专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器-CN200510092880.0无效
  • 涂相征;李韫言 - 李韫言
  • 2005-08-25 - 2007-02-28 - G01L9/12
  • 一种微机械加工的电容式压力传感器,其结构主要包括:单晶硅衬底;处于单晶硅衬底表面,起电容器弹性电极作用的外延单晶硅层;处于单晶硅衬底边缘表面的外延单晶硅框架;覆盖外延单晶硅框架表面的介质薄膜;由外延单晶硅框架支持,起电容器固定电极作用的外延单晶硅层;由外延单晶硅框架所围绕,处于两外延单晶硅层之间的空洞夹层。传感器的制造采用多孔硅选择性形成,多孔硅上外延生长,以及多孔硅选择性腐蚀等技术。由于器件为全单晶硅结构,器件性能可以得到很大改进,制造成本也能大幅度降低。
  • 单片单晶硅微机加工电容压力传感器
  • [发明专利]采用微机械加工热隔离结构的热式传感器及其制造方法-CN200510088633.3有效
  • 涂相征;李韫言 - 李韫言
  • 2005-08-01 - 2007-02-07 - G01K7/02
  • 本发明的微机械加工的热隔离结构包括:硅片,硅片内的平底空腔,空腔上方的多孔单晶硅层,多孔单晶硅层表面的二氧化硅薄膜,以及多孔单晶硅层侧面和底部的无孔单晶硅层。多孔单晶硅层包括中心的矩形部分和边缘的伸出部分,伸出部分的一端固定于围绕空腔的硅片表层,另一端连接矩形部分,使其处于与硅片表面平行的悬挂状态。本发明利用上述热隔离结构制造红外温度传感器,可燃气体传感器,氧化和还原气体传感器,以及热式流量传感器。这些传感器具有灵敏度高,反应快,抗振动能力强,性能稳定,以及制造成本低等优点。
  • 采用微机加工隔离结构传感器及其制造方法
  • [发明专利]光学微型开关打印机-CN200410096049.8无效
  • 涂相征;李韫言 - 李韫言
  • 2004-11-29 - 2006-06-07 - B41J2/435
  • 一种光学微型开关打印机,配置微机械加工的光学微型开关打印头,微型开关为空气夹层厚度可变的法布里-珀罗腔,由两组分布布拉格反射镜构成,其中一组由柔性梁支持。分布布拉格反射镜由具有高低不同折射率的薄膜材料交替叠加而成,所用的高折射率材料为Ti2O5,TiO2,SiNx,低折射率材料为SiO2。可用普通的荧光管为光源,从灯管辐射出的光线照射到光学微型开关打印头上,通过光学微型开关的开通作用,将平面分布的光线分成一排排微小的光束,从而在感光鼓上形成文字或图形的静电潜像。该打印机打印消耗低廉,机器价格便宜,打印性能优异。
  • 光学微型开关打印机
  • [发明专利]热运动传感指示器-CN200410006487.0无效
  • 涂相征;李韫言 - 李韫言
  • 2004-03-10 - 2005-09-14 - G01K13/00
  • 一种热运动传感指示器,利用热运动传感器对运动目标进行跟踪。热运动传感器的运行依赖:处于运动状态的加热元产生向与运动相反方向歪斜的热场,使以加热元为中心的各对称位置上出现温度差,对此差值进行测量,并转换成电信号,即可导出运动方向,速度,以及加速度。以热运动传感器为基础,设计了三种热运动传感指示器:二维桌面热运动传感指示器或鼠标器,三维桌面热运动传感指示器,以及三维空间热运动传感指示器。热运动传感器用集成电路技术制造,结构简单,成本低廉,性能优异。
  • 热运动传感指示器
  • [发明专利]一种全硅集成流量传感器及其制造方法-CN200410039139.3无效
  • 涂相征;李韫言 - 李韫言
  • 2004-02-12 - 2005-08-17 - G01F1/68
  • 提出一种全硅集成流量传感器及其制造方法。其器件组成包括一块硅单晶衬底,其中嵌入一只多孔单晶硅阱,阱中排列两组热偶堆,由若干n-型掺杂单晶硅条和p-掺杂多晶硅条配对组成,还有p-型掺杂多晶硅加热元,p-型掺杂多晶硅测温元,以及无定形碳化硅钝化层。多孔单晶硅阱为加热元提供隔热基座,以便以较小的电功率消耗而建立起较大的温度梯度。高灵敏度的热偶堆用于检测流体平均流速改变引起的温度梯度变化。器件的主要组元均以硅为制材,因而可以用单纯的集成电路技术制造,适合规模生产,并利于降低成本。
