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[发明专利]网状氮化硅薄膜微桥阵列的制备方法-CN201510999953.8在审
发明人： 李以贵;黄远;颜平;王欢 -专利权人：上海应用技术学院
申请日： 2015-12-25 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种网状氮化硅薄膜微桥阵列的制备方法。本发明首先在已抛光过的硅片表面上生成一层氮化硅薄膜，并在氮化硅薄膜上旋涂一层光刻胶，然后利用紫外光光刻技术将掩模图案转移到光刻胶上；接着以光刻胶图案作为掩膜图案刻蚀氮化硅薄膜，除去光刻胶，获得氮化硅薄膜微桥桥面图案；再然后以氮化硅薄膜图案作为电感耦合等离子刻蚀法的掩膜图案，待对硅片进行等离子刻蚀后，得到一种矩形腔体阵列；最后采用湿法刻蚀矩形腔体阵列的腔壁，形成一种以硅支柱结构支撑下的网状氮化硅薄膜微桥阵列。本发明不需要金属填充层，能够比较容易地控制支撑柱的高度，而且电感耦合等离子刻蚀与湿法刻蚀操作相对简单，整套工艺流程简单易行。
网状氮化薄膜阵列制备方法

[发明专利]基于热流能同时测量角速度和的加速度的陀螺仪-CN201410666373.2在审
发明人： 李以贵;王欢 -专利权人：上海应用技术学院
申请日： 2014-11-20 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： G01C19/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于热流能同时测量角速度和的加速度的陀螺仪，具有一个用于测量三轴角速度的角速度计，一个用于测量二轴的加速度的加速度计，一个压电泵，所述角速度计和加速度计的硅芯片四周设有用于气体流动的通道，压电泵置于硅泵槽中，压电泵的上、下面设有TBN光刻胶层，用于密封压电泵中的氩气。本发明与现有的气体陀螺仪相比，增加了用于测量加速度的气体加速度传感器，从而可以在测量各个方向的角速度的同时可以测量施加的加速度，扩大了测量范围，同时，可以方便的与集成电路集成，并降低了成本。
基于热流同时测量角速度加速度陀螺仪

[发明专利]带采血微针阵列的便携式电解质分析装置-CN201410722007.4有效
发明人： 李以贵;黄远;颜平 -专利权人：上海应用技术学院
申请日： 2014-12-03 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： G01N27/416 文献下载
摘要：本发明涉及一种带采血微针阵列的便携式电解质分析装置，真空腔与连通管支撑底座之间设置橡胶密封圈，腔与微针之间的连通管固定在连通管支撑底座中间，连通真空腔与外部贮液器，离子传感器块装在连通管支撑底座与微针块之间，微针块上设有带底座的空心微针阵列，离子传感器块上设有Na⁺离子选择性膜接触垫、K⁺离子选择性膜接触垫、Cl^-离子选择性膜接触垫。本发明结构更加简洁，操作更加简单，分析结果更加可靠，极大减小分析装置的体积及生产成本，有利于大规模生产。用带底座的空心微针阵列来抽取血液样本，离子传感器分析血液样品中K⁺、Na⁺和Cl^-浓度，实现在无痛感抽取少量的血液样品的情况下，分析出血液样品中K⁺、Na⁺和Cl^-的浓度。
采血阵列便携式电解质分析装置

[发明专利]一种扫描近场光学显微镜有源集成探针及其制备方法-CN201410470249.9无效
发明人： 李以贵;王欢 -专利权人：上海应用技术学院
申请日： 2014-09-16 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： G01Q60/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种扫描近场光学显微镜有源集成探针，从上到下包括LED发光二极管、带纳米小孔的波导和PN光电二极管结构，纳米小孔的波导和PN光电二极管通过微细加工方法构成一体，为悬臂梁结构，波导上的小孔为金字塔探针结构，小孔从波导贯穿并超出下面的PN光电二极管结构，PN光电二极管结构P型部分在上，N型部分在下并不超过小孔位置，小孔末端相对N型部分的距离为5um～10um，LED发光二极管光通过带纳米小孔的波导传输，再经过小孔出射到样品上，PN光电二极管结构接收带有样品表面信息的散射光。与现有技术相比，结构简单，既没有分立的聚焦透镜又没有分立的PMT光电倍增管，克服了集成扫描近场光学显微镜有源集成探针对准困难，体积大的缺点。
一种扫描近场光学显微镜有源集成探针及其制备方法

