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[发明专利]纳米氧化铝磨粒、制备方法、应用和含该磨粒的碳化硅抛光液-CN202210470448.4有效
发明人：皮孝东;张序清;吴琛;杨德仁 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C09K3/14 文献下载
摘要：本发明公开了纳米氧化铝磨粒、制备方法、应用和含该磨粒的碳化硅抛光液，纳米氧化铝磨粒由含铝氧化剂、含氨基或羧基的有机物燃料、反应溶剂通过溶液燃烧法合成球形的α‑Al2O3，该磨粒按以下制备方法制得：将含铝氧化剂和含氨基或羧基的有机物燃料溶于反应溶剂形成溶液；将溶液转移至坩埚内，将坩埚置于马弗炉内，将马弗炉按10～20℃/min升温速率加热至预定温度，保温，冷却，获得球形α‑Al2O3，碳化硅抛光液由以下重量百分比浓度的组分组成：纳米氧化铝磨粒1～50％、表面活性剂0.05％～5％、氧化剂0.2～10％、pH调节剂0.02％～2％和余量水性介质。本发明具有氧化铝磨粒粒径小，有较好的表面精度，提高抛光效率和精度，氧化铝磨粒制备快速高效节能等优点。
纳米氧化铝制备方法应用碳化硅抛光

[发明专利]一种聚氨酯固化道床的施工方法-CN202210240494.5有效
发明人：王青元;管新权;陈志远;卫海津;任崇洋;张文江;许小明;吴世俊;袁安尧;王淮忠;张序清;马岩;何俊;郝萌 -专利权人：中铁四局集团有限公司
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： E01B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚氨酯固化道床的施工方法，在枕盒处预留盒心道砟，较贯通式扒砟结构，道床横向阻力提高了20‑30％，从而提高了扒砟后轨道的稳定性，减小涨轨跑道的风险，即提高轨道抵抗外界不利因素的能力，且使得枕盒处的扒砟量和道砟回填量大大减少，提高了施工效率；在浇筑点位的基础上进行左右5厘米的振荡式浇筑，使得聚氨酯固化道床的断面更标准、饱满，固化后的聚氨酯固化道床参数指标优于定点浇筑，显著降低了定点浇筑时引起的固化断面不合格造成返工或补料的施工几率，现场实践表明，浇筑点位从定点的方式调整为振荡式小范围浇筑后，固化断面合格率提高了30‑45％，大大减少了后期固化道床的维修作业量。
一种聚氨酯固化道床施工方法

[实用新型]一种批量高温退火碳化硅晶体装置-CN202222270784.2有效
发明人：朱如忠;皮孝东;王蓉;张玺;张序清;杨德仁 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种批量高温退火碳化硅晶体装置，包括石墨支撑和石墨管，石墨支撑包括底座、与底座的上端相连的支架，支架内沿轴向平行放置有若干用于摆放碳化硅晶体的石墨盒，支架的一侧开放用于石墨盒的取放，石墨管套设在支架外侧，石墨管的下端可拆卸安装在底座上，石墨管的上端可拆卸安装有封盖。本实用新型具有碳化硅晶体的取放方便，防止晶体表面被污染，实现碳化硅晶体的批量退火等优点。
一种批量高温退火碳化硅晶体装置

[发明专利]一种碳化硅晶圆的研磨装置及方法-CN202210627321.9有效
发明人：张玺;皮孝东;张序清;朱如忠;杨德仁 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明具体涉及硅晶圆加工技术领域，具体为一种碳化硅晶圆的研磨装置及方法，所述碳化硅晶圆的研磨装置包括：研磨机构，所述研磨机构包括研磨驱动机构和研磨基座，所述研磨驱动机构为碳化硅晶圆片的旋转研磨提供动力；研磨液供给源，所述研磨液供给源包括研磨液、磁流变液和磁场，通过磁场使磁流变液形成磁簇，从而控制研磨液中研磨颗粒的运动轨迹；磨粒回收机构，所述磨粒回收机构包括磁力控制设备，通过磁力控制设备对研磨颗粒和磁流变液分离，之后对研磨颗粒进行回收。本发明使研磨液中的研磨颗粒分布均匀，使碳化硅晶圆片的表面研磨均匀，研磨结束后，通过磁力控制设备的表面可控的产生磁性，对研磨颗粒集中收集，对磁流变液进行循环使用。
一种碳化硅研磨装置方法

[发明专利]一种晶圆清洗方法和晶圆清洗设备-CN202210013373.7在审
发明人：皮孝东;张玺;王明华;张序清;朱如忠;杨德仁 -专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
申请日： 2022-01-07 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆清洗方法和晶圆清洗设备，所述晶圆清洗方法包括利用二氧化碳的超临界流体和二氧化碳的气溶胶同时对晶圆表面进行冲洗，然后将晶圆表面的二氧化碳挥发成气态，使得冲洗的过程中有机物和颗粒污染物脱离晶圆表面，实现对晶圆表面的有机物和颗粒污染物的清洗。本发明利用压强或温度变化可使CO2完成在超临界流体、液体、气态、气溶胶不同形态转变的物理性质，将其引入晶圆清洗流程，替代传统RCA清洗剂SC1和SPM去除颗粒和有机物，突破了传统清洗方法超纯水使用量大、化学污染多、废料多、效率低的限制。
一种清洗方法设备