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[发明专利]一种半导体硅片清洗用装载装置-CN202211704444.4在审
发明人：李炜;王看看 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体硅片清洗用装载装置，包括多对位于清洗槽内的侧托块以及设置于每对侧托块之间且用于托起硅片的底托块，每对所述侧托块在相对一侧表面均开设有用于对托起的硅片进行限位的限位槽，且每对所述侧托块在相背一侧表面均安装有导液柱，本发明可通过导液道和导液柱的配合，可在硅片清洗时引导液体沿硅片侧面喷出以改变液体在硅片表面流动方向，使得微粒杂物不会在硅片底部与装载装置的接触区域积聚以产生清洗死角的情况发生，其具体实施时，直接将硅片放置在底托块上并通过限位槽进行限位，之后便可驱动导液柱运动，而导液柱运动会引导清洗槽内液体进入限位槽，而进入限位槽会通过导液道沿硅片侧面喷出。
一种半导体硅片清洗装载装置

[发明专利]一种半导体硅片双面清洗设备-CN202211491661.X在审
发明人：李炜;王看看 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体硅片双面清洗设备，涉及半导体硅片技术领域；改善单片式单面清洗效率较低的问题，而本发明包括清洗框和设置在清洗框顶部的保护框，所述清洗框的内表面转动连接有转动轴，所述转动轴的外周设置有安装环，所述转动轴的外表面与安装环的内表面之间通过固定杆固定连接，所述转动轴的外表面固定连接有支撑杆；本发明通过安装环的设置，使装置可以同时对多个半导体硅片进行清洗，通过联动机构的设置，对半导体硅片的边缘进行夹持固定，保证半导体硅片清洗稳定的同时，使装置可以清洗半导体硅片的两面，从而增加装置的清洗效率，通过超声波振子头的设置，使装置采用超声波清洗，增加装置的清洗效果。
一种半导体硅片双面清洗设备

[发明专利]触发式不规则金属硅的防飞溅型破碎筛分机-CN202211107156.0有效
发明人：王看看;李炜 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： B02C21/00 文献下载
摘要：本发明公开了触发式不规则金属硅的防飞溅型破碎筛分机，包括破碎箱体、分布式防飞溅遮挡组件、触发式脆化防尘机构、多级破碎筛分机构和集尘组件，所述分布式防飞溅遮挡组件和多级破碎筛分机构和集尘组件从上到下依次设于破碎箱体内，所述分布式防飞溅遮挡组件对称设于破碎箱体内侧壁上，所述触发式脆化防尘机构对称设于破碎箱体两侧，触发式脆化防尘机构的上端与分布式防飞溅遮挡组件固定相连，触发式脆化防尘机构设于分布式防飞溅遮挡组件和多级破碎筛分机构之间。本发明属于半导体材料破碎设备技术领域，具体是指触发式不规则金属硅的防飞溅型破碎筛分机，解决了现有的破碎设备的防飞溅效果差和破碎辊的磨损较重的问题。
触发不规则金属硅飞溅破碎筛分

[发明专利]一种半导体晶圆硅片分片装置-CN202211369403.4在审
发明人：李炜;王看看 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开的属于半导体技术领域，具体为一种半导体晶圆硅片分片装置，包括支撑板，所述支撑板的中间固定设置有固定块，固定块的左侧固定连接有固定板，固定块的内部转动安装有螺杆，螺杆的外侧设置有连接块，螺杆的顶部转动连接有连接框，最上方的连接块与螺杆之间为螺纹连接，其余位置的连接块被螺杆贯穿，连接块通过松紧绳与相邻连接块相连，连接块后侧的下半部分固定连接有第二夹板，连接块后侧的上半部分滑动安装有滑块，滑块的后侧固定连接有第一夹板。该分片装置不仅能够对横置使用也能够竖置时进行移动，并且能够根据夹具的尺寸对相邻晶圆的放置间距进行同步调节，该装置还能够适应不同尺寸的硅晶圆进行承托。
一种半导体硅片分片装置

[发明专利]一种具有收集硅粉功能的压强控制式撞击预处理型破碎机-CN202211365320.8在审
发明人：王看看;李炜 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B02C21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有收集硅粉功能的压强控制式撞击预处理型破碎机，包括压强控制式水蒸发集成处理机构、撞击预处理组件、破碎处理容纳外壳、破碎辊、破碎驱动电机、硅粉收集外壳、收缩入口、铰链翻转门、固定底盘、主支撑杆和主支撑架。本发明属于硅粉生产领域，具体是指一种具有收集硅粉功能的压强控制式撞击预处理型破碎机；本发明针对于既要对硅粉加工时产生的粉尘进行雾化处理，又不能采用现有雾化喷洒设备直接在硅粉生产环境中进行操作的矛盾特性，设计了压强控制式水蒸发集成处理机构，在不借助现有雾化设备的情况下，既实现了粉尘的防扩散，又确保了水雾不会与硅粉接触，为成品硅粉的纯度和品质提供了很好的保障。
一种具有收集功能压强控制撞击预处理破碎

