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[发明专利]基板旋转对准装置-CN201510659366.4在审
发明人： 李亨培;安庆烈;朴喜载 -专利权人： SNU精度株式会社
申请日： 2015-10-12 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及基板旋转对准装置，本发明的基板旋转对准装置为在沉积工艺中在掩模上对准基板的装置，包括：连接柱，与用于安装所述基板的安装部连接；旋转载物台，设置为圆形，用于固定所述连接柱，在外周面上交替形成有向内侧凹陷的凹陷部和向外侧凸出的凸出部；动力传递部，包括彼此按规定间隔隔开配置的多个滚轮销，其中至少一个所述滚轮销在对所述旋转载物台的区域的凹陷部加压紧贴的状态下进行旋转，以向所述旋转载物台传递动力；及固定部，在彼此按规定间隔隔开配置的多个固定销中至少一个固定销紧贴于所述旋转载物台的另一区域的凹陷部，从而使固定部具有与所述动力传递部向所述旋转载物台的加压力相反方向的力的矢量。
旋转对准装置

[发明专利]沉积用磁体检查装置-CN201510694947.1在审
发明人： 李亨培;李明振;朴喜载 -专利权人：株式会社SNU精密
申请日： 2015-10-22 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： G01B7/15 文献下载
摘要：本发明涉及沉积用磁体检查装置，本发明的沉积用磁体检查装置为用于检查在沉积工艺中对准基板和掩模时使用的磁体的装置，包括：掩模，由金属材料形成有规定的图案；基板，对准安装于所述掩模的上面；固定部，设置为使与所述掩模对准的所述基板的上面接触并被临时固定，在固定部的内部沿上下方向可移动地收容有所述磁体；及检查部，配置在所述掩模的下方，用于检测根据所述磁体和所述掩模之间距离的磁通密度和图案的下垂现象中的至少一个。由此，本发明提供一种在与向上式沉积环境相同的环境下检查在对准基板和掩模时使用的磁体，并且使在检查中可能会产生的震动最小化，从而能够获得精密及高可靠性的磁体检查结果的沉积用磁体检查装置。
沉积磁体检查装置

[发明专利]有机材料沉积系统-CN201210483534.5无效
发明人： 李亨培;安东愿 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2012-11-23 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种有机材料沉积系统，尤其是涉及一种用于在传输室中驱动机械手以将基材传输到工艺室中的结构简化，从而当对工艺室中的两个基材实施有机材料沉积工序时，用于基材的有机材料沉积工序的换向时间最短的有机材料沉积系统。
有机材料沉积系统

[发明专利]用于连续地沉积薄膜的设备-CN201310001946.5有效
发明人： 李亨培;郑基泽;赵晃新;尹成勋 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2013-01-04 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：公开了一种用于连续地沉积薄膜的设备，所述设备包括：材料存储单元；材料预热单元；材料传送单元；材料蒸发单元；以及坩埚传送单元。所述材料存储单元存储有机材料。所述材料预热单元将填充有所述有机材料的坩埚预热至比所述有机材料的蒸发点低的温度。所述材料传送单元从所述材料存储单元接收预定量的有机材料，并且将所述有机材料传送到放置于所述材料预热单元中的所述坩埚中。所述材料蒸发单元向所述坩埚供应热量并且蒸发填充在所述坩埚中的所述有机材料。所述坩埚传送单元将由所述材料预热单元预热的所述坩埚运入所述材料蒸发单元中或者将耗尽所述有机材料的所述坩埚运出所述材料蒸发单元。
用于连续沉积薄膜设备

[发明专利]用于制造平板显示器的设备-CN201210448244.7无效
发明人： 李亨培;赵晃新;安祐正;宋基哲 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2012-11-09 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H01L21/77 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于制造平板显示器的设备，该设备包括多个处理室、传递室、加载室和卸载室。所述多个处理室均形成有内部空间，在该内部空间中处理至少两个基板。所述传递室沿第一方向布置在多个处理室之间，并且所述传递室包括传递机器人，该传递机器人在沿垂直于第一方向的第二方向直线往复运动时将未处理的基板供给处理室或者从处理室运出已处理的基板。所述加载室连接到传递室的一侧并且容纳将要供给传递室的基板。所述卸载室连接到传递室的另一侧并且容纳从传递室运出的基板。所述传递机器人在沿第二方向直线往复运动时控制基板顺序地供给处理室或者从处理室运出。
用于制造平板显示器设备

[发明专利]基板支撑装置及利用该装置的LCD单元密封图案检验装置-CN200880005399.5有效
发明人： 李亨培;吴龙喆 -专利权人：株式会社SNU精密
申请日： 2008-03-19 - 公布日： 2009-12-30 - 主分类号： G02F1/1339 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板支撑装置及利用该装置的LCD单元密封图案检验装置。该基板支撑装置包括：可移动台架，其设置有用于将基板附着于上表面的吸嘴，并且适于以预定角度旋转；固定台架，其与可移动台架间隔开，并且设置有用于向上喷射空气的浮嘴和用于向下抽吸空气的吸嘴；和驱动装置，其结合于可移动台架，用于旋转可移动台架。LCD单元密封图案检验装置包括基板支撑装置及门架单元，其中门架单元包括支撑台，其位于基板支撑装置两侧；桥体，其位于基板支撑装置的上方，用于连接支撑台；和修正装置，其结合于桥体，用于检验和补修基板密封图案。基板支撑装置及利用该装置的LCD单元密封图案检验装置通过利用用于安装基板的分离的台架，能够容易地对准基板。
支撑装置利用 lcd 单元密封图案检验