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- [实用新型]一种半导体设备扩散炉用冷阱-CN202123406780.4有效
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程宪良
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无锡诺莱德智能科技有限公司
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2021-12-30
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2022-09-16
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B01D8/00
- 本实用新型提供种半导体设备扩散炉用冷阱，用于对扩散炉中的特气进行收集；包括冷却筒1，内胆2，内冷却组件，和连接组件；所述冷却筒1，内胆2和内冷却组件依次由外至内共轴套设，通过顶部连接组件固定；连接组件，包括第二连接法兰6和内胆顶部的第一连接法兰23；所述冷却筒1上设置有进气口槽部11与设置在内胆2侧壁的进气口21配合；内胆2底部还设置有出气口22；内冷却组件，包括内冷却管3，冷却片4和冷却架5；冷却架5轴向设置；冷却架5顶部轴向设置有冷却管3；冷却管3贯穿冷却架5正上方的第二连接法兰6设置；本实用新型的有益效果：冷阱可实现尾气的冷凝，收集，环保；有助于提高尾气收集，减少排放。
- 一种半导体设备扩散炉用冷阱
- [实用新型]一种半导体扩散炉花篮存储支架-CN202123012423.X有效
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程宪良
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无锡诺莱德智能科技有限公司
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2021-12-02
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2022-07-29
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B25H3/04
- 本实用新型提供一种半导体扩散炉花篮存储支架，解决原厂组件只能对寸晶圆进行存储，而无法对寸晶圆进行存储的问题；包括支架本体，固定槽部和花篮支架；支架本体上设置有固定槽部用于固定第一花篮和第二花篮；第一花篮为6寸花篮；第二花篮为8寸花篮；花篮支架包括前花篮支架，第一后花篮支架和第二后花篮支架5；前花篮支架3第一后花篮支架和第二后花篮支架5均对称设置有两个，分别设置在固定槽部的两侧边缘，用于固定花篮；本实用新型的有益效果：存储架本体采用TFE制成，洁净度高，传感器感应灵敏，前后支架内部采用铝制作，强度高，外部喷涂PTFE材质,以防止花篮与金属支架直接接触，损伤组件。
- 一种半导体扩散花篮存储支架
- [实用新型]一种LED外延炉集气环-CN202123406865.2有效
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程宪良
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无锡诺莱德智能科技有限公司
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2021-12-30
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2022-07-29
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C30B25/14
- 本实用新型提供一种LED外延炉集气环，用于安装在LED外延炉内，收集特殊气体使用；包括集气环本体，气流道1，冷却水管2，和调节螺栓4；集气环本体，为圆盘设置，包括冷却水腔3，冷却水管2与冷却水腔3连通设置；冷却水腔3，包括外环腔31和内环腔32；所述冷却水腔3自顶面垂直向下凹陷设置有气流道1；所述气流道1呈圆环状，外部为外环腔31和中部腔32；外环腔31与中部腔32连通设置；所述调节螺栓4轴向设置在中部腔32的冷却水通道323上。本实用新型的有益效果：增加了冷却水调节螺栓，调节冷却水流量，保证集气环的温度均匀，延长集气环使用寿命。
- 一种led外延炉集气环
- [实用新型]一种半导体扩散炉用花篮支架-CN202122879392.1有效
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程宪良
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无锡诺莱德智能科技有限公司
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2021-11-23
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2022-06-07
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H01L21/673
- 本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮支架，用于适配可以同时进行6寸及8寸晶圆生产的情况；包括下固定支架1，中心支架2和传感器支架3；所述下固定支架1设置有T型槽11用于配合固定第一花篮4或第二花篮5；所述第一花篮4为6寸；所述第二花篮为8寸；所述T型凹槽11两侧边缘设置有传感器支架3，检测上方是否设有花篮；所述T型凹槽11两侧折角处设置有中心支架4，用于对6寸的花篮进行圆点定位；本实用新型的有益效果：本花篮支架本体采用PTFE制成，洁净度高，传感器感应灵敏，安装位置与原厂匹配，中心支架内部采用铝制作，强度高，外部喷涂ptfe,以防止花篮与金属支架直接接触。
- 一种半导体扩散花篮支架
- [实用新型]一种半导体扩散炉用陶瓷手臂-CN202123013068.8有效
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程宪良
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无锡诺莱德智能科技有限公司
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2021-12-02
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2022-05-17
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H01L21/687
