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[实用新型]一种用于光刻机的下沉式防微振基座-CN202222244039.0有效
发明人： 李锦哲;白在镐;任兰兰;张林波;魏智涛;王延湖;钟林江 -专利权人：四川瑞明斯工程技术有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于光刻机的下沉式防微振基座；用化学锚栓将L角钢和凹形角钢水平面固定在地面，同时L角钢竖直面用化学锚栓固定住混凝土立板，并在底部倒入环氧灌注胶。混凝土立板侧面使用侧钢板固定。防微振基座和混凝土立板之间使用粘钢胶+调平板连接。技术效果：在地面与高架地板距离过大时，也能满足光刻机的动刚度和防微振的高要求。并且由于设备安装在一楼地面，没有下夹楼层，本实用新型的结构也能给光刻机提供足够的管线布局空间。对于这种下沉式的半导体工厂结构，高架地板距离地面很高，超过了1200mm还多，采用混凝土立板这种形式的结构是首创。最重要的是，这种结构在便于安装的情况下，还能满足光刻机对防微振的高要求。
一种用于光刻下沉式防微振基座

[实用新型]一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统-CN202222244069.1有效
发明人：白在镐;李锦哲;任兰兰;魏智涛;张林波;王延湖;钟林江 -专利权人：四川瑞明斯工程技术有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统；使用轴向钢板与径向钢板进行加固，采用高强度螺栓固连。然后将动刚性强化调节器安装于顶板之上，使用粘钢胶与高强度螺栓同时作用固定。本实用新型的目的在于解决上述现有技术存在的问题，实现对现有厂房结构本身存在的动刚性容许值不足的弥补，以达到高精密设备的动刚性需求。本实用新型对应的优点在于；本系统中支撑型钢高度灵活可变，易拆装，能适应各种工厂结构环境；在工厂结构本身不满足设备动刚性要求时，通过本系统结构补强，就可以达到标准；满足粘度与密度条件下，可任意更换液压油种类型号。
一种带有刚性强化调节器结构系统

[发明专利]一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统-CN202211024714.7在审
发明人：白在镐;李锦哲;任兰兰;魏智涛;张林波;王延湖;钟林江 -专利权人：四川瑞明斯工程技术有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种带有动刚性强化调节器的刚性结构补强系统；下部补强H型钢上增加上部补强H型钢，使用轴向钢板与径向钢板进行加固，采用高强度螺栓固连。然后将动刚性强化调节器安装于顶板之上，使用粘钢胶与高强度螺栓同时作用固定。本发明的目的在于解决上述现有技术存在的问题，实现对现有厂房结构本身存在的动刚性容许值不足的弥补，以达到高精密设备的动刚性需求。本发明对应的优点在于；支撑型钢高度灵活可变，易拆装，能适应各种工厂结构环境；在工厂结构本身不满足设备动刚性要求时，通过本系统结构补强，就可以达到标准；满足粘度与密度条件下，可任意更换液压油种类型号。
一种带有刚性强化调节器结构系统