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[发明专利]制备高纯四氟化碳和氯气的方法-CN202311218253.1在审
发明人：陈志强;于修源;赵欣欣;牛韦;张照曦;杨孟合;陈鑫;李汉生;丁晨 -专利权人：山东东岳化工有限公司
申请日： 2023-09-21 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C01B7/03 文献下载
摘要：本发明公开了制备高纯四氟化碳和氯气的方法，属于四氟化碳技术领域。其技术方案为：以四氯化碳为原料，以碱土金属Sr改性的氧化铝‑氧化铬为催化剂，通入含氟气的气流，在固定床反应器中进行反应，经分离提纯后得到高纯四氟化碳和氯气；碱土金属Sr改性的氧化铝‑氧化铬催化剂在使用前，先在HF气氛下进行氟化。本发明可一步反应生成四氟化碳和氯气，反应过程条件温和且无副产物的产生。
制备高纯氟化氯气方法

[发明专利]电子级三氟甲烷的纯化装置及纯化工艺-CN202111286360.9有效
发明人：丁晨;李汉生;左春雨;王鑫;王伟;都荣礼;田丁磊 -专利权人：山东东岳化工有限公司
申请日： 2021-11-02 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C07C17/38 文献下载
摘要：本发明属于三氟甲烷纯化技术领域，具体涉及一种电子级三氟甲烷的纯化装置及纯化工艺。所述的电子级三氟甲烷的纯化装置，包括依次连接的原料罐、冷凝分离器、二氧化碳吸附器、氟碳化合物吸附器、精馏塔、精馏产物吸附器，其中冷凝分离器的出料管分为两路，分别连接中间罐和二氧化碳吸附器；氟碳化合物吸附器的出料管分为两路，分别连接1#成品罐和精馏塔；精馏塔的顶部出料管经过冷却器后分为两路，分别连接2#成品罐和精馏产物吸附器；精馏产物吸附器的出料管分为两路，分别连接2#成品罐和冷凝分离器。本发明的纯化装置及纯化工艺，有效减少了工艺流程，降低了能源消耗，产品三氟甲烷纯度达到99.999％，符合半导体行业使用要求。
电子级三氟甲烷纯化装置工艺

[实用新型]一种用于晶圆抛光过程中的压力环的固定装置-CN202320144743.0有效
发明人：陆基益;李汉生;蔡雪良;还胜钦 -专利权人：昆山中辰矽晶有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型是一种用于晶圆抛光过程中的压力环的固定装置。所述装置包括：抛光机压头，用以真空吸附的硬质薄片；用以将压力环固定到硬质薄片上的背胶，用以调整晶圆受压的可调压力环。结合现有工艺需求，一方面解决了晶圆抛光过程中更换压力环的繁琐的过程，提升了效率，改善了晶圆品质。另一方面也避免了压力环位移、形变造成的晶圆的额外损失。
一种用于抛光过程中的压力固定装置

[实用新型]一种晶片膜厚测量治具-CN202222298821.0有效
发明人：吴凯;何庆波;陆义;蔡雪良;李汉生 -专利权人：昆山中辰矽晶有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶片膜厚测量治具，本治具包括一底板、一活动板、一立柱。底板上有一个跑道槽，用于活动板移动。活动板上有不同尺寸晶片的同心圆晶片放置区，用于不同尺寸晶片对位；活动板上还有一吸笔出入槽，用于吸笔取放晶片。立柱与底板连接成一体，上有伸缩支杆用于调节测量探头位置。伸缩支杆平时处于零点位置，对应位置归零后的活动板的中心，用于测量不同尺寸的中心位置的膜厚；移动伸缩支杆到达对应尺寸的凹槽，旋转活动板即可测量晶片等径圆周上任意点位的膜厚。本治具具有多尺寸兼容，且可以高效精确的定位不同尺寸晶片中心位置和圆周，保证测量点位的一致性，提高数据采集的准确性，避免了人工对位的误差和低效。
一种晶片测量

