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[发明专利]用于产生RF信号的方法、RF产生器以及等离子设备-CN202080108196.X在审
发明人：安德烈·格雷德;丹尼尔·格鲁纳;安东·拉班克;罗兰·施利夫;尼古拉·施韦尔格;曼努埃尔·福尔·德姆·布罗克 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于产生优选地用于等离子腔室的RF信号的方法，包括以下步骤：基于第一组控制参数产生输入RF信号；检测至少一个失真RF信号；将所述至少一个失真RF信号与输入RF信号同步，以及；确定目标RF信号与被同步的所述至少一个失真RF信号之间的差异；如果所述差异大于预定阈值，则基于目标RF信号与被同步的所述至少一个失真RF信号的比较来确定第二组控制参数；以及基于第二组控制参数产生适配的输入RF信号，使得所述目标RF信号与所述失真RF信号之间的差异减少。
用于产生 rf 信号方法产生器以及等离子设备

[发明专利]宽带功率组合布置-CN201911156478.2有效
发明人：丹尼尔·格鲁纳;安东·拉班克;西里尔·吉恩纳德 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2019-11-22 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H03F3/21 文献下载
摘要：提供了一种包括功率组合器的发生器。所述功率组合器包括多个输入，每个输入可连接到相应的功率放大器，用于接收相应的功率信号。多个阻抗匹配电路分支连接到所述多个输入中的相应一个输入。每个阻抗匹配电路分支包括相应的功率信号通过的至少一个高通滤波器部分和至少一个低通滤波器部分。所述阻抗匹配电路分支被连接以便组合来自每个功率放大器的所述功率信号。提供用于输出组合功率信号的输出。
宽带功率组合布置

[发明专利]用于射频功率应用的可变电容器-CN202080020451.5有效
发明人：托马斯·芬克;凯文·豪泽;霍尔格·毛内;丹尼尔·基内蒙德;约阿希姆·宾德;罗尔夫·雅各比;妮科尔·博恩 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2020-03-03 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01G7/02 文献下载
摘要：一种能够在MHz范围内在至少50瓦下运行的射频功率可变电容器。该电容器具有复合HDK‑NDK陶瓷电介质。例如，HDK(高介电常数)组分包括钛酸锶钡活性基质。通过添加金属或准金属氧化物如硼酸镁(NDK‑低介电常数)来减少或消除声共振，该金属或准金属氧化物在射频功率域中充当声共振降低剂(ARRA)。通过添加ARRA(曲线22和21)消除先前在现有技术射频功率可变电容器中在500V(曲线25)或1100V(曲线26)偏置电压下发生的声共振。
用于射频功率应用可变电容器

[发明专利]具有保护反馈电路的高功率放大器电路-CN201880012820.9有效
发明人：安东·拉班克;丹尼尔·格鲁纳 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2018-02-19 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H03F1/52 文献下载
摘要：本发明描述了一种放大器电路，用于提供至少100W、优选至少200W、最优选至少250W的输出，包括场效应晶体管(111、113)。场效应晶体管(111、113)的漏极与保护反馈电路(400)连接。保护反馈电路(400)被设置用于：如果场效应晶体管(111、113)的栅极和漏极之间的电压超过反馈阈值电压(355)，则减小场效应晶体管(111、113)的漏极处的过电压能量。本发明还描述了一种包括放大器电路的射频放大器、包括射频放大器的电射频发生器、和包括电射频发生器的等离子处理系统。本发明最后描述了一种保护放大器电路中的场效应晶体管(111、113)的方法。
具有保护反馈电路功率放大器

