专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]蚀刻装置及其控制方法-CN202210793931.6在审
  • 李昇勋;牟圣元;李羊浩;韩兴洙;裴祯贤 - 杰宜斯科技有限公司
  • 2022-07-07 - 2023-01-13 - H01L21/67
  • 本发明涉及蚀刻装置及其控制方法,该蚀刻装置包括:蚀刻腔室,通过蚀刻液来蚀刻对象体;蚀刻液供给部,回收所述蚀刻腔室内的蚀刻液,通过蚀刻液泵向所述蚀刻腔室供给蚀刻液;第一压力调节部,向所述蚀刻液泵注入气体以施加驱动压力;第二压力调节部,以指定的相同压力对所述蚀刻腔室和所述蚀刻液供给部进行加压;背压调节部,调节当所述蚀刻液泵驱动时排出的气体的压力;以及阀门,控制所述气体向所述蚀刻液泵注入或排出的顺序和方向。
  • 蚀刻装置及其控制方法

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