[实用新型]一种解决硅单晶生产过程中纳米级硅杂质混入的装置-CN202223450870.8有效
发明人： 李汉生;蔡雪良 -专利权人：昆山中辰矽晶有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： B01D36/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种解决硅单晶生产过程中纳米级硅杂质混入的装置，用以对外部吸杂工艺过程中产生的纳米级硅粉进行分离，解决纳米级硅粉的混入导致吸杂处理后出现的吸杂能力不足及表面吸附导致的清洗后外观色泽差异问题。所述装置包括：该装置有一个承载的溢流桶及一个分离收集管，溢流桶内有进料口、出料口、支撑环，进料口设置在溢流桶一侧，出料口在溢流桶内部，在溢流桶内部放置支撑环，支撑环上放置分离收集管。本装置利用纳米级硅的漂浮特性，采用物理的方式对处理过程中使用的浆料进行在线分离，成本低，可连续作业，不增加新的杂质带入，达到了环保节能持续分离，无特殊过滤耗材高成本耗材的目的。
一种解决硅单晶生产过程纳米杂质混入装置

[发明专利]一种LED灯条的基板及LED灯条-CN202110899995.X有效
发明人：林闲;李汉生 -专利权人：深圳市战狼光电有限公司
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： F21S4/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种LED灯条的基板及LED灯条，属于LED灯条技术领域，包括：基板主体，基板主体的左右内壁开设有第一安装槽，两个第一安装槽的上端均开设有通孔；安装框，安装框滑动连接于基板主体内，安装框的上端开设有第二安装槽，第二安装槽内可拆卸连接有密封板，安装框上固定连接有四个连接件，安装框内开设有两个滑孔，本发明通过紧固螺钉将安装框和LED灯条主体固定，并且通过插块和插孔的相互配合将安装框和LED灯条主体进行二次固定，使得在和基板主体组装时更加地便捷，通过自动化的操作极大程度地提高了本装置组合的速度，并且组合准确性更强。
一种 led

[发明专利]电子级八氟环丁烷的纯化系统及纯化方法-CN202310476141.X有效
发明人：苗宝雨;左春雨;田丁磊;丁晨;李汉生;葛广业;赵欣欣;徐浩洋 -专利权人：山东东岳化工有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本发明公开了电子级八氟环丁烷的纯化系统及纯化方法，属于八氟环丁烷纯化技术领域。其技术方案为：S1将待提纯的液态八氟环丁烷冷凝分离不凝气，获得八氟环丁烷液态粗品；S2将八氟环丁烷液态粗品汽化；S3将汽化后的八氟环丁烷送入装有改性分子筛的干燥吸附塔中，除去水和CO2，再送入装有氟化改性活性炭的吸附塔中，除去与八氟环丁烷沸点相近的杂质；S4将步骤S3得到的八氟环丁烷冷凝后送入脱气塔中，进行脱轻精馏处理；S5将脱轻精馏处理后的八氟环丁烷送入脱重精馏塔中，进行脱重精馏处理，通过塔顶冷凝器出料得到纯化后的电子级八氟环丁烷产品。本发明可以得到纯度在99.9995%以上的电子级八氟环丁烷产品。
电子级八氟环丁烷纯化系统方法

[发明专利]一种具有可调节支撑装置的夹具-CN202310460912.6在审
发明人： 李汉生;王科;廖伟平;殷小明;郭盟;黄赛 -专利权人：广东鸿图武汉压铸有限公司;广东鸿图科技股份有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有可调节支撑装置的夹具，属于夹具领域，包括夹具板，夹具板的夹持面上设置有至少一个可调节支撑装置，可调节支撑装置包括基座和支撑球。基座安装于夹具板的夹持面上，其顶面上开设有容置槽。支撑球的部分以间隙匹配的方式嵌设于容置槽中，其另一部分突出于容置槽设置，且支撑球突出容置槽的部分上设置有支撑面，该支撑面可通过支撑球在容置槽中的转动而改变支撑面角度。本发明的具有可调节支撑装置的夹具，其通过在基座上开设容置槽，使具有支撑面的支撑球能够在该容置槽中转动且支撑面角度能够改变，从而实现支撑球可以与变形的待加工工件支撑点地快速贴合，保证支撑位置符合加工要求，加工结果良好。
一种具有调节支撑装置夹具

