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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用一氧化二氮的回蚀方法-CN200480029165.6有效
  • 拉奥·安纳普勒格德;朱海伦 - 兰姆研究公司
  • 2004-10-05 - 2006-11-15 - H01L21/8238
  • 本发明公开了一种在通孔中产生有机插塞的方法，所述通孔位于具有硅基电介质材料的集成电路(IC)中，产生所述有机插塞的所述方法包括：应用有机化合物，比如底层抗反射涂层。所述有机化合物填充通孔。然后将一氧化二氮(N2O)气体通入反应器，在所述反应器产生等离子体。所述有机化合物的很大一部分被去除，留下有机插塞占据通孔。所述有机插塞通常是在双镶嵌工艺中产生。
  • 氧化方法
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