专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]硅片清洗用石英槽-CN201921444123.9有效
  • 高翔鹰;张少阳;裴文龙;陈晨 - 苏州芯矽电子科技有限公司
  • 2019-09-02 - 2020-05-22 - B08B13/00
  • 本实用新型揭示了一种硅片清洗用石英槽,包括具有方形结构的外槽和内槽,所述外槽和内槽套设呈双层结构,所述内槽的槽口面低于所述外槽的槽口面,所述内槽的槽口位置为锯齿结构,用于使所述内槽中的清洗液溢流至外槽中,所述外槽和内槽之间设置有循环管路,其特征在于:所述内槽中设置有用于放置硅片的支撑架,所述支撑架与所述内槽不接触,所述支撑架由设置在所述外槽外侧的立架所支撑。本实用新型的有益效果主要体现在:减少石英槽承载力,通过立架的支撑设置使得内部石英槽几乎不受力,大大减少了内部石英槽的承载力;延长石英槽的使用寿命;辅助监测装置提高安全性,解放人力。
  • 硅片清洗石英
  • [实用新型]高强度石英管连接接头-CN201921444798.3有效
  • 高翔鹰;张少阳;裴文龙;陈晨 - 苏州芯矽电子科技有限公司
  • 2019-09-02 - 2020-05-22 - F16L19/02
  • 本实用新型揭示了一种高强度石英管连接接头,包括具有中空腔的连接公头,所述中空腔依次由可将PFA管锁止的第一空腔、第二空腔以及可将石英管锁止的第三空腔组成,所述连接公头远离所述PFA管的一端上设有用以将所述石英管锁止在所述第三空腔上的锁止机构,所述锁止机构由所述连接公头和与所述连接公头螺纹连接的连接母头相互配合将其限位。本实用新型的有益效果主要体现在:卡套与石英管热压配合,待冷却后两者紧紧配合成一体,大大提高连接的可靠性,杜绝液体流出的现象。另外,拆卸更换更为简单,拧动连接公头和连接母头即可实现快速拆卸更换,极大地提高工作效率。
  • 强度石英管连接接头
  • [实用新型]高密封性晶圆清洗槽-CN201921890006.5有效
  • 白忠华;张少阳;裴文龙;陈晨 - 苏州芯矽电子科技有限公司
  • 2019-11-05 - 2020-05-22 - H01L21/67
  • 本实用新型揭示了一种用于高密封性晶圆清洗槽,包括清洗腔,其上方设置有密封盖板,密封盖板上设有密封槽,清洗腔内放置有晶圆架;晶圆架两侧固定于一组平行设置的机械臂的下端;机械臂的上端连接驱动机构,机械臂的下端穿过密封槽并带动晶圆架在清洗腔中移动,密封槽内固设有一密封壳,密封壳内包括至少两个宽度相同,长度不等的叠放的滑片,其中相对长的滑片放置于相对短的滑片的下方,机械臂驱动滑片滑动,在滑动过程中滑片始终对密封槽进行密封。有益效果体现在:用多个滑片代替密封带,滑片与移动机构之间不接触,滑片不会因磨损影响密封效果;相邻滑片始终相互密封,不会使清洗液溢出腐蚀设备,或造成清洗液与空气接触挥发的不良影响。
  • 密封性清洗
  • [实用新型]晶圆换面防污装置-CN201921894462.7有效
  • 高翔鹰;张少阳;裴文龙;陈晨 - 苏州芯矽电子科技有限公司
  • 2019-11-05 - 2020-05-22 - H01L21/677