[发明专利]用于去除三氟甲烷中痕量二氧化碳及氟碳化合物的吸附剂的制备方法-CN202111286312.X有效
发明人：丁晨;李汉生;左春雨;王鑫;王伟;都荣礼;田丁磊 -专利权人：山东东岳化工有限公司
申请日： 2021-11-02 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B01J20/20 文献下载
摘要：本发明属于吸附剂技术领域，具体涉及一种用于去除三氟甲烷中痕量二氧化碳及氟碳化合物的吸附剂的制备方法。所述吸附剂的制备方法为：(1)配制银‑锌溶液：先将硝酸银加入水中溶解，得到硝酸银溶液，再加入硝酸锌进行溶解，得到银‑锌溶液；(2)浸渍：将干燥后的活性炭浸入银‑锌溶液中，搅拌浸渍10‑40min，然后取出进行清洗，得到吸附剂前驱体；(3)焙烧：将吸附剂前驱体先进行干燥，再在氮气氛围、400‑600℃温度下焙烧3‑6h，得到吸附剂成品。本发明制备的吸附剂能够有效吸附三氟甲烷中的二氧化碳以及氟碳化合物，在短时间内将三氟甲烷中的氟碳化合物和二氧化碳维持在较低范围内，提高后续处理效果。
用于去除甲烷痕量二氧化碳碳化吸附剂制备方法

[实用新型]一种应用于多种尺寸的药剂桶旋盖扳手-CN202223450957.5有效
发明人：任怡雯;蔡雪良;李汉生;陆基益;孙小兵 -专利权人：昆山中辰矽晶有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B25B13/48 文献下载
摘要：本实用新型提供一种应用于多种尺寸的药剂桶旋盖扳手，用以旋开药剂桶的旋盖。所述扳手包括一手柄和扳手接头。所述手柄两端有十字形凹槽，用以连接扳手接头；所述扳手接头两侧均有卡齿；所述两侧卡齿距离不同，用以卡住不同直径大小的旋盖；所述扳手接头底部有十字形凸起，用以与手柄连接。对应不同的旋盖大小，使用不同间距的卡齿卡住旋盖，转动手柄即可旋开药剂桶盖。
一种应用于多种尺寸药剂桶旋盖扳手

[发明专利]LED器件的连接装置-CN202110861758.4有效
发明人：林闲;李汉生 -专利权人：深圳市战狼光电有限公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： F16M11/28 文献下载
摘要：本发明公开了LED器件的连接装置，属于LED器件技术领域，包括：外壳；LED显示模组，LED显示模组安装于外壳内；支撑底座，支撑底座设置于外壳的下侧，支撑底座顶部固定连接有六边形粗筒，六边形粗筒内滑动连接有六边形细筒，六边形粗筒内设置有升降组件，升降组件与六边形细筒连接；第一安装座，第一安装座设置于第二安装座的侧部，且第一安装座与第一调节组件连接，外壳的侧部通过螺栓连接有第一安装板，第一安装板的侧部固定连接有第一长轴，用户可以调节LED显示模组的高度，以适配用户的使用习惯，灵活调节LED显示模组的纵向角度，操作简单，结构稳定，用户可以根据需要进行调节，提高使用的舒适度，丰富显示内容，提高显示效果。
led 器件连接装置

