“朱科文”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果6个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种具有对称式谐振振子结构的微机械谐振器及调节方法-CN202310517385.8在审
发明人：吴国强;华兆敏;肖宇豪;朱科文;韩金钊;李灿 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种具有对称式谐振振子结构的微机械谐振器及调节方法，该微机械谐振器包括衬底硅片、谐振器结构；衬底硅片正面具有空腔结构；谐振器结构包含谐振振子、支撑梁结构和锚点结构；谐振振子通过支撑梁结构与锚点结构连接，锚点结构与衬底硅片连接，且谐振振子、支撑梁结构和锚点结构均悬空于衬底空腔上方；衬底硅片正面的空腔结构位置分别与谐振器谐振振子、支撑梁结构和锚点结构相对应；谐振振子位于支撑梁两侧，以支撑梁为中心，形成轴对称式的一组或多组。该微机械谐振器优化了微机械谐振器的结构，减小了微机械谐振器的锚点损耗，提高了器件的Q值；同时通过设计电极布局实现可调的激励和检测方式。
一种具有对称谐振结构微机谐振器调节方法

[发明专利]一种微机械谐振器及其制备方法、微机械振荡器-CN202310335087.7在审
发明人：吴国强;肖宇豪;韩金钊;朱科文;华兆敏;李灿 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明属于微电子技术领域，公开了一种微机械谐振器及其制备方法、微机械振荡器。本发明中谐振振子包括主谐振结构和机械耦合结构，主谐振结构采用方板结构，机械耦合结构采用圆环板或圆板结构，机械耦合结构与主谐振结构连接，且机械耦合结构位于主谐振结构的四角。微机械谐振器对应的频率温度曲线的温度拐点基于主谐振结构与机械耦合结构的质量占比进行调控。通过对谐振振子的几何尺寸进行设计，可以实现频率温度曲线的温度拐点的调控，能够满足多种不同场合的应用需求。
一种微机谐振器及其制备方法振荡器

[发明专利]一种具有特殊结构谐振振子的微机械谐振器及制备方法-CN202310190031.7在审
发明人：吴国强;朱科文;肖宇豪;华兆敏;韩金钊;李灿 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明涉及微电子技术，具体涉及一种具有特殊结构谐振振子的微机械谐振器及制备方法，该微机械谐振器包括谐振器结构和衬底硅片，谐振器结构包含谐振振子和支撑梁；衬底硅片具有空腔结构，谐振振子悬空于衬底硅片的空腔结构的上方，谐振振子通过支撑梁与衬底硅片连接，谐振振子侧面与谐振振子下表面的夹角小于90°；支撑梁与谐振振子的边界连接。通过改变谐振器谐振振子的结构，形成谐振振子侧面与下表面小于90°夹角，改变了谐振振子在垂直方向不同区域的接触面积，使谐振器的热梯度减小，可以有效地降低谐振器的热弹性损耗，进而提高谐振器的Q值。
一种具有特殊结构谐振微机谐振器制备方法

[发明专利]一种微机械谐振器及其制备方法-CN202211367814.X在审
发明人：吴国强;肖宇豪;韩金钊;朱科文;华兆敏;李灿 -专利权人：武汉大学
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明属于微电子技术领域，公开了一种微机械谐振器及其制备方法。本发明中谐振振子包括主谐振结构和机械耦合结构，主谐振结构采用矩形板结构，机械耦合结构采用一个或多个圆环板结构，微机械谐振器对应的频率温度曲线的温度拐点基于主谐振结构与机械耦合结构的质量占比进行调控。本发明通过添加机械耦合结构降低能量损耗，从而提高Q值；通过对谐振振子的几何尺寸进行设计，可以实现频率温度曲线的温度拐点的调控，能够满足多种不同场合的应用需求。
一种微机谐振器及其制备方法

[发明专利]一种恒温控制微机械谐振器及其恒温控制方法、制备方法-CN202211292419.X在审
发明人：吴国强;肖宇豪;韩金钊;朱科文;华兆敏;李灿 -专利权人：武汉大学
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明属于微机械谐振器技术领域，公开了一种恒温控制微机械谐振器及其恒温控制方法、制备方法，该谐振器结构包括微加热腔和谐振振子，并关于谐振振子晶向夹角的角平分线对称，本发明利用具有不同晶向的谐振振子的频率偏移‑温度曲线的差异进行频率测温，从而能够实现更高精度的恒温控制功能，能够提高谐振器的频率稳定性。
一种恒温控制微机谐振器及其方法制备

[发明专利]基于石墨烯动态电感的磁传感器-CN201910034874.1有效
发明人：刘锋;朱科文;祝沛桢;朱元博;陈志伟 -专利权人：武汉大学
申请日： 2019-01-15 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基于石墨烯动态电感的磁传感器，其特征在于，包括：衬底；设置在衬底上的U形石墨烯线圈；和设置在衬底的绝缘面上、并且分别与U形石墨烯线圈的两端相接触的两个金属电极，其中，U形石墨烯线圈包含一层～九层单分子石墨烯层。本发明所提供的基于石墨烯动态电感的磁传感器是基于一种新型原理—石墨烯动态电感进行磁场精密测量，利用石墨烯具有大动态电感值，且随外磁场变化而变化，其变化值是载流子电量变化的十个量级倍数，具有很高的灵敏度以及便于测量的特点。综上，本发明的磁传感器具有灵敏度高、结构简单、测试方便、工作稳定性好、尺寸小、易于集成实现等优点，非常适合大范围推广使用。
基于石墨动态电感传感器