  • 一种集成流量传感器及其制造方法
  • [发明专利]光波波分复用发射和接收模块-CN99121994.5无效
  • 涂相征;李韫言 - 李韫言
  • 1999-10-25 - 2004-04-28 - H04J14/02
  • 一种光波波分复用发射和接收模块,用微机械加工的硅片作为安装所需光学元件和光电元件的平台,并在同一硅片上形成微结构,用以制造所需光学元件。硅片平台有三个V形槽,沿同一中轴线排列,旁边两个V形槽延伸到硅片的边缘,其中一个放置光纤。V形槽中的两个平行斜坡状端面附有多层电介质滤光器和半反射镜,另两个平行斜坡状端面加工成垂直端面,附有多层电介质抗反射膜。模块的光发射器和微透镜预置于V形底座,连同底座置入硅片的V形槽内。模块的两个光接收器,横跨V形槽,其光接收区分别瞄准滤光器和半反射镜。模块制造采用类似于半导体器件的制造技术,适合低成本大批量生产。
  • 光波波分复用发射接收模块
  • [发明专利]高传热效率的热汽喷墨打印头及其制造方法-CN99100702.6无效
  • 涂相征;李韫言 - 李韫言
  • 1999-02-10 - 2004-03-03 - B41J2/05
  • 一种高效热传输的热汽喷墨打印头,其加热电阻器由隔热介质墙分割的单晶硅区形成,单晶硅区的下表面为毛细管管壁的一部分,加热电阻的热量直接由单晶硅区流入毛细管的墨水。该打印头的制造以多孔硅加工为基础。主要包括:通过在HF溶液中的阳极氧化,将单晶硅中重掺杂的埋层转变成多孔硅;通过高温热氧化将多孔硅转变成氧化多孔硅;利用氧化多孔硅耐硅腐蚀液腐蚀的特性,用作硅各向异性化学腐蚀的停止层;利用氧化多孔硅易被缓冲HF溶液腐蚀的特性,选择腐蚀氧化多孔硅。
  • 传热效率喷墨打印头及其制造方法
  • [发明专利]一种制造机械调制式发射和接收模块的方法-CN00107741.4无效
  • 涂相征;李韫言 - 李韫言
  • 2000-05-25 - 2004-03-03 - G02F1/136
  • 介绍一种制造机械调制式发射和接收模块的方法。调制用的法布里-珀罗腔由多晶硅三叠层结构刻蚀而成。调制器的柔性薄膜由上层多晶硅形成,中层多晶硅转变成多孔多晶硅后腐蚀去除,从而使上层多晶硅悬空。悬空的上层多晶硅最后释放由反应离子腐蚀实现。多晶硅叠层结构下的硅片内集成有圆锥形状的光纤插入孔,该孔由多孔单晶硅技术形成。光纤一旦插入即能自动对准安置于腔体上的光电探测器。该方法具有结构简单,运作方便,可靠性高,且制造成本低等优点。
  • 一种制造机械调制发射接收模块方法
  • [发明专利]微机械光开关阵列-CN01104082.3无效
  • 涂相征;李韫言 - 李韫言
  • 2001-02-22 - 2002-09-25 - G02B6/35
  • 介绍一种光纤通信用的微机械光开关阵列,其基本构成为一块(110)晶向的硅单晶衬底。该衬底集成有若干(111)结晶面反射镜平板,每块反射镜平板由一块弹性硅片支持。该衬底还集成有空腔,垂直深槽,阻挡块,和微型沟渠等。反射镜平板通过垂直深槽与硅衬底纵向分开,阻挡块处于空腔与垂直深槽连通处。垂直深槽引导反射镜平板上下移动,而阻挡块限定反射镜平板移动的最大高度。微型沟渠内布置有自动对准反射镜平板的光纤和圆柱形透镜。
  • 微机开关阵列
  • [发明专利]一种微细加工的热式流量传感器及其制造方法-CN96109521.0无效
  • 涂相征 - 李韫言
  • 1996-08-23 - 2002-01-02 - G01F1/68
  • 本发明提供一种热式流量传感器及其制造方法,该传感器主要包括加热元、测温无以及其所依附的低导热载体。本发明的特征在于所说的载体为岛形单晶硅膜,玻璃片通过聚酰亚胺膜对硅膜进行支撑。所说的加热元和测温元由硅膜形成,并且处在聚酰亚胺的复盖面上。器件与外电路的连接通过布置在聚酰亚胺膜上的金属条和压焊块实现。本发明的优点主要是体积小,响应快,灵敏度高,功耗低,机械强度大,防腐蚀和防磨损能力强,安装容易,使用方便,制造工艺简单,可在标准的集成电路线上进行批量生产,因而生产成本很低。$#!
  • 一种微细加工流量传感器及其制造方法

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