[实用新型]一种用于沉积层蚀刻宽度量测的装置-CN202221865585.X有效
发明人：何庆波;郑伟;李汉生;蔡雪良;陆义;吕亚明 -专利权人：昆山中辰矽晶有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于沉积层蚀刻宽度量测的装置，该装置由底板、镜头固定支架、滑板、连接件及活动板构成，底板上有两道平行滑行轨道。滑板下有两道平行滑行底脚，与底板上滑行轨道匹配。镜头固定支架的立柱与底板连接固定，显微镜头可放置在镜头固定孔内，然后移动支架至合适高度并固定。滑板中心位置有螺纹接口，内部有管路联通侧面真空接口。活动板中心位置有真空吸孔，且与滑板通路及真空接头联通。活动板上有适配Notch类型和平边类型的晶片放置区域，右下部的槽道可以方便取放晶片的吸笔自由出入。活动板底部有依据测量点位置设定的磁体，在磁体未移动到滑板磁体上方时，活动板可自动转动；当磁体移动至滑板磁体上方，由于磁体吸引作用活动板被限定在该位置。
一种用于沉积蚀刻宽度装置

[实用新型]一种用于喷砂后的硅晶片表面的砂浆回收和清洁装置-CN202222312015.4有效
发明人：赵庆升;李汉生;蔡雪良;王尚森;王帅 -专利权人：昆山中辰硅晶有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B24C1/08 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体硅晶片制造领域，提供一种用于喷砂后的硅晶片表面的砂浆回收和清洁装置，包括：一根侧面开有出气孔的吹气管；所述吹气管的两端有固定其位置的装置；所述吹气管的两端有进气软管的固定装置。吹气管侧面开有长条状出气孔，使用固定装置对其固定，和进气软管固定装置连接进气软管和吹气管。进气软管为吹气管提供工作所需的气体，固定装置将吹气管固定在机台内部，同时也固定吹气角度。硅晶片随皮带运转，固定在皮带上方的吹气管将晶片表面的砂浆吹回喷砂机内，从而达到清洁晶片表面和回收砂浆的作用。
一种用于喷砂晶片表面砂浆回收清洁装置

[实用新型]一种测量TTV的装置-CN202222312439.0有效
发明人： 李汉生;蔡雪良 -专利权人：昆山中辰矽晶有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01B5/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种测量TTV的装置，用以量测电阻大于1000奥姆/厘米的半导体类产品。本装置由三大主要部分组成：夹持机构、主体支架及量测机构；夹持机构：由紧固螺丝连接滑块，滑块前端有活动轴承和圆盘进行连接，圆盘采用铁质材料，表面进行平整化处理用以接触待测量产品，晶片对面强性磁体，利用其和铁质圆盘的磁性吸附达到固定晶片的目的。主体支架：由底板连接竖板，竖板再连接顶端的U型支架组成，竖板下部分别不同尺寸对应位置的刻度的定位线，用以保证固定到待测产品晶片的中心，以保证旋转测量位置的相对一致。同时中间还有滑行轨道，用以紧固螺丝和滑块的上下移动和固定。测量机构：由左右两个水平对置的测量仪组成。整个装置不用外接水电气，不受水电气的限制，可随意变换位置使用，避免了生产使用过程中多场景切换带来的空间限制。
一种测量 ttv 装置

[发明专利]用于1,1-二氟-1-氯乙烷催化裂解制备1,1-二氟乙烯的镧基催化剂及其制备方法-CN202111271782.9有效
发明人：牛韦;张岩;李汉生;丁晨;王伟;田丁磊;左春雨;王鑫;都荣礼 -专利权人：山东东岳化工有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B01J27/138 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于1,1‑二氟‑1‑氯乙烷(R‑142b)催化裂解制备1,1‑二氟乙烯的镧基催化剂及其制备方法，属于脱卤化氢催化剂技术领域。本发明所述的用于1,1‑二氟‑1‑氯乙烷催化裂解制备1,1‑二氟乙烯的镧基催化剂，催化剂组成为n％MX2/La2O3，其中，MX2为活性相，La2O3为载体相，M为Mg、Ca、Sr或Ba，X为F或Cl，n为活性相含量。本发明所述的用于1,1‑二氟‑1‑氯乙烷催化裂解制备1,1‑二氟乙烯的镧基催化剂，用于催化裂解反应时，反应温度低，选择性、转化率和稳定性高；本发明同时提供了简单易行的制备方法。
用于乙烷催化裂解制备乙烯催化剂及其方法

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