[实用新型]一种硅片倒角吸盘以及吸盘加工用夹持装置-CN202222532387.8有效
发明人：李炜;王看看 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片倒角吸盘以及吸盘加工用夹持装置，涉及吸盘制作技术领域；而本实用新型包括工作台，所述工作台上表面中间端固定设有圆形的底座，所述底座上以底座中心点环形分布开设有滑槽，所述滑槽内滑动设有长杆，所述长杆位于滑槽外壁一端固定设有夹持板；本实用新型中电机通过第二转轴带动第二齿轮进行转动，第二齿轮可驱动啮合设置的第一齿轮进行转动，第一齿轮转动时可推动活动插设而在弧形槽内的移动杆进行移动，从而可带动长杆回收到滑槽内，使得环形分布的夹持板同时移动对放置在摆放板的吸盘本体进行有效的定位夹持，可避免吸盘本体受到晃动，影响后续打孔效果。
一种硅片倒角吸盘以及工用夹持装置

[实用新型]一种半导体晶圆硅片的夹具-CN202222210958.6有效
发明人：李炜;王看看 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体晶圆硅片的夹具，涉及半导体晶圆硅片技术领域；而本实用新型包括工作台，工作台上端面的一侧固定连接有第一放置条，第一放置条的一侧设有第二放置条，工作台上端面的另一侧固定连接有一对固定片，两个固定片相互远离的端面下方均固定连接有安装板；先抬起翻转块，使得螺纹杆可以大幅度推拉，螺纹杆移动带动第二放置条移动，第二放置条位移到合适位置后，将半导体晶圆硅片放置到第一放置条和第二放置条上，翻转翻转块，将翻转块上的螺纹槽与螺纹杆相贴合，螺纹杆无法推拉，转动螺纹杆，螺纹杆转动会带动第二放置条缓慢移动，直到两个夹条夹持住半导体晶圆硅片。
一种半导体硅片夹具

[实用新型]一种硅片输送装置-CN202222621892.X有效
发明人：李炜;王看看 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B65G15/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种硅片输送装置，属于硅片生产技术领域，以解决输送装置不能够对工作高度和工作位置进行便捷调节的问题，包括固定底板，所述固定底板的底端面上安装有万向轮，所述固定底板的顶端面上固定连接有安装杆，所述安装杆的顶端固定连接有工作台，所述固定底板的顶端面上安装固定有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴上固定连接有第一圆形齿轮，所述第一圆形齿轮上啮合连接有第二圆形齿轮。本申请通过设置的第一圆形齿轮和各个第二圆形齿轮之间的啮合，结合螺纹杆与支撑柱之间的螺纹驱动，配合万向轮能够对输送装置的移动状态和放置状态进行便捷切换，并且能够对装置的工作高度进行便捷调节，提高了输送装置的适用性和实用性。
一种硅片输送装置

[发明专利]一种清洗半导体硅片的装置-CN202211242674.3在审
发明人：李炜;王看看 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种清洗半导体硅片的装置，具体涉及半导体硅片清洗技术领域，包括安装顶架和支撑底框，所述支撑底框的顶端固定安装有隔物机构，所述安装顶架的底端固定安装有第一运输机构，本发明，通过设置隔物机构、置物机构和清洗组件并配合使用第一运输机构，可同步将多个半导体硅片分别自动移至单独的清洗空间，对对每个半导体硅片进行单独高速转动清洗，防止每个半导体硅片之间出现交叉污染，从而提升半导体硅片的清洗质量，且通过设置第二运输机构配合使用清理组件，对自动传动的半导体硅片进行自动物理擦拭清理，进一步提升了半导体硅片的清洗效果。
一种清洗半导体硅片装置

[实用新型]一种搅拌均匀的砂浆缸-CN202221769725.3有效
发明人：李炜;王看看 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B28C5/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种搅拌均匀的砂浆缸，涉及砂浆缸技术领域；而本实用新型包括；包括底板，所述底板上表面固定设有砂浆缸，所述砂浆缸上固定设有进料管，所述砂浆缸上固定设有出料管，所述砂浆缸上端固定设有固定环，所述固定环上表面固定设有限位环，所述固定环上转动设有驱动环，所述进料管位于砂浆缸上端；通过传动电机带动小齿轮转动，小齿轮通过齿块带动驱动环沿着限位环进行转动，驱动环转动则带动固定杆和连接杆同步转动，连接杆带动第一固定架转动，从而使搅拌电机沿着砂浆缸转动，搅拌电机上端则沿着导向环上的导向槽内移动，从而实现搅拌电机上下移动，搅拌电机带动搅拌杆和搅拌叶上下移动，使搅拌更加充分。
一种搅拌均匀砂浆

