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- [发明专利]基板处理设备和方法-CN202211599436.8在审
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李茂贤
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细美事有限公司
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2022-12-12
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2023-06-16
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H01L21/67
- 提供了一种基板处理设备和一种基板处理方法，所述方法包括：在使处理液通过联接到储罐的壳体的循环管线而在所述壳体中循环时，用安装在所述循环管线中的加热器单元加热所述处理液，以调整所述处理液的温度；通过由所述加热器单元将所述处理液加热到比所述处理液中含有的水的温度高的温度来蒸发所述壳体中的所述处理液中的水，以调整所述处理液中含有的化学液的浓度；以及将温度和浓度受控制的所述处理液供应到基板以处理所述基板，其中通过将气体供应到流过所述循环管线的所述处理液中来加速从所述壳体中储存的所述处理液中蒸发水。
- 处理设备方法
- [实用新型]建筑工程垂直度检测装置-CN202221448018.4有效
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洪瑞;李茂贤;瞿学梅;王珂;戈啟媛;刘晓晶
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云南云检工程技术检测有限公司
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2022-06-10
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2022-10-18
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G01C9/24
- 本实用新型公开了建筑工程垂直度检测装置，包括固定座、转动杆、气泡水平仪，所述固定座顶面嵌入安装设有气泡水平仪、底面安装设有多组用于调节高度的调节座，所述调节座设有四组且呈矩形分布，所述转动杆低端活动连接在所述固定座上，且固定座上安装设有两组均呈90度的角度盘，两组所述角度盘用于对转动杆的倾斜角度进行检测，转动杆右侧可与需要检测的墙壁相贴合。本实用新型与现有技术相比的优点在于：通过气泡水平仪调整固定座的水平状态，然后将转动杆右侧与墙壁进行贴合，即可从两组角度盘中观察倾斜度数，便于手持进行便捷检测，也可通过调节座将固定座水平置于地面上，然后进行检测，使用方便，便于携带、操作简单。
- 建筑工程垂直检测装置
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