“方政加”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果13个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]直贯型回转式引擎-CN201811095741.7在审
发明人：刘念慈;马小康;方政加;程大同;朱承圣 -专利权人：刘念慈;马小康;方政加;程大同;朱承圣
申请日： 2018-09-19 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： F02B55/14 文献下载
摘要：本发明提供一种直贯型回转式引擎，其包含设置有一压缩部汽缸、一动力部汽缸、一中机壳、及一燃烧室装置。该中机壳设置在该压缩部汽缸与该动力部汽缸之间，并同时作为该压缩部汽缸与该动力部汽缸的内侧外壳，形成一个整体直贯型的引擎系统。该中机壳的二端面分别以嵌入方式设置压缩部回转阀与动力部回转阀。该燃烧室装置设置在该中机壳的周壁面上。该压缩部回转阀设置有三个L形的第一孔道。该动力部回转阀设置有三个L形的第二孔道。该压缩部汽缸内的压缩空气可经该第一孔道该燃烧室内。该燃烧室内爆炸后所产生的高温、高压气体可经由该第二孔道送入该动力部汽缸内。
直贯型回转引擎

[实用新型]直贯型回转式引擎-CN201821535175.2有效
发明人：刘念慈;马小康;方政加;程大同;朱承圣 -专利权人：刘念慈;马小康;方政加;程大同;朱承圣
申请日： 2018-09-19 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： F02B55/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种直贯型回转式引擎，其包含设置有一压缩部汽缸、一动力部汽缸、一中机壳、及一燃烧室装置。该中机壳设置在该压缩部汽缸与该动力部汽缸之间，并同时作为该压缩部汽缸与该动力部汽缸的内侧外壳，形成一个整体直贯型的引擎系统。该中机壳的二端面分别以嵌入方式设置压缩部回转阀与动力部回转阀。该燃烧室装置设置在该中机壳的周壁面上。该压缩部回转阀设置有三个L形的第一孔道。该动力部回转阀设置有三个L形的第二孔道。该压缩部汽缸内的压缩空气可经该第一孔道该燃烧室内。该燃烧室内爆炸后所产生的高温、高压气体可经由该第二孔道送入该动力部汽缸内。
汽缸动力部回转阀压缩孔道燃烧室装置回转式引擎本实用新型燃烧室内高压气体嵌入方式压缩空气引擎系统周壁送入爆炸

[发明专利]气相沉积装置及其加热系统-CN201210191941.9无效
发明人：杨成杰;方政加 -专利权人：绿种子材料科技股份有限公司
申请日： 2012-06-11 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： C30B25/10 文献下载
摘要：一种气相沉积装置及其加热系统，加热系统包括：一第一加热元件；一第二加热元件，与第一加热元件之间具有一第一距离；以及一隔绝元件，承载第一加热元件，隔绝元件包括至少一第一隔离柱位于第一加热元件与第二加热元件之间；其中，第一加热元件产生形变移动至少一第一隔离柱，避免该第一加热元件与该第二加热元件接触。
沉积装置及其加热系统

[发明专利]加热系统-CN201110461242.7无效
发明人：杨成傑;方政加 -专利权人：绿种子科技(潍坊)有限公司
申请日： 2011-12-30 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：一种加热系统，包含至少一加热元件、至少一电极及一吹净气体模块，其中加热元件的一端与电极耦合于一耦合处，吹净气体模块则围绕该耦合处设置，以避免腐蚀性气体接触耦合处。本发明可防止加热元件与电极的耦合处因与腐蚀性气体接触而变质，确保各耦合处均具有良好的导电率。
加热系统

[发明专利]化学气相沉积的气体预热系统-CN201210134425.2无效
发明人： 方政加;刘恒 -专利权人：绿种子科技（潍坊）有限公司
申请日： 2012-05-03 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明的实施例提供一种用于化学气相沉积的气体预热系统。该系统包含一加热模块以及一传送模块。传送模块用于通过一种或多种气体，而加热模块透过传送模块间接加热于一种或多种气体。
化学沉积气体预热系统

[实用新型]薄膜沉积系统-CN201220505218.9有效
发明人：杨成傑;方政加 -专利权人：绿种子材料科技股份有限公司
申请日： 2012-09-28 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型揭露一种薄膜沉积系统，包含有一供气装置、一载盘及一加热装置。其中，载盘包含有一护盖及一承载主体，护盖罩盖于承载主体的一部分表面，护盖的周缘形成一裙边，裙边与承载主体之间具有一间隙。其中，间隙具有保持温度的功效，可防止载盘外围的温度因排气而流失。
薄膜沉积系统