[实用新型]多晶硅太阳能硅片喷淋装置-CN202222002756.2有效
发明人：李炜;王看看 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-07-30 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了多晶硅太阳能硅片喷淋装置，涉及多晶硅太阳能硅片技术领域；而本实用新型包括密封箱，密封箱的下方固定连接有相连通的水箱，密封箱的上端面固定连接有电机，密封箱内部的上方设有传动箱，传动箱底部的中心位置开设有第一连接槽；固定齿轮与立式水泵上的连接管固定连接，传动箱转动时固定齿轮相对静置，由于固定齿轮与多个传动齿轮啮合，传动齿轮会以传动箱的反方向转动，传动齿轮转动带动连接块和夹条同时转动，夹条用于夹持硅片，夹条转动带动硅片转动，一方面喷水板可以全面清洗硅片的外表面，另一方面传动箱和夹条同时转动，加快清洗的速度，大大提到装置的工作效率。
多晶太阳能硅片喷淋装置

[实用新型]一种半导体单晶衬底腐蚀装置-CN202221885408.8有效
发明人：李炜;王看看 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体单晶衬底腐蚀装置，包括环形架，所述环形架的内侧设置有若干夹持件，且夹持件关于环形架呈中心对称分布，夹持件接近环形架的一侧设置有弹性件，且夹持件与环形架通过弹性件连接，单晶衬底置于环形架内侧，多个弹性件推动夹持件夹持单晶衬底；本实用新型通过将单晶衬底置于环形架的中部，并使单晶衬底位于多个夹持件之间，此时弹性件推动夹持件夹住固定单晶衬底，该装置在固定单晶衬底后，有效减小与单晶衬底的接触面积，从而提高单晶衬底的腐蚀效果，并且装置可夹持不同大小的单晶衬底，不仅提高了装置的检测精度，而且还扩大装置的使用范围。
一种半导体衬底腐蚀装置

[实用新型]一种半导体硅片清洗喷淋装置-CN202123125277.1有效
发明人：李炜;王看看 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体硅片清洗喷淋装置，包括清洗仓、底板、支撑杆、连接杆、升降板、卷扬机构、线缆、盖板、喷淋组件、硅片花篮和过滤组件，所述过滤组件设于清洗仓侧面上，所述底板对称设于清洗仓侧面上，所述支撑杆设于支撑杆顶部，所述卷扬机构设于盖板顶部，所述线缆对称设于卷扬机构下，所述升降板设于线缆下，所述连接杆对称升降板下，所述硅片花篮设于连接杆下，所述喷淋组件设于升降板上。本实用新型属于硅片清洗技术领域，具体是指一种通过喷淋组件，实现硅片清洗的半导体硅片清洗喷淋装置。
一种半导体硅片清洗喷淋装置

[发明专利]一种离子清洁式风压抵触型碳化硅微粉成品包装机-CN202211029219.5在审
发明人：王看看;李炜 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B65B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子清洁式风压抵触型碳化硅微粉成品包装机，包括预离子风清洁式旋转开合型下料组件、供膜组件、单向步进式牵引封膜组件和双向对冲式封膜接料组件。本发明属于硅材料成品包装技术领域，针对碳化硅微粉容易残留在容器内部造成资源浪费的问题，本发明基于借助中介物和曲面化的技术原理，利用清洁风机和放电尖端形成离子风流，离子风流进入顶部储料桶后，沿着防阻塞螺旋片形成的螺旋曲面向下流动，一方面离子风流可以起到快速吹走碳化硅微粉的效果，另一方面曲面化的螺旋通道可以增加离子风流与顶部储料桶内部空间的接触面积，极大提高了清洁效果，无需工作人员手动进行清理，有效降低了碳化硅微粉资源的浪费。
一种离子清洁风压抵触碳化硅成品装机

[实用新型]一种抛光液循环搅拌过滤冷却系统-CN202123295556.2有效
发明人：李炜;王看看 -专利权人： 徐州威聚电子材料有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B01F27/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抛光液循环搅拌过滤冷却系统，包括搅拌桶，所述搅拌桶上设有过滤组件，所述过滤组件包括过滤腔、传动锥齿轮、主动锥齿轮、旋转电机和清洁板，所述过滤腔设于搅拌桶顶部，所述传动锥齿轮设于过滤腔内中间位置，所述旋转电机连接设于过滤腔上一侧，所述主动锥齿轮啮合设于传动锥齿轮一侧，且所述旋转电机输出轴连接设于主动锥齿轮一侧轴心处，所述清洁板均匀排列设于过滤腔内。本实用新型属于抛光液技术领域，具体是提供了一种实用性高，使用简单，结构紧凑，有效对于抛光液进行循环过滤，防止过滤板阻塞，导致工具烧蚀，且可有效对于抛光液进行回收利用，并加以冷却的抛光液循环搅拌过滤冷却系统。
一种抛光循环搅拌过滤冷却系统

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