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- [实用新型]玻璃光罩保护盒-CN202122534471.9有效
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王明波
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广州仕元光电有限公司
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2021-10-20
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2022-03-18
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G03F1/66
- 本实用新型公开了一种玻璃光罩保护盒，包括顶壳、底壳，顶壳与底壳围合形成用于容纳玻璃光罩的腔体；设置于顶壳朝向底壳的一侧面上的多个第一定位凸起，且多个第一定位凸起间隔设置；设置于底壳朝向顶壳的一侧面上的多个第二定位凸起，且多个第二定位凸起间隔设置，第二定位凸起、第一定位凸起用于定位玻璃光罩；在每一个第一定位凸起上设置有一个第一缓冲件，每一个第二定位凸起上设置有一个第二缓冲件。本实用新型实施例公开的玻璃光罩保护盒，可以实现对玻璃光罩在运输、使用以及储存过程中的防污染、防破损保护。
- 玻璃保护
- [实用新型]铬版真空包装装置-CN202122346120.5有效
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叶加强
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广州仕元光电有限公司
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2021-09-26
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2022-03-18
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B65B31/02
- 本实用新型提供了一种铬版真空包装装置，涉及包装技术领域。该铬版真空包装装置包括密封舱、真空泵封口部件和电源。其中真空泵设于密封舱的外部，并通过排气管道连通密封舱的内部，封口部件则设于密