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[发明专利]微粒收集装置-CN202310125621.1在审
发明人：金盛珍;朴天英;朴在穆;赵源锡 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本公开提供了一种微粒收集装置，包括：第一收集装置，位于在第一方向上传送的衬底上，并且在与第一方向交叉的第二方向上延伸；以及第二收集装置，在第一方向上与第一收集装置相邻，第二收集装置位于衬底上，并且在第二方向上延伸。第一收集装置收集残留在衬底上的第一微粒，且第二收集装置收集残留在衬底上的第二微粒，第二微粒包括与第一微粒的材料不同的材料。
微粒收集装置

[实用新型]微粒收集装置-CN202320226861.6有效
发明人：金盛珍;朴天英;朴在穆;赵源锡 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本公开提供了一种微粒收集装置，包括：第一收集装置，位于在第一方向上传送的衬底上，并且在与第一方向交叉的第二方向上延伸；以及第二收集装置，在第一方向上与第一收集装置相邻，第二收集装置位于衬底上，并且在第二方向上延伸。第一收集装置收集残留在衬底上的第一微粒，且第二收集装置收集残留在衬底上的第二微粒。
微粒收集装置

[发明专利]沉积系统-CN202011014219.9在审
发明人：李镐准;金京汉;朴在穆;赵源锡;金盛珍;文柱日;朴宰完;崔烔赫 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明的沉积系统包括：具有维持真空状态的操作空间的腔室；在腔室内沿第一路径循环并移送载体的第一移送装置；在腔室内沿第二路径往返并移送掩模的第二移送装置；在腔室内沿第一路径设置在沉积区域中的沉积装置；设置在腔室内的装载部；以及与第一路径和所述装载部连接的第三移送装置，载体在第一路径的基板结合站中与基板结合，并且在第一路径与第二路径交汇的掩模结合站中与掩模结合，载体在与基板及掩模结合之后经过沉积区域，并且在第一路径与第二路径交汇的掩模分离站中与掩模分离，在第一路径的基板分离站中与基板分离。
沉积系统

[发明专利]沉积源蒸发设备-CN202010110513.3在审
发明人：安秉九;金京汉;车敏徹;朴在穆;赵源锡;郑基菜;赵渊衡 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2020-02-24 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：公开了一种沉积源蒸发设备。该沉积源蒸发设备包括：坩埚组，用于容纳沉积源；喷射单元，位于坩埚组上；加热器，位于坩埚组中用于加热坩埚组以通过喷射单元蒸发沉积源；以及防热辐射板，围绕喷射单元以阻挡喷射单元的侧面的热辐射。坩埚单元和防热辐射板中的至少一个包括碳纤维复合材料。
沉积蒸发设备

[发明专利]沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法-CN201910109900.2在审
发明人：郑基菜;金京汉;朴在穆;朴宰完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2019-02-11 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法。沉积装置包括：腔室，包括至少一个排气孔；旋转部件，被配置在所述腔室的内部；多个沉积源，在平面上彼此隔开并被配置在所述旋转部件上，各个沉积源包括限定有开口部的主体、连接到所述主体的加热器、通过所述开口部安装到所述主体的收纳容器和填充到所述收纳容器且待形成在基板上的沉积材料；以及电源模块，与包括在所述沉积源中的多个所述加热器分别电连接，在预备区间期间，通过由所述电源模块向所述加热器供应的电源来同时加热所述收纳容器。
加热器沉积装置收纳容器沉积源电源模块旋转部件开口部腔室沉积材料电连接排气孔沉积隔开基板配置加热填充电源预备

[发明专利]沉积设备及其控制方法-CN201010193925.4有效
发明人：黄珉婷;车裕敏;赵源锡;朴在穆;朴宰完;安宰弘 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-06-01 - 公布日： 2010-12-08 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种包括多个反应室的沉积设备及控制该沉积设备的方法。该沉积设备包括：第一室，在沉积主体上沉积第一沉积材料；第二室，在沉积主体上沉积不同的第二沉积材料；第三室，在沉积主体上沉积第一沉积材料；传递室，连接到第一室至第三室，所述传递室将沉积主体传递到第一室至第三室中的至少一个；控制单元，将沉积主体从传递室运输到第一室至第三室中的至少一个。
沉积设备及其控制方法

[发明专利]用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统-CN201010170313.3有效
发明人：朴宰完;车裕敏;赵源锡;朴在穆;安宰弘;黄珉婷;金兑昱;李钟禹;金兑承 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-05-04 - 公布日： 2010-11-10 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统，其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程，使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少，从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括：室，其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域；有机材料沉积源，被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内，以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上；以及第一传送单元，用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。
用于沉积有机材料装置及其方法系统