[发明专利]用于生成同步射频输出信号的控制单元、射频功率发生器和方法-CN202180058716.5在审
发明人：曼努埃尔·福尔·德姆·布罗克;罗兰·施利夫;安德烈·格雷德;丹尼尔·格鲁纳;安东·拉班克 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H03L7/099 文献下载
摘要：本发明描述了一种用于生成各自具有相应的输出频率(fi)、相位(ΦL)和幅度(Ai)的多个同步射频(RF)输出信号(RFout,i)的控制单元(2、21)，该控制单元(2、21)包括：信号比较器(3)，其被配置为将具有参考频率(fref)和参考相位(Φref)的参考信号(4)与具有反馈频率(fPLL)和反馈相位(ΦPLL)的反馈信号(5)进行比较，并且被配置为生成表示参考信号(4)和反馈信号(5)之间的差异的误差信号(6、6’)；以及数据处理单元(7)，其接收由信号比较器(3)生成的误差信号(6、6’)作为输入信号，并根据误差信号(6、6’)输出多个波形调谐信号(FTWPLL、FTWi)；其中多个波形发生器(DDSPLL、DDSi)各自接收由数据处理单元(7)输出的多个波形调谐信号(FTWPLL、FTWi)中的至少一个，其中每个波形发生器(DDSPLL、DDSi)根据接收到的相应的波形调谐信号(FTWPLL、FTWi)生成时间相关的幅度信号(APLL(t)、Ai(t))，其中所生成的多个幅度信号(APLL(t)、Ai(t))的一个预定的幅度信号(APLL(t))表示输入到信号比较器(3)的反馈信号(5)，并且其他幅度信号(Ai(t))表示要生成的相应的射频(RF)输出信号(RFout,i)，并且其中数据处理单元(7)被配置为既调整与表示反馈信号(5)的所述一个预定的幅度信号(APLL(t))相对应的波形调谐信号(FTWPLL)以便使误差信号(6、6’)最小化，又基于表示反馈信号(5)的预定的幅度信号(APLL(t))的调整后的波形调谐信号(FTWPLL)而调整与表示射频(RF)输出信号(RFout,i)的其他幅度信号(Ai(t))相对应的其他波形调谐信号(FTWi)。本发明还描述了分别用于生成多个同步射频(RF)输出信号(RFout,i)的射频(RF)功率发生器(1、20、30)、至少两个这样的射频(RF)功率发生器(1、20、30)的布置(35、40、45、50、55)和方法。
用于生成同步射频输出信号控制单元功率发生器方法

[发明专利]真空电容器-CN202180001930.7有效
发明人： W·比格勒 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2021-02-16 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01G4/002 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空电容器(1，30)，包括：容纳真空介电介质的壳体(9)、被所述真空介电介质分隔的第一电极(12)和第二电极(13)，该壳体(9)包括与第一电极(12)电接触的第一传导轴环(2)和与第二电极(13)电接触的第二传导轴环，该第一传导轴环(2)和第二传导轴环(3)被壳体(9)的绝缘元件(4)分隔，其中该壳体(9)显示出至少一个突出边缘(6)，所述突出边缘(6)与最接近的第一传导轴环(2)或第二传导轴环(3)电接触，其中该真空电容器(1，30)包括至少一个保护装置(7，37)，所述至少一个保护装置在真空壳体的外部覆盖突出边缘(6)，其中该保护装置(7，37)至少部分地由弹性体制成，其中该保护装置(7，37)的至少外表面(7b，37b)是导电的并且与最接近所述突出边缘(6)的传导轴环处于相同的电势，并且其中该保护装置(7，37)的外表面(7b，37b)的曲率半径大于所述突出边缘(6)的曲率半径。
真空电容器

[发明专利]可变真空电容器及冷却方法-CN201880037561.5有效
发明人：提埃里·奥滕霍芬;沃尔特·比格勒;提摩太·阿尔伯特·韦伯;马克·缪德纳 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2018-04-13 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H01G5/017 文献下载
摘要：描述了一种可变真空电容器，其中主波纹管(21)内的油被泵(15)泵过波纹管并通过热交换器的油路(8)。水从入口(7)到出口(7')通过热交换器的冷却剂通道(6)。可伸缩的电容器驱动轴(14)是中空的并且用作导管，将油输送到(波纹管21)的底部，从而确保油通过波纹管然后通过热交换器的完整循环。泵驱动装置(9)可以是齿轮转子液压马达，其通过磁耦合部分(22)耦合到齿轮转子油泵(15)。通过波纹管泵送传热流体(油)可使电容器在更高得多的电流和/或更低的温度下工作，并显著地延长了设备的使用寿命。
可变真空电容器冷却方法

