“廖于文”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种环保型润滑耐磨水性环氧涂料及其制备方法与应用-CN202111214808.6有效
发明人：张鹏;俞传永;王启伟;曹琳;林志丹;李双建;廖于文;李卫 -专利权人：暨南大学
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C09D163/00 文献下载
摘要：本发明属于润滑耐磨涂料技术领域，特别公开了一种环保型润滑耐磨水性环氧涂料及其制备方法与应用。所述包括如下步骤：(1)将正硅酸乙酯、硅烷偶联剂、水、乙醇混合均匀后获得无机组份配料A；(2)将环氧树脂与固化剂加入无机组分配料A中，继续充分混合均匀，获得有机‑无机杂化粘结剂；(3)将经乙醇分散好的聚四氟乙烯粉末加入至有机‑无机杂化粘结剂中，搅拌后获得环保型润滑耐磨水性环氧涂料。本发明为了改善环氧涂料的耐磨润滑性能，通过将TEOS与硅烷偶联剂水解缩合形成无机网络，并引入到环氧涂料中，并添加了PTFE作为润滑剂，并通过简单的喷涂及热处理制得耐磨润滑涂层。
一种环保润滑耐磨水性涂料及其制备方法应用

[发明专利]在半导体制造环境中维护装置的系统-CN202010231384.3在审
发明人：简君颖;施益程;廖于文 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-03-27 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种在半导体制造环境中维护装置的系统，包含：控制器、检查组件、维修组件及清洗组件。控制器配置以判断在半导体制造环境中装置所传输的距离，其中装置包含特征，特征选择性的接合配置来运载半导体晶圆的载体，从而在半导体制造环境中，装置移动半导体晶圆至不同的处理站。系统亦包含检查组件，配置以检查装置，以回应由装置所传输超出距离门槛的距离。系统亦包含维修组件，配置以维修装置，以回应来自控制器或检查组件的至少一者的维修指令。清洗组件配置以清洗装置，以回应来自控制器或检查组件的至少一者的清洗指令。
半导体制造环境维护装置系统