[发明专利]一种聚-L-乳酸微结构的制作方法-CN201410348463.7有效
发明人： 李以贵 -专利权人：上海应用技术学院
申请日： 2014-07-22 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： C08J3/28 文献下载
摘要：本发明公开一种聚-L-乳酸微结构的制作方法，即将粒径为1-5mm、分子量为4000-20000的聚-L-乳酸颗粒溶于氯仿中，得到浓度为200-350g/L的聚-L-乳酸氯仿溶液，然后用匀胶机在基板上进行二次连续甩胶，获得的聚-L-乳酸的薄膜控制温度为80℃烘干；然后对烘干后的聚-L-乳酸薄膜进行x射线曝光，X射线曝光剂量是0.02Ah，曝光完成后，将聚-L-乳酸薄膜用浓度为1-2mol/L的KOH或NaOH水溶液进行显影，然后用去离子水进行冲洗2-3次，冲洗完后控制温度为60-100℃进行烘干，即得聚-L-乳酸微结构。该制作方法制备工艺简单、制作成本高、制备周期短等特点。
一种乳酸微结构制作方法

[发明专利]微针脱模方法-CN201310655316.X有效
发明人：朱军;李以贵;张智慧;王凝宇;黄先培 -专利权人：南通爱普医疗器械有限公司
申请日： 2013-12-09 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： B29C33/34 文献下载
摘要：发明公开了一种微针脱模方法，包括在制备好的微针转模用的模具上沉积牺牲层材料；填充微针材料并成型；手动脱模至种子层部分暴露；采用种子层材料的腐蚀液牺牲种子层，以实现脱模；所述的微针材料是金属、聚合物或硅。本发明利用PDMS的良好图形转移能力，发挥PDMS常规脱模和牺牲层腐蚀的双重作用于微针的脱模，不仅有利于提高微针脱模的质量、效率，而且确保了模具的利用率。
脱模方法

[发明专利]全铝型静电驱动微镜及其制备方法-CN201310222500.5有效
发明人： 李以贵;李新鹏 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2013-06-06 - 公布日： 2013-10-02 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种全铝型静电驱动微镜，包括：微镜、支柱、下电极，其连接方式为：最上层为微镜，中间为支柱，下层为下电极，微镜与下电极通过支柱连接和支撑；微镜、支柱、下电极均采用全铝结构，微镜兼做反射镜和上电极，堆积层少。本发明结构、工艺简单，易于实现，成本低廉，完全静电驱动，可以实现连续角度偏转，应用广泛，方便推广；另外本发明的全铝镜面提高镜面反射面积效率，不但可以用于扫描，还可以用于显影与光通信。
全铝型静电驱动及其制备方法

[发明专利]基于多孔微针结构的经皮给药系统-CN201110449725.5有效
发明人：刘景全;闫肖肖;杨斌;杨春生;李以贵 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2011-12-28 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本发明公开一种基于多孔微针结构的经皮给药系统，包括：多孔微针、聚合物薄膜、泵、进液管、出液管、药液进药池以及药液储药池，其中：聚合物薄膜包裹住多孔微针一部分，使得针尖一小部分和微针基底露出多孔结构，多孔微针与药液进药池连接，药液进药池与出液管一端连接，出液管另一端与进液管一端在泵内连通，进液管另一端与药液储药池连接。微针为多孔结构，因此药液进入生物体的通道多；泵为带电源的泵，流量稳定。整个系统结构简单，制作容易，体积小，效率高。
基于多孔结构系统

[发明专利]基于表面微细加工工艺的异平面空心微针及其制备方法-CN201210005030.2有效
发明人： 李以贵;廖哲勋;朱军 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2012-01-09 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本发明公开一种基于表面微细加工工艺的异平面空心微针及其制备方法，所述方法采用基于湿法刻蚀工艺、UV-LIGA工艺和浇铸工艺，湿法刻蚀用于形成微针针尖结构，UV-LIGA用于实现微针针体部分，然后利用浇铸，形成一个内部中空的微针结构，从而实现出异平面空心微针。本发明利用特制模具浇铸而成，不需要昂贵的加工技术，能够实现快速复制及高速批量生产，而且湿法刻蚀和浇铸操作相对简单，整套工艺流程简单易行。
基于表面微细加工工艺平面空心及其制备方法

[发明专利]基于呼吸运动的植入式能量采集器-CN201110383527.3有效
发明人：刘景全;何庆;田鸿昌;杨春生;李以贵 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2011-11-25 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： A61N1/378 文献下载
摘要：本发明公布了一种基于呼吸运动的植入式能量采集器，包括换能器，该换能器主要由活动联接结合头，双稳态压电金属片，定位导轨以及封装外壳构成；定位导轨固定于封装外壳上，与活动联接结合头滑动配合；双稳态压电金属片位于活动联接结合头中间，其两侧分别与活动联接结合头相连；定位导轨以及封装外壳位于活动联接结合头的两侧。将换能器两活动端固定于相邻两肋上，当呼吸时，胸腔膨胀收缩导致肋骨间隙变化，带同交叉联接头使双稳态压电金属片周期性形变产生持续电流。本发明实现了人体胸腔内植入式设备的永久稳定能源供应。同时体积小，降低了病人的身体负担同时可免于植入后为更换电池而进行的二次手术。
基于呼吸运动植入能量采集