  • 本实用新型揭示了一种晶圆换面防污装置,包括矩形的晶圆架,其上设置用于排列安放晶圆的直槽,直槽相互平行以致于晶圆相互之间也平行设置;第一旋升机构,设置在晶圆架的下方,用于驱动晶圆架整体升降或沿其中心轴向旋转;选择夹取机构,有选择地夹取一组晶圆,一组晶圆为排列在晶圆架上的单数项的所有晶圆;第二旋升机构,设置在选择夹取机构一侧,用于驱动选择夹取机构整体升降或沿其中心轴向旋转。本实用新型的有益效果体现在:通过夹取机构夹取部分晶圆,旋升机构将剩余晶圆完成整体旋转后将夹取机构上的晶圆放下,完成晶圆的换面后再进行清洗,就不会出现后一个晶圆的晶面被前面晶圆的晶背污染而影响晶圆产品的质量的问题。
  • 晶圆换面防污装置
  • [实用新型]晶圆盒抓取专用机械手-CN201921444729.2有效
  • 高翔鹰;张少阳;裴文龙;陈晨 - 苏州芯矽电子科技有限公司
  • 2019-09-02 - 2020-04-17 - H01L21/687
  • 本实用新型揭示了一种晶圆盒抓取专用机械手,包括一L型固定板,所述L型固定板上垂直设置有支撑板;所述支撑板的一侧设置有马达;所述马达的输出轴穿过所述支撑板并通过联轴器与一偏心轴连接;所述偏心轴的两侧对称设置有两个旋转臂,所述旋转臂的第一端与所述支撑板垂直设置且两者间为枢轴连接,其相对于所述支撑板的第二端上固定有夹爪,所述马达驱动偏心轴转动,进而驱动两个旋转臂同时呈相反方向转动,使其夹爪产生夹持或松开动作。本实用新型的有益效果主要体现在:机械手的夹爪工作速度一致,能同时夹持物品且不会将被夹持物品碰倒;晶圆盒受力均匀,不至于损坏或者破裂。
  • 晶圆盒抓取专用机械手
  • [实用新型]高灵敏度微动开关-CN201921447079.7有效
  • 高翔鹰;张少阳;裴文龙;陈晨 - 苏州芯矽电子科技有限公司
  • 2019-09-02 - 2020-04-17 - H01H13/02
  • 本实用新型揭示了一种高灵敏度微动开关,包括开关盒以及固设在其上的触动开关,其特征在于:所述开关盒的下方固设有一具有中空腔的固定块,所述中空腔内设有一与其相匹配且可沿其轴线上下滑动的滑杆;所述滑杆的第一端与所述触动开关的触头底面紧贴,第二端伸出所述固定块的下端面,所述固定块的外侧套设有一软管,所述软管内设有一与其紧贴固定的顶针,所述顶针的上端面与所述滑杆第二端的端面紧贴。本实用新型的有益效果体现在:延长顶针使用寿命,采用顶针与滑杆分段式设计,在接触到待夹晶圆盒时,顶针将倾斜同时将推动滑杆上移,滑杆上移将推动其上方的触头触动微动开关。
  • 灵敏度微动开关
  • [发明专利]用于专业领域的分词方法、装置、存储介质及电子设备-CN201911222118.8在审
  • 张少阳 - 东软集团股份有限公司
  • 2019-12-03 - 2020-04-10 - G06F40/289
  • 本公开涉及一种用于专业领域的分词方法、装置、存储介质及电子设备。方法包括:获取待分词文本中各第一字符的第一字向量;针对待分词文本中的每个第一字符,将第一字符的第一字向量以及多个第一邻近字符的第一字向量共同作为该第一字符的第一特征向量;将第一特征向量输入至预设的多任务学习模型中的、与第一字符对应的子模型中,得到该第一字符的切分预测值;根据多个切分预测值,对待分词文本进行分词。该方法综合考虑了各字符的独特性和关联性,可有效地提升分词的精度。另外,多任务学习模型比单任务学习,放松了部分训练数据与当前学习任务之间的关系,隐式增加了训练数据,有效解决专业领域数据量不足的问题,从而保证专业领域的分词精度。
  • 用于专业领域分词方法装置存储介质电子设备

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