|
钻瓜专利网为您找到相关结果 13个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN202310261585.1在审
-
西野阳祐;杉冈真治
-
株式会社斯库林集团
-
2023-03-14
-
2023-09-19
-
H01L21/67
- 本发明提供一种衬底处理方法及衬底处理装置。在衬底处理方法中,从内槽(110)、外槽(120)、及循环配管(141)排出处理液(第1排液工序S1)。在排出处理液之后,经过新液供给口(185)而对内槽(110)重新供给处理液(第1供给工序S2)。在对内槽(110)重新供给处理液之后,将蓄积在内槽(110)中的处理液排出直到内槽下限水平(LVL)为止(第2排液工序S3)。在将处理液排出直到内槽下限水平(LVL)为止之后,经过新液供给口(185)而对内槽(110)重新供给处理液(第2供给工序S4)。内槽下限水平(LVL)表示比配置在内槽(110)内部的循环液导入口(132)的位置更高的液位,并且表示比配置在内槽(110)内部的新液供给口(185)的位置更高的液位。
- 衬底处理方法装置
- [发明专利]衬底处理装置-CN202211150585.6在审
-
高桥朋宏;内田博章;岸田拓也;杉冈真治
-
株式会社斯库林集团
-
2022-09-21
-
2023-03-24
-
H01L21/67
- 本发明涉及一种衬底处理装置。在作为第1循环配管(35)的一部分的浓缩用配管(39),设有具有石英管(47)的石英加热器(41)。第1迂回配管(36)的两端(36A)、(36B)连接在浓缩用配管(39)的上游端及下游端。在第1迂回配管(36),设有具有非石英管(51)的非石英加热器(45)。控制部(93)在将第1槽(T1)内的磷酸溶液浓缩时,一边将磷酸溶液输送到浓缩用配管(39),一边使用石英加热器(41)将通过浓缩用配管(39)的磷酸溶液加热。控制部(93)在第1槽(T1)内的磷酸溶液的浓缩完成时,一边将磷酸溶液输送到第1迂回配管(36),一边使用非石英加热器(45)将通过第1迂回配管(36)的磷酸溶液加热。
- 衬底处理装置
- [发明专利]基板处理方法以及基板处理装置-CN202111059078.7在审
-
佐佐木光敏;高桥朋宏;佐藤昌治;杉冈真治
-
株式会社斯库林集团
-
2021-09-09
-
2022-03-25
-
H01L21/67
- 本发明提供一种能够将基板加工成更复杂的形状的基板处理方法以及基板处理装置。基板处理方法是将具有交替层叠的氧化膜(Ma)和氮化膜(Mb)的基板(W),在处理槽(3)中用含磷酸的蚀刻液(E)蚀刻的方法。在第一处理工序(步骤S2)中,控制参数以使与蚀刻液(E)中的磷酸的浓度相对应的物理量成为第一目标值。在第二处理工序(步骤S4)中,控制参数以使与蚀刻液(E)中的磷酸的浓度相对应的物理量成为比第一目标值低的第二目标值。参数是使与蚀刻液(E)中的磷酸的浓度相对应的物理量变动的参数。第二目标值表示与第一目标值相比,氮化膜(Mb)的蚀刻速度更大且氧化膜(Ma)的蚀刻速度更小的值。
- 处理方法以及装置
- [发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201710850617.6有效
-
杉冈真治
-
株式会社斯库林集团
-
2017-09-20
-
2021-12-24
-
H01L21/67
- 一种基板处理装置和基板处理方法,该技术在基板处理装置或基板处理方法中,能够将处理槽中的处理液的浓度更可靠地保持为适合在该处理槽中进行的处理的浓度。一种基板处理装置,其是将基板浸渍在混合酸水溶液中而对该基板进行蚀刻处理的基板处理装置,包括:处理槽,贮存有混合酸水溶液;处理液更换部,根据处理槽中的混合酸水溶液的作用期限对混合酸水溶液进行全液更换;检测部,用于检测混合酸水溶液中的纯水浓度;浓度控制部,基于利用检测部检测的纯水浓度对处理槽中的混合酸水溶液供给纯水,从而控制纯水浓度以使该浓度成为规定的目标浓度;以及目标值变更部,用于变更下侧基准值(目标浓度)。
- 处理装置方法
- [发明专利]基板处理装置、以及基板处理方法-CN201980077527.5在审
-
松井浩彬;木村隆一;杉冈真治
-
株式会社斯库林集团
-
2019-11-13
-
2021-07-23
-
H01L21/304
- 本发明的目的在于,在基板处理装置中容易地进行对基板实施的处理的定制。为了达成该目的,基板处理装置具备两个以上药液处理部、存储部以及控制部。各药液处理部包括处理槽和供液部。处理槽利用处理液对基板实施处理。供液部向处理槽供给处理液。存储部针对各药液处理部存储基板的每单位处理量的处理液的供给量的数值信息。控制部具有获取部、识别部、算出部以及供给控制部。算出部基于数值信息中的与由识别部识别出的一个药液处理部对应的基板的每单位处理量的处理液的供给量的数值、以及由获取部获取的处理量信息,算出向一个药液处理部的处理槽供给的处理液的供给量的数值。供给控制部根据由算出部算出的数值,利用供液部将处理液供给至处理槽。
- 处理装置以及方法
- [发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201880068938.3在审
-
杉冈真治;木村隆一;久保靖
-
株式会社斯库林集团
-
2018-10-10
-
2020-06-09
-
H01L21/306
- 基板处理装置,其通过在包含一种以上的药液及纯水的处理液中浸渍基板从而对该基板进行规定的处理,所述基板处理装置具备:处理槽,其贮留有用于对基板进行规定的处理的处理液;处理液更换部,当处理槽中的处理液的使用期到期时,对处理液进行更换;检测部,其对处理液中的纯水或其他的规定成分的浓度进行检测;浓度控制部,其在使用期到期之前的期间,将浓度控制在适于规定的处理的浓度范围内;和延期部,其将利用处理液更换部进行的处理液的更换延期至规定的处理的开始时。此外,在通过延期部而处理液的更换被延期的期间,浓度控制部也将浓度控制在适于规定的处理的浓度范围内。
- 处理装置方法
|