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[发明专利]气体吸排单元及具备该气体吸排单元的原子层沉积装置-CN201310394826.6在审
发明人：全蓥卓;崔鹤永;朴炷泫;申锡润;咸基热 -专利权人：丽佳达普株式会社
申请日： 2013-09-03 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及气体吸排单元及具备该气体吸排单元的原子层沉积装置。气体吸排单元可以包括：内部形成有供气流道的供气管；在内部形成与所述供气流道连通的排气流道的排气管；围绕所述排气管的外周面的至少一部分，从而在内部形成吸气流道的吸气管。因此，当配置在与基板临近的位置时，能够同时完成对气体的供给和吸入。由此，可在常压下形成沉积，因此不需要用于确保真空的其他装置以及时间。而且，可进行连续性工序，可将前后处理进行在一条线上，并且通过设置多个源气体吸排单元，可形成多组分化合物。此时，可根据各个源气体的分解温度分别选择热源种类以及被供应的热能量。
气体单元具备原子沉积装置

[发明专利]原子层沉积装置-CN201310395120.1在审
发明人：全蓥卓;崔鹤永;申锡润;朴炷泫;咸基热 -专利权人：丽佳达普株式会社
申请日： 2013-09-03 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明的原子层沉积装置，包括供气管和吸气管，该供气管具备：供给管体，在其内部沿长度方向形成有供给气体的供气流道；排气部，沿供给管体的长度方向形成于供给管体，并与供气流道连通；该吸气管具备：吸入管体，在其内部沿长度方向形成有吸入气体的吸气流道；吸气部，沿吸入管体的长度方向形成于吸入管体，并与吸气流道连通；供气管和吸气管可以在与基板对供气管和吸气管的相对运动方向交叉的方向上彼此分开形成。本发明一实施例中的原子层沉积装置，分开形成用于供给源气体或反应气体的供给管和用于吸入除去残留气体的吸气管，从而不仅能够减少气体使用量，减少沉积原子层的基板轨迹，还能够简化实现气体供给及吸入动作的机械结构。
原子沉积装置