[发明专利]可变电压发生器电路、电容器和方法-CN201780073043.4有效
发明人：托马斯·芬克;拉尔夫·奈格勒 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H02M3/335 文献下载
摘要：描述了一种可变电压发生器电路，用于从基本恒定的电源电压VS产生用于具有可变介电常数电介质的可变功率电容器(1)的可变高压控制电压VC。控制电压发生器电路包括：充电电路(10)，用于将输入电容器(12)上的电压VCin至少保持在电源电压VS；以及，双向DC‑DC转换器电路(20)，其具有由控制输入信号(27)控制的可变电压转换因子G。双向DC‑DC转换器(20)用于以电压转换因子G在输入电容器电压VCin和输出电压VC之间进行电压转换。当VCG×VCin时，DC‑DC转换器电路(20)使用存储在输入电容器(12)中的电荷对电容性负载(1)充电。当VCG×VCin时，DC‑DC转换器电路(20)使用存储在负载电容(1)中的电荷对输入电容器(12)充电。
可变电压发生器电路电容器方法

[发明专利]具有模拟和数字检测器的射频功率发生器-CN202010930509.1有效
发明人：安东·拉班克;丹尼尔·格鲁纳;安德烈·格雷德 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2020-09-07 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种射频功率发生器，其包括：功率放大器；至少一个采样器，其被配置为对功率放大器的输出端处的射频信号进行采样；RF输出端，其被配置为从发生器输出RF信号；信号发生器，其被配置为生成RF输入信号并将RF输入信号提供给功率放大器；控制器，其包括数字控制部分和模拟控制部分，其中数字控制部分和模拟控制部分中的一个或两个被配置为至少控制功率放大器和/或信号发生器；在至少一个采样器和控制器之间的模拟反馈路径，该模拟反馈路径使来自至少一个采样器的信号的模拟信号表示能够被提供给控制器；以及在至少一个采样器和控制器之间的数字反馈路径，该数字反馈路径使来自至少一个采样器的信号的数字信号表示能够被提供给控制器。
具有模拟数字检测器射频功率发生器

[发明专利]射频发生器-CN202080035460.1在审
发明人：丹尼尔·格鲁纳;安德烈·格雷德;尼古拉·施韦尔格;安东·拉班克;曼努埃尔·福尔·德姆·布罗克;罗兰·施利夫 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：描述了一种射频发生器(40)，其包括：包括至少一个功率放大器(42)的功率放大器模块(41)、与至少一个功率放大器的输出端连接以生成至少一个拾取信号的至少一个拾取模块(44)、以及被配置为与至少一个放大器的相应的输出端连接并被配置为输出至少一个射频输出信号的至少一个输出端(RFOUT1)。射频发生器包括：测量模块(50)，其被配置为接收至少一个拾取信号并基于至少一个拾取信号生成至少一个测量信号(52)；以及射频信号生成模块(48)，其被配置为生成不同频率的两个或更多个载波信号，并将至少一个驱动信号作为输入提供给功率放大器模块；以及调节模块(54)，其被配置为接收至少一个测量信号，并基于至少一个测量信号调节至少一个射频输出信号的功率。
射频发生器

