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[发明专利]晶圆后处理设备及其应用的具有导流功能的通风系统-CN202110761381.5有效
发明人： 曹自立;李灯;刘健;李长坤;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆后处理设备及其应用的具有导流功能的通风系统，晶圆后处理设备包括：用于竖直旋转晶圆的夹持机构、用于输送流体的供给臂、用于在晶圆处理腔室内形成动态气流的通风系统；所述通风系统包括位于所述晶圆处理腔室一面的进气组件和位于所述晶圆处理腔室的相对的另一面的排气组件，所述排气组件包括排风背板和环形排风罩，所述晶圆处理腔室内的气体从排风背板的排风口进入环形排风罩进行汇集，并通过环形排风罩的底部引出结构向下方的排气管路引出；所述排风背板的排风口具有由内向外敛缩的内表面，以在相邻排风口之间形成导流结构，从而减少排风口之间的实体区域对气流的阻挡。
晶圆后处理设备及其应用具有导流功能通风系统

[发明专利]晶圆后处理设备及其应用的具有匀流功能的通风系统-CN202110761658.4有效
发明人： 曹自立;李灯;申兵兵;李长坤;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆后处理设备及其应用的具有匀流功能的通风系统，晶圆后处理设备包括：用于竖直旋转晶圆的夹持机构、用于输送流体的供给臂、用于在晶圆处理腔室内形成动态气流的通风系统；通风系统包括进气组件和排气组件，排气组件包括排风背板、环形匀流板和环形排风罩，环形匀流板设置在排风背板靠近环形排风罩的一侧，晶圆处理腔室内的气体依次通过排风背板的排风口、环形匀流板的匀流口进入环形排风罩进行汇集，并通过环形排风罩的底部引出结构向下方的排气管路引出；排风背板的多个排风口排列成与环形排风罩位置对应的环形，环形匀流板的匀流口设置在正对排风口的位置以对排风口的出风量进行调节。
晶圆后处理设备及其应用具有功能通风系统

[发明专利]一种晶圆夹持装置和晶圆清洗装置-CN202110761382.X有效
发明人： 曹自立;李灯;李长坤;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆夹持装置和晶圆清洗装置，所述晶圆夹持装置包括盘状结构的基座，所述基座的外周侧间隔设置有卡爪，所述卡爪的内侧设置有由两个交汇面形成的卡槽以夹持晶圆的边缘；所述卡爪的外轮廓朝向外侧凸起，以将清洗的液体导流汇聚至外侧凸起处；所述卡爪的外轮廓包括第一外侧面和第二外侧面，所述第一外侧面沿卡爪根部的上端朝向外侧延伸，所述第二外侧面自所述第一外侧面的上端朝向内侧延伸。
一种夹持装置清洗

[发明专利]一种高熵合金/铝复合的泡沫型吸波材料及制备方法-CN202110153789.4有效
发明人：刘佳奇;曹自立;王宏明;李桂荣 -专利权人：江苏大学
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： C22C1/08 文献下载
摘要：本发明公开一种高熵合金/铝复合的泡沫型吸波材料及制备方法，属于吸波材料领域。所述高熵合金为FeCoNiNd0.2B0.6，基体为铝合金；通过高能球磨制备得到高熵合金粉末；将铝合金粉末与TiH2发泡剂进行充分混合，并通过冷等静压得到压坯，将压坯放入微波熔炼炉内加热到半固态熔融状态；通过喷粉技术将高熵合金粉末均匀喷熔体表面，期间进行机械搅拌和超声震荡；出炉浇铸到低温模具中，得到高熵合金/铝复合的泡沫型吸波材料；本发明的材料及方法环保无污染，微波加热可实现温度升降的精准控制，半固态熔融态的基体保证了增强颗粒的完整性，界面结合干净，泡沫型吸波材料兼具轻质、高吸波性能和高强韧等的特点。
一种合金复合泡沫型吸波材料制备方法

[发明专利]一种晶圆竖直刷洗装置-CN202111676179.9在审
发明人： 曹自立;李长坤;孙传恽 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆竖直刷洗装置，其包括喷液组件，所述喷液组件包括喷嘴，所述喷嘴的喷射方向与晶圆的旋转方向相匹配；所述喷嘴的数量为多个，以朝向不同方向及区域喷射流体，使得喷射的流体覆盖旋转晶圆的表面。
一种竖直刷洗装置