[发明专利]基于电磁和静电耦合的微型能量采集器-CN201110418573.2无效
发明人：杨斌;刘景全;杨春生;李以贵;杉山进 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2011-12-14 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： H02N1/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于电磁和静电耦合的微型能量采集器，包括：上下电容极板，感应线圈和磁铁，其中，所述磁铁固定在上电容极板的中心位置上，所述感应线圈分布在下电容极板的周围，所述的上下电容极板之间以空气作为介质。与现有的电容式能量采集器相比，消除了外加电压源这一要求或增加驻极体结构层，同时通过耦合两种能量转换机制能明显提高输出电压和器件的转换效率。该器件具有结构简单，制作容易，体积减小，转换效率高，并且适用于低频振动源下的工作环境。
基于电磁静电耦合微型能量采集

[发明专利]基于全反射的平面并行荧光生物检测芯片及其制备方法-CN201110248090.2无效
发明人： 李以贵;罗晨晨;廖哲勋;罗江波 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2011-08-26 - 公布日： 2012-04-11 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明公开一种基于全反射的平面并行荧光生物检测芯片及其制备方法，该芯片中：样品台由玻璃片和PDMS芯片键合而成，位于整个芯片的最上面，样品台的下面是位于同一水平面的棱镜，透镜，光纤阻止，光纤支撑以及光纤，所述棱镜，透镜，光纤阻止以及光纤支撑都由PDM一体制得；当激光经耦合进入单模光纤时，光束在光纤中传播，出射后由透镜进行校正，到达空气/棱镜界面时发生折射，折射光随后到达棱镜/玻璃界面进一步折射，折射光进入玻璃后在玻璃/水界面发生全反射，在全反射区域产生倏逝波激发水中的样品发生荧光反应。该芯片利于和微分析系统集成，不需要体激光源，生物材料消耗低，荧光背景噪音小，灵敏度高。
基于全反射平面并行荧光生物检测芯片及其制备方法

[发明专利]基于表面微细加工工艺的电容式微麦克风及其制备方法-CN201110273368.1有效
发明人： 李以贵;廖哲勋;罗晨晨;罗江波;陈丹丹;胡锦洋 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2011-09-15 - 公布日： 2012-03-07 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：一种基于表面微细加工工艺的电容式微麦克风及其制备方法，采用基于反应离子刻蚀和以HF为刻蚀液的湿法刻蚀工艺，反应离子干法刻蚀用于形成高深宽比结构，形成具有垂直侧壁的方腔结构，然后利用刻蚀液HF的湿法刻蚀，将振动膜与固定的电极膜之间的磷硅玻璃牺牲层刻蚀至穿通，形成一个内部中空侧壁有声孔的结构，支撑其上的振动薄膜，从而利用其电容变化将声音能量转化为电能。本发明在麦克风结构侧壁上刻蚀出声孔，不需要复杂的体微加工技术和精确的沉积工艺，能够比较容易地控制振动膜与电极之间的间隙距离，而且反应离子刻蚀和HF湿法刻蚀操作相对简单，整套工艺流程简单易行。
基于表面微细加工工艺电容式微麦克风及其制备方法

[发明专利]柔性基底的压电能量采集器及制备方法-CN201110279022.2无效
发明人：杨斌;唐刚;刘景全;杨春生;李以贵 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2011-09-20 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： H01L41/113 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机电系统技术领域的柔性基底的压电能量采集器及制备方法，该采集器包括：硅固定基座、聚对二甲苯基压电薄膜层和质量块，所述聚对二甲苯基压电薄膜层一端固定在硅固定基座上，另一端悬空并与质量块固定连接。聚对二甲苯基压电薄膜层由聚对二甲苯层及附于聚对二甲苯层上的压电薄膜层，压电薄膜层表面覆盖电极层。与现有的硅基MEMS压电能量采集器相比，其能有效提高器件的尖端位移，进而提高器件的输出特性，具有转换效率高等特点。该器件不但结构简单，制作容易，体积减小，并且它可运行于低频环境中，可有效地克服MEMS压电能量采集器输出功率较低的问题。
柔性基底压电能量采集制备方法

[发明专利]压电叠堆式MEMS振动能量采集器及其制备方法-CN201110054030.7有效
发明人：刘景全;唐刚;李以贵;杨春生;柳和生 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2011-03-08 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H01L41/113 文献下载
摘要：一种微机电系统技术领域的压电叠堆式MEMS振动能量采集器及其制备方法，该采集器包括：硅固定基座、压电叠堆片和质量块，压电叠堆片的一端固定在硅固定基座上且另一端悬空并与质量块固定连接。本发明通过采用压电叠堆式结构，大大提高了换能元件的能量转换效率，解决了传统的MEMS压电能量采集器输出功率低问题，且详细地给出其制备方法，制备方法简单，易于实现。
压电叠堆式 mems 振动能量采集及其制备方法