[发明专利]用于形成薄膜的方法及旋转系统-CN201110251886.3无效
发明人： 方政加;杨成傑;刘恒 -专利权人：绿种子能源科技股份有限公司
申请日： 2011-08-30 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：一种用于形成薄膜的方法及旋转系统，本发明的系统包括一旋转壳体、一承载于旋转壳体的承座部件以及一位于承座部件下方且用于驱动旋转壳体和承座部件旋转于一承座轴的驱动装置。此外，本系统还包括至少一固定座齿轮以及一中心齿轮。至少一固定座齿轮位于承座部件上与承座部件旋转于承座轴且支撑至少一基板。中心齿轮与至少一固定座齿轮相啮合，其用于在至少一固定座齿轮旋转于承座轴时使至少一固定座齿轮分别旋转于至少一固定座轴。
用于形成薄膜方法旋转系统

[发明专利]薄膜形成用旋转系统-CN201210058485.0无效
发明人： 方政加;杨成杰 -专利权人：绿种子材料科技股份有限公司
申请日： 2012-03-07 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明揭露一种用于形成一或更多材料层于一或更多基板上的系统。此系统包含一可绕一中央承载座轴旋转的承载座(susceptor)。一或更多载台齿轮(holder gear)位于承载座上。载台齿轮可以中央承载座轴绕承载座旋转。当载台齿轮绕中央承载座轴旋转，一与载台齿轮接合的中央齿轮可使载台齿轮绕个别载台齿轮的载台轴转动。承载座与中央齿轮可各自独立旋转。
薄膜形成旋转系统

[发明专利]薄膜沉积装置-CN201110117015.2无效
发明人： 方政加;杨成杰 -专利权人：绿种子能源科技股份有限公司
申请日： 2011-05-05 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： C23C16/30 文献下载
摘要：本发明提供一种具有一承载盘模块的薄膜沉积装置。在一实施例中，承载盘模块包含一平面式主承载盘与多个卫星承载盘，其中，仅使用单一驱动力驱动主承载盘，即可通过离心力带动卫星承载盘朝径向外侧滑行，使卫星承载盘与设置于主承载盘外侧的一定子摩擦，进而驱动卫星承载盘。
薄膜沉积装置

[发明专利]多腔体薄膜沉积装置及其抽气模块-CN201110086591.5无效
发明人： 方政加;杨成杰 -专利权人：绿种子能源科技股份有限公司
申请日： 2011-03-29 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种多腔体薄膜沉积装置及其抽气模块，所述抽气模块主要包含一汇流腔体与多个抽气管。汇流腔体的上部截面积大于汇流腔体的下部截面积。每一个抽气管的一端连接一反应腔体，另一端连接汇流腔体上部的一入口。藉此，抽气模块操作时可以产生一漩涡式的流场，以便于提供每一个反应腔体强度相似的抽气能力。
多腔体薄膜沉积装置及其模块

[发明专利]具有冷却模块的薄膜沉积装置-CN201010563242.3无效
发明人： 方政加;杨成杰 -专利权人：绿种子能源科技股份有限公司
申请日： 2010-11-25 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明揭露一种薄膜沉积装置，包括：一反应腔；位于该反应腔内的一晶圆载具，该晶圆载具用以承载至少一晶圆，其中，该晶圆载具包括一实质上封闭的转动壳；一加热模块，位于该转动壳内，用以加热该晶圆；一驱动模块，位于该转动壳的底部，用以驱动该转动壳旋转；以及一冷却模块，位于该转动壳内，并于该加热模块与该驱动模块之间，其中，该冷却模块于操作时是使得该加热模块至该驱动模块之间的温度分布为不连续温度分布。
具有冷却模块薄膜沉积装置

[发明专利]薄膜沉积装置-CN201110168726.2无效
发明人： 方政加;杨成傑 -专利权人：绿种子能源科技股份有限公司
申请日： 2011-06-17 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开一种薄膜沉积装置，主要包括有一主承载盘、至少一卫星承载盘、一第一驱动模块及至少一第二驱动模块，其中卫星承载盘设置于主承载盘上，并可用以承载一个或多个晶圆。第一驱动模块以直接或间接的方式驱动主承载盘进行转动，当主承载盘转动时，第二驱动模块将会接触主承载盘上的一个或部分卫星承载盘，并驱动与之接触的卫星承载盘进行自转。
薄膜沉积装置

[发明专利]薄膜沉积装置-CN201110125616.8无效
发明人： 方政加;杨成傑 -专利权人：绿种子能源科技股份有限公司
申请日： 2011-05-10 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开一种薄膜沉积装置，主要包括有一反应室、一主承载盘、至少一卫星承载盘、一第一驱动模块及至少一第二驱动模块，其中主承载盘位于反应室内部，而卫星承载盘则设置于主承载盘上。第一驱动模块可用以直接或间接驱动主承载盘进行公转，而第二驱动模块则可用以驱动接近反应室的排气口的一个或多个卫星承载盘进行自转。
薄膜沉积装置

1
共 13 条