[发明专利]一种晶圆固定装置及晶圆干燥装置-CN202111462246.7在审
发明人：李长坤;曹自立 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆固定装置及晶圆干燥装置，所述晶圆固定装置包括底部支撑件，所述底部支撑件的外周侧间隔设置有多个卡爪，所述卡爪的形成有用于与晶圆的边缘抵接的卡合部；所述卡爪配置有疏通孔，所述疏通孔自所述卡爪的卡合部朝向外侧贯通设置；所述疏通孔能够引导流体排出，以抑制其在晶圆或卡爪处驻留。
一种固定装置干燥

[发明专利]一种晶圆夹持机构和晶圆后处理设备-CN202111110191.3在审
发明人： 曹自立;李灯;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆夹持机构和晶圆后处理设备，其中，晶圆夹持机构包括可旋转的盘状结构的基座，所述基座的周侧间隔设置有用于保持晶圆的卡爪，所述卡爪具有正对晶圆时所见的端面、与晶圆接触的第一侧面以及与第一侧面相邻的背离晶圆的第二侧面，所述卡爪的端面为梭形，所述卡爪倾斜设置以使所述梭形的长对角线与晶圆旋转方向的反方向之间呈锐角。
一种夹持机构晶圆后处理设备

[发明专利]一种高熵合金颗粒增强铝基复合材料及磁场辅助制备方法-CN202110070862.1有效
发明人：王宏明;谭祥;任文祥;曹自立;李桂荣;韩天宇 -专利权人：江苏大学
申请日： 2021-01-19 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： C22C21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种高熵合金颗粒增强铝基复合材料及磁场辅助制备方法，所述复合材料以纯铝或铝合金作为基体，添加FeCoCrCuNimRn高熵合金作复合相，实现性能增强及赋予材料吸波性及可焊接性，复合材料中FeCoCrCuNimRn高熵合金复合相的质量分数为5~20%。本发明的复合材料的制备方法采用以下主要制备步骤：（1）制备高熵合金粉末；（2）制备高熵合金和纯铝或铝合金的复合粉末；（3）冷等静压成型；（4）磁场辅助微波烧结固化。本发明基于烧结时磁场的存在加速了反应和扩散过程、降低了反应温度，从而避免了合金晶粒在高温下的长大，最终得到具有良好综合性能的复合材料，具有较高的实用价值。
一种合金颗粒增强复合材料磁场辅助制备方法

[实用新型]一种基于树莓派开发板的便携式眼底成像系统-CN202020879903.2有效
发明人：何帆;余庆祥;陈佳男;杨轶婷;沈叶露;肖豪迪;朱秀委;林维豪;金鑫;曹自立 -专利权人：温州医科大学
申请日： 2020-05-23 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： A61B3/12 文献下载
摘要：一种基于树莓派开发板的便携式眼底成像系统，包括树莓派开发板、液晶触摸显示屏、光路系统，光路系统包括照明系统与成像系统，照明系统包括沿同一光路依次设置的光源与匀光透镜组，成像系统包括沿同一光路依次设置的网膜物镜、半透半反棱镜、成像物镜、调焦物镜和CCD探测器。其优点在于1、以树莓派开发板作为核心控制模块，并配合液晶触摸显示屏，使得整体结构更加轻巧便携；2、通过树莓派开发板实现光源切换及亮度可调，保证光源亮度处于最佳状态，从而保证图像清晰；3、成像物镜和CCD探测器之间设置调焦物镜，有效解决因近视或远视引起的视网膜不能成像在CCD探测器位置的问题。
一种基于树莓派开发便携式眼底成像系统

[实用新型]喷射角度可调的马兰戈尼干燥装置-CN202021352349.9有效
发明人：李长坤;曹自立;申兵兵;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种喷射角度可调的马兰戈尼干燥装置，包括：用于竖直旋转晶圆的驱动机构、用于输送流体的供给臂和用于驱动所述供给臂摆动的转轴件；所述转轴件与所述供给臂的一端连接以使所述供给臂可竖直地摆动，所述供给臂经由设置于其自由端处的喷嘴组件将流体供应至晶圆上；所述喷嘴组件包括具有喷嘴的第一喷嘴臂和第二喷嘴臂，所述第一喷嘴臂和第二喷嘴臂沿所述供给臂延长，可旋转地固定配置于所述供给臂的自由端；所述第一喷嘴臂和所述第二喷嘴臂的轴线彼此平行并且都垂直于所述转轴件的轴线；所述第一喷嘴臂的喷嘴垂直于第一喷嘴臂的轴线，所述第二喷嘴臂的喷嘴回勾或前探倾斜地设置于所述第二喷嘴臂上。
喷射角度可调马兰干燥装置

