股份有限公司
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2018-06-12
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2023-10-24
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H01L21/673
- 本发明提供一种基板收纳容器，其中，插销机构包括：卡合用插销(32)；卡合用插销升降凸轮(35)，通过向卡合用插销(32)进退的方向进退，使卡合用插销(32)相对于卡合凹部进退，在卡合凹部内使卡合用插销(32)接近或远离容器主体的另一端部；以及转动凸轮(31)，卡合用插销升降凸轮(35)具有卡合用插销连接部(357)，所述卡合用插销连接部(357)通过向卡合用插销(32)接近卡合凹部的方向移动，使卡合用插销(32)与卡合凹部卡合，此后使卡合用插销(32)接近容器主体的另一端部。
- 收纳容器
- [发明专利]基板收纳容器-CN202080102706.2在审
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松鸟千明
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未来儿股份有限公司
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2020-07-10
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2023-03-31
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H01L21/673
- 本发明提供一种基板收纳容器，具备：容器主体；盖体，能够相对于容器主体开口部拆装，且能够封闭容器主体开口部；以及部件(81)，安装于容器主体或者盖体，部件(81)与容器主体或盖体或其他部件(82、83)的连接部分具备：压入固定部(8101、8201)，构成为通过压入进行定位而相互固定；以及脉冲熔敷部(8102、8202)，通过脉冲熔敷而形成，维持压入固定部(8101、8201)的定位及固定。
- 收纳容器
- [发明专利]基板收纳容器-CN202080099201.5在审
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松鸟千明
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未来儿股份有限公司
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2020-03-31
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2022-12-02
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H01L21/673
- 本发明提供一种基板收纳容器。基板收纳容器(1)具备：容器主体(2)，具备在一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部且另一端部被封闭的筒状的壁部，利用壁部的内表面形成能够收纳基板且与容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体(3)；以及密封构件(4)，在容器主体(2)的壁部(20)以能够相对于容器主体(2)的壁部(20)拆装的方式设置有中央被固定构件(6)，该中央被固定构件(6)卡止并固定在定位部，该定位部设置在用于将收纳在基板收纳空间中的基板向处理装置搬运的装载口。
- 收纳容器
- [发明专利]基板收纳容器-CN201980098710.3在审
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松鸟千明
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未来儿股份有限公司
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2019-07-25
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2022-03-04
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H01L21/673
- 本发明提供一种基板收纳容器，具备：容器主体；盖体；能够将基板收纳空间与容器主体的外部的空间连通的通气路(210)；具有将流入通气路(210)的气体向基板收纳空间供给的多个开口部(802)的气体喷出喷嘴部(8)；以及能够使气体以均匀化的流量从多个开口部(802)流出的气体流量均匀化部，气体流量均匀化部具有形成在通气路(210)与开口部(802)之间的分支路(801)，该分支路(801)使来自通气路(210)的气体的流动分支，分支路(801)具有：分支开始部(8011)，使气体的流动分支为多个，并且使分支后的气体平行地流通；以及多个前端侧分支部(8015)，使在分支开始部(8011)中流通的气体分别进一步分支并向开口部(802)流通。
- 收纳容器
- [发明专利]基板收纳容器-CN201880003612.2有效
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松鸟千明
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未来儿股份有限公司
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2018-04-27
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2020-12-22
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H01L21/673
- 本发明提供一种基板收纳容器，其包括：容器主体(2)；盖体，能相对于容器主体开口部进行装拆，并能封闭容器主体开口部；通气流路(210)，能将基板收纳空间(27)与容器主体(2)的外部空间连通；以及气体喷出喷嘴部(8)，具有将流入通气流路(210)的气体供给到基板收纳空间(27)的多个开口部(802)，并且基板收纳容器具有能使气体从多个开口部(802)以均匀化的流量流出的气体流量均匀化部。
- 收纳容器
- [发明专利]基板收纳容器-CN201880091729.0在审
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松鸟千明
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未来儿股份有限公司
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2018-04-25
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2020-12-11
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H01L21/673
- 本发明提供基板收纳容器，其具备：容器主体(2)，具备筒状的壁部，所述壁部的一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部而另一端部封闭，由壁部的内表面形成能够收纳多张基板的、与容器主体开口部连通的基板收纳空间(27)；盖体，相对于容器主体开口部可装拆，能够封闭容器主体开口部；以及通气路(P)，能够连通基板收纳空间(27)和容器主体(2)的外部空间，通气路(P)形成于嵌入成型于容器主体(2)的通气路形成部件(245)。
- 收纳容器
- [发明专利]气体吹扫用端口-CN201880086095.X在审
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松鸟千明;西坂幸一
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未来儿股份有限公司
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2018-02-19
