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- [发明专利]半导体结构及其形成方法-CN202310706710.5在审
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朱顺;李逛城;方淼焱;施露安;张文杰;郑标
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长鑫存储技术有限公司
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2023-06-13
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2023-09-12
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H10B12/00
- 本公开提供了一种半导体结构及其形成方法，涉及半导体技术领域。该形成方法包括：提供衬底，衬底包括中心区和外围区；在衬底上形成导电层，导电层在衬底上的正投影覆盖中心区和所述外围区；对导电层进行图案化处理，以在外围区形成外围图案；在导电层远离衬底的一侧形成掩膜层，掩膜层包括第一掩膜图案，第一掩膜图案在衬底上的正投影位于中心区；以第一掩膜图案为掩膜对导电层进行蚀刻，以在中心区形成第一目标图案。本公开提供的方法通过在外围区的导电层形成外围图案，并以具有第一掩膜图案的掩膜层为掩膜对导电层进行蚀刻，以克服中心区和外围区由于负载效应而带来的高度差问题，提高了图案化工艺的精准度，进而提升了器件的良率。
- 半导体结构及其形成方法
- [实用新型]溢油回收装置-CN201720201963.7有效
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俞书宏;赵浩雨;施露安;葛进
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中国科学技术大学
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2017-03-02
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2017-10-03
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E02B15/10
- 本实用新型公开了一种溢油回收装置，包括本体和储油罐，所述本体上设置有浮力装置，所述本体包括自上而下依次设置的绝缘板、吸油组件和发热组件，所述绝缘板的底部设置有若干吸油管，各所述吸油管沿垂直于所述绝缘板的方向插入所述吸油组件，所述绝缘板上设置有若干与所述吸油管一一对应适配的正负电极组件，所述正负电极组件与所述发热组件间形成若干导通电路，所述本体上还设置有与各所述正负电极组件配合的电源；所述吸油管与所述储油罐间连通有导油管，所述导油管上设置有抽油泵。该溢油回收装置的结构简单，成本低，且操作简便高效。
- 溢油回收装置
- [发明专利]溢油回收装置及方法-CN201710120942.7在审
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俞书宏;赵浩雨;施露安;葛进
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中国科学技术大学
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2017-03-02
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2017-05-31
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E02B15/10
- 本发明公开了一种溢油回收装置，包括本体和储油罐，所述本体上设置有浮力装置，所述本体包括自上而下依次设置的绝缘板、吸油组件和发热组件，所述绝缘板的底部设置有若干吸油管，各所述吸油管沿垂直于所述绝缘板的方向插入所述吸油组件，所述绝缘板上设置有若干与所述吸油管一一对应适配的正负电极组件，所述正负电极组件与所述发热组件间形成若干导通电路，所述本体上还设置有与各所述正负电极组件配合的电源；所述吸油管与所述储油罐间连通有导油管，所述导油管上设置有抽油泵。该溢油回收装置的结构简单，成本低，且操作简便高效。本发明还公开了一种应用上述溢油回收装置的溢油回收方法。
- 溢油回收装置方法
- [发明专利]一种回收高粘度浮油的装置及方法-CN201510998773.8在审
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俞书宏;施露安;葛进
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中国科学技术大学
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2015-12-25
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2016-05-04
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E02B15/10
- 本发明提供了一种回收高粘度浮油的装置，包括：导电多孔疏水材料，与所述导电多孔疏水材料接触的加热电极，与所述加热电极两端连接的电源。本发明提供的回收高粘度浮油的装置通过对电源施加电压，使加热电极与电源连通形成回路，加热电极通电后放出热量传导至导电多孔疏水材料上对导电多孔疏水材料进行加热，将加热后的导电多孔疏水材料放置在高粘度浮油表面能够使高粘度浮油升温，随着温度的升高，浮油的粘度快速降低，能够增加导电多孔疏水材料对浮油的吸附速率，从而提高浮油的回收效率。本发明还提供了一种回收高粘度浮油的方法，利用上述技术方案所述的装置回收高粘度浮油。
- 一种回收粘度浮油装置方法
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