[发明专利]晶圆干燥方法和系统-CN202010867305.8有效
发明人： 曹自立;李长坤;刘健;赵德文 -专利权人：华海清科（北京）科技有限公司
申请日： 2020-08-26 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆干燥方法和系统，其中晶圆干燥方法包括：使晶圆绕垂直于其表面的中心轴旋转；向晶圆表面供给混合液体以在晶圆表面形成所述混合液体的液膜，其中，所述混合液体由向清洗液中溶入一定浓度的表面活性物质形成，所述混合液体的表面张力低于水的表面张力；向所述晶圆表面喷射干燥气体以产生马兰戈尼效应使所述液膜剥离所述晶圆表面实现晶圆干燥。晶圆干燥系统包括旋转单元、供液单元和干燥单元。
干燥方法系统

[发明专利]用于马兰戈尼干燥的喷嘴及晶圆后处理装置-CN202010663521.0有效
发明人：李长坤;赵德文;曹自立;申兵兵;路新春 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： B05B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造设备技术领域，公开了用于马兰戈尼干燥的喷嘴及晶圆后处理装置，其中喷嘴包括设于喷嘴内部的用于气体流通的腔室和包围腔室的喷嘴壁；腔室贯通位于喷嘴两端的进气口和出气口，腔室包括窄径腔、第一过渡腔和宽径腔，窄径腔连通进气口，宽径腔连通出气口，第一过渡腔连接在窄径腔和宽径腔之间以实现贯通，窄径腔的平均内径小于宽径腔的平均内径，第一过渡腔的内径沿进气口至出气口的方向逐渐增大；晶圆后处理装置包括：晶圆支撑组件，用于支撑晶圆并带动晶圆运动；晶圆清洗模块，用于使用清洗液对晶圆表面进行清洗；晶圆干燥模块，其包括上述喷嘴。
用于马兰干燥喷嘴晶圆后处理装置

[发明专利]一种用于化学机械抛光承载头的驱动装置-CN201911014962.1有效
发明人：李长坤;刘远航;赵德文;路新春;曹自立 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于化学机械抛光承载头的驱动装置，包括电机、驱动轴、气动组件和外壳，所述电机和气动组件配置于所述外壳内，所述驱动轴从所述外壳底部伸出以将所述电机和气动组件的作用传递至承载头，所述外壳外表面配置有至少一个光学传感器单元。
一种用于化学机械抛光承载驱动装置

[发明专利]一种化学机械抛光装置-CN201911015128.4有效
发明人：李长坤;刘远航;赵德文;路新春;曹自立 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学机械抛光装置，包括：转盘，用于使抛光垫与其一起旋转；承载头，其配置有保持环以接收基板并将基板加载于所述抛光垫；承载头驱动装置，该驱动装置包括电机、驱动轴、气动组件、外壳和控制单元。所述电机和气动组件配置于所述外壳内，所述驱动轴从所述外壳底部伸出以将所述电机和气动组件的作用传递至承载头，所述外壳外表面配置有光学传感器单元及用于致动该光学传感器单元的导杆，所述光学传感器单元可随所述导杆在所述外壳表面移动或移动至所述外壳下方，并且所述光学传感器单元具有至少一个可调节角度的摄像头或多个朝不同方向设置的摄像头以获取化学机械抛光装置不同作业区域和零部件的图像信息。
一种化学机械抛光装置

[外观设计]交互式急救培训机-CN202030177822.3有效
发明人：刘宇添;潘嘉余;胡丁梦;王宏超;卢宁;林维豪;曹自立;陈晓琳;金博闻;申恒运 -专利权人：温州医科大学
申请日： 2020-04-26 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： 19-07 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：交互式急救培训机。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于医生、学生等急救培训操作者进行心脏复苏、人工呼吸及触摸颈动脉搏动操作练习时的信号接收和信号产生，该产品并能实时显示装置采集的信息，以及与电脑软件系统实现交互作用。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图。5.指定设计1为基本设计。
交互式急救培训