- 本实用新型提供一种半导体扩散炉用陶瓷手臂，用于在半导体扩散炉中对6寸晶圆进行承载传递的工序；陶瓷手臂本体为一片状承载式手臂，包括安装孔位1，支撑位2，第一触点3，第二触点5；安装孔位1设置在陶瓷手臂本体端部，用于将陶瓷手臂本体安装在设备支架上；陶瓷本体还包括支撑位2，用于承载晶圆；支撑位2的上表面设置有第一触点3和第二触点5，用于感应承载在支撑位2上的晶圆；陶瓷手臂本体侧缘靠近第二触点5处还设置有传感器让位4；所述传感器让位4为向陶瓷手臂本体中部凹陷的槽部；本实用新型的有益效果：采用高纯度的陶瓷制成，不宜受高温变形，硬度高，耐磨性好，洁净度高，安装位置与原厂匹配，便于更换。
- 一种半导体扩散陶瓷手臂
- [实用新型]一种半导体扩散炉花篮传送治具-CN202122879384.7有效
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程宪良
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无锡诺莱德智能科技有限公司
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2021-11-23
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2022-05-17
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H01L21/677
- 本实用新型提供一种半导体扩散炉花篮传送治具，用于适配可以同时生产6寸晶圆与8寸晶圆的花篮支架；包括传送架1，设置在传送架1上的定位支架1，限位支架3，垫片4和安装孔5；所述传送架1呈工字型设置，在工字型顶部设置有垫片4，所述传送架1中部上表面设置有定位支架2，所述传送架1底部设置有限位支架3，与垫片4配合定位花篮；所述限位支架3靠近传送架1中部的一侧设置有安装孔5；所述安装孔5设置有三个，为长圆形孔；本实用新型的有益效果：本机械传送架本体采用PTFE材质制成，洁净度高，传感器感应灵敏，安装位置与原厂匹配，固定支架内部采用铝制作，强度高，外部喷涂PTFE,以防止花篮与金属支架直接接触，可以对6寸晶圆和8寸晶圆都能进行限位，适配性高。
- 一种半导体扩散花篮传送
- [实用新型]一种管材自动倒角机-CN202121472279.5有效
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程宪良;钟明军
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无锡诺莱德智能科技有限公司
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2021-06-30
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2022-05-13
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B24B9/00
- 本实用新型提供一种管材自动倒角机，针对较长的管材进行倒角；包括夹具组件，刀具组件和机架；所述夹具组件和刀具组件均固定在所述机架上表面；所述夹具组件包括夹具和固定在夹具上的下压气缸；下压气缸控制夹具夹紧待磨削的管材；所述刀具组件包括旋转刀盘，控制旋转刀盘的电机以及控制旋转刀盘位置的水平气缸；所述电机和旋转刀盘并列固定设置在所述机架上，所述电机通过传动组件带动旋转刀盘转动；所述水平气缸控制所述旋转刀盘和电机的水平移动；本实用新型的有益效果：管材在完成倒角的过程中没有旋转，这样避免了管材由于旋转产生的噪音及危险，可实现定位准确、防震动、操作简单，能严格保证并提高安装时的精度。同时也防止因温度高伤到人。
- 一种管材自动倒角
- [实用新型]一种晶圆棒中实石英焊接治具-CN202121442391.4有效
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程宪良;刘刚
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无锡诺莱德智能科技有限公司
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2021-06-28
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2022-03-11
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C03B23/207
- 本实用新型提供一种晶圆棒中实石英焊接治具，用于对于中实石英进行固定，方便其与石墨进行焊接；包括固定底座，石英固定组件和石英管；所述固定底座所述固定底座呈直角设置，承载石英管及石英固定组件；所述石英固定组件包括设置在所述固定底座顶部的定位块，设置在所述固定底座垂直面的快速压板及固定在所述固定底座水平面的石英支撑座；所述定位块和快速压板配合将所述石英管固定在所述固定底座的垂直面上；所述石英支撑座支撑所述石英管的端部；所述固定底座的水平面上还设置有石墨；所述石墨设置在所述石英管的正下方；本实用新型的有益效果：可实现定位准确、防震动、操作简单，能严格保证并提高焊接时的精度；同时也防止因温度高伤到人。
- 一种晶圆棒中实石英焊接
- [实用新型]一种往复式自锁酸阀-CN202121442392.9有效
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程宪良;刘刚
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无锡诺莱德智能科技有限公司
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2021-06-28
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2022-02-22
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F16K31/122
- 本实用新型提供一种往复式自锁酸阀，用于连接在使用酸洗液体的管道上，控制酸洗液体的开关；包括气缸组件和阀芯组件；所述气缸组件和阀芯组件水平共轴设置；所述气缸组件包括气缸，设置在气缸一端的端盖，设置在气缸内部的活塞和套接在所述活塞外部的自锁弹簧；所述自锁弹簧连接所述后盖和活塞；所述阀芯组件包括与气缸共轴设置的阀芯和阀体座；所述阀芯设置在所述阀体座内部，一端与所述活塞固定连接，活塞带动阀芯做往复运动；本实用新型的有益效果：可以实现没有酸性液体浸入式是的自锁功能，防止酸的流出，能严格控制酸的流量，同时也防止酸性液体流出造成不必要的损伤。
- 一种往复锁酸阀
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