[发明专利]用于真空电容器的电极单元和真空电容器-CN202110667609.4在审
发明人：蒂莫西·韦伯;雅尼娜·比朔夫;马尔科·法泽尔;马克·米尔德纳 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2021-06-16 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： H01G4/005 文献下载
摘要：提供用于真空电容器的电极单元和真空电容器。用于电真空电容器的电极单元(10，20)包括具有高度H的带状电容器极板(11，21)，带状电容器极板(11，21)以螺旋卷绕，螺旋具有最大直径Dmax和连续螺旋圈之间的恒定距离，带状电容器极板(11，21)包括附接至支承部(12)的第一纵向边缘(11a，21a)和自由的第二纵向边缘(11b，21b)，在螺旋外端，第一纵向边缘(11a，21a)和第二纵向边缘(11b，21b)通过倾斜边缘(11c，21c)连接使得第一纵向边缘(11a，21a)比第二纵向边缘(11b，21b)长，倾斜边缘(11c，21c)与带状电容器极板(11，21)的纵向轴线(B)形成小于或等于角度αmax＝(45°·π/180°)的角度α。还涉及包括至少一个本发明电极单元(10，20)的真空电容器(30)。
用于真空电容器电极单元

[其他]X射线阴极头及X射线管设备-CN201890001601.6有效
发明人：迈克尔·夏比尔;阿诺·索塔斯;克里斯托夫·瓦尔特 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2018-04-04 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： H01J35/06 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种X射线阴极头及X射线管设备，由于这种X射线阴极头及X射线管设备，使得灯丝与聚焦杯的对准变得容易。特别地，提出下述X射线阴极头：其中，灯丝和聚焦杯在组装时是自对准的。本实用新型的目的是通过下述X射线阴极头实现的：该X射线阴极头包括由灯丝支承部支承的灯丝、聚焦杯，该聚焦杯在其中心集成有引出缝。在将聚焦杯与灯丝支承部组装在一起时，灯丝和引出缝是以平移和旋转的方式自对准的，从而使灯丝的短轴和长轴两者与引出缝的短轴和长轴两者对准。
射线阴极设备

[发明专利]用于射频功率应用的可变功率电容器-CN201480081471.8有效
发明人：麦克·阿布莱希特;托马斯·芬克;沃尔特·比格勒 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2014-09-04 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： H01G7/06 文献下载
摘要：公开了一种功率电容器(7)，其用于RF功率发送系统。所述功率电容器包括至少两个被包括固体顺介电材料的电容器电介质(17)分开的RF电极(18、19)，所述固体顺介电材料的相对介电常数可通过改变在DC偏压电极(10、26、28)处施加于所述电介质(17)上的DC偏压来控制。还公开了复合电容器配置、RF功率系统及控制所述功率电容器的方法。
用于射频功率应用可变电容器

[发明专利]射频功率放大器-CN201980083139.8在审
发明人：丹尼尔·格鲁纳;安德烈亚斯·哈特曼;菲利佩·登勒;马库斯·赖夫;安德烈·格雷德;安东·拉班克 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种射频(RF)功率放大器，其包括至少一个场效应晶体管FET，其中，该至少一个FET的源极端子接地。包括至少一个二极管，其中，所述至少一个二极管的阴极连接到所述至少一个FET的漏极端子，并且所述至少一个二极管的阳极接地。输出网络连接到所述至少一个FET的漏极端子。输入网络连接到所述至少一个FET的栅极端子。
射频功率放大器

[发明专利]定向耦合器-CN202011041267.7在审
发明人：史威格·尼古拉;格莱德·安德烈 -专利权人： 康姆艾德公司
申请日： 2020-09-28 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H01P5/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种定向耦合器(100)，其包括用于接收高功率信号的非直主导线(39)和至少一个耦合元件(38a、38b)。所述主导线(39)布置成在平面P0中延伸。所述至少一个耦合元件(38a、38b)被布置成与所述主导线(39)部分地平行。此外，本发明涉及一种使用所述定向耦合器(100)测量RF电压和/或RF功率的方法。该方法包括将所述定向耦合器(100)的测量信号与VI传感器单元(40)的测量电压值和电流值进行组合的步骤。在其中一个测量信号具有低电平或零电平的情况下，RF电压和/或RF功率的测量的灵敏度被提高。
定向耦合器

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