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2020-08-25
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H01L21/673
- 本发明提供气体吹扫用端口，其安装于收纳容器，所述收纳容器通过在一端部具有容器主体开口部的容器主体和相对于容器主体开口部可装拆且能够封闭容器主体开口部的盖体在内部形成收纳空间，所述气体吹扫用端口具备密封面(852)，所述密封面(852)设置在通气通道形成部(831)以及、气体吹扫用端口的通气通道形成部(831)和所述止回阀部件以外的部分(85)中的至少一方上，与气体注入端口贴紧，在密封面(852)具备贴紧垫，所述贴紧垫用于防止气体注入端口和密封面(852)之间的气体泄漏且由弹性体构成。
- 气体吹扫用端口
- [发明专利]薄板支持容器用盖体-CN201010521491.6有效
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松鸟千明;大林忠弘;小山贵立
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未来儿株式会社
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2004-10-14
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2011-04-06
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B65D55/02
- 本发明将盖体可靠地固定于容器本体，同时能轻易进行各部的清洗、干燥，抑制震动所造成的半导体晶片旋转。本发明的生产线用盖体15可塞住薄板支持容器11的容器本体12。简易装卸机构32，可伸出而接合于容器本体侧上的接合构件42，连结于接合构件且能伸出缩入的推出构件43，在推出构件推出接合构件时，将其前端面向一边顶上的前端侧凸轮40，将基端面向另一边顶下的基端下侧凸轮39，基端下侧凸轮同样将基端侧向另一边顶下的基端上侧凸轮53和顶压凸轮的突起69。简易装卸机构设为可自由装卸且可分开拆解，并有支持用肋126和支持用凸条131。
- 薄板支持容器用盖体
- [发明专利]模版输送容器-CN200510131481.0无效
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松鸟千明;柳原公一
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未来儿株式会社
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2005-12-14
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2006-06-28
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B65D85/86
- 即使在模版输送容器(11)的方向不同的情况下，仍可将其安装于模版储存器2中。模版输送容器(11)备有：舱(12)，在一端具有开口，并具有收纳模版的内部；门(14)，通过覆盖而封闭上述开口；密封件(15)，在通过上述门(14)封闭上述舱(13)时，将内部气密地密封。以方向相差180°的方式设置有2组运动销槽(61)，所述2组运动销槽(61)形成于上述门(14)的外侧表面上，用于定位并安装于装置侧。在上述舱(13)的外侧表面中与上述运动销槽(61)相对应的位置上，配置有用于承接并保持上述运动销槽(61)的承接部(22)，所述承接部(22)配置成从任意方向均可嵌合上述两组运动销槽(61)。
- 模版输送容器
- [发明专利]薄板支承容器用盖体及盖体的安装方法-CN200510129693.5无效
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松鸟千明;大林忠弘;井上忠利
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未来儿株式会社
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2005-12-20
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2006-06-28
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B65D85/86
- 本发明提供一种封闭薄板支承容器(11)的容器主体(12)的盖体(15)。盖体(15)的简易装卸机构(32)备有：卡止部件(42)，从主体部(30)上伸出，卡止在被嵌合部(24)上；引导部件(43)，在主体部(30)嵌合在容器主体(12)一侧的状态下安装在被嵌合部(24)上，将卡止部件(42)引导到被嵌合部(24)内；送出部件(44)，在与卡止部件(42)卡止的状态下转动，使卡止部件(42)从主体部(30)上伸出并卡止在被嵌合部(24)上。送出部件(44)分成以下两个转动区域：使卡止部件(42)卡止在被嵌合部(24)上，将盖体固定在容器主体一侧的转动区域；以及在将盖体固定在了容器主体一侧上的状态下使送出部件进一步转动，固定该送出部件自身的转动区域。
- 薄板支承容器用盖体安装方法
- [发明专利]模版处理系统-CN200510131478.9无效
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松鸟千明;柳原公一
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未来儿株式会社
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2005-12-14
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2006-06-21
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G03F7/20
- 对方向错误地安装的模版输送容器(11)进行自动修正。该模版处理系统具有模版输送容器、输送模版输送容器的输送机构(4、5)、烧制电路图案的曝光设备、保管多个模版(12)的模版储存器(2)。在从模版储存器至曝光设备(1)的烧制位置之间的路径上，备有检测模版输送容器的朝向并将模版输送容器变换为适当朝向的朝向变换机构(81)。朝向变换机构(81)备有：使模版输送容器旋转的旋转驱动部(82)、设置于从模版储存器到曝光设备(1)的烧制位置之间的路径的任意处并检测模版输送容器的方向的方向检测机构(83)、当由方向检测机构(83)检测出的方向偏离180°时控制旋转驱动部(82)修正成标准方向的控制部(84)。
- 模版处理系统
- [发明专利]模版输送容器-CN200510127255.5无效
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松鸟千明;柳原公一
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未来儿株式会社
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2005-11-24
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2006-06-07
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B65D85/86
- 本发明提供一种能安全且可靠地支承模版(12)的模版输送容器。该模版输送容器(11)包括：收纳模版(12)的箱(13)、将该箱(13)封闭并将其气密地密封的门(14)和密封件(15)。在箱(13)和门(14)的各内侧面上，具有一对模版保持器(25、45)，各模版保持器(25、45)具有倾斜面部(28)，该倾斜面部(28)接触并弹性地支承模版(12)的周缘的上侧角部(12A)或下侧角部(12B)。在倾斜面部(28)的内侧，具有凹部(31、52)，该凹部使倾斜面部具有缓冲功能，即、在模版(12)的周缘的上侧角部(12A)或下侧角部(12B)接触时，允许上述倾斜面部(28)的挠曲，从而弹性地支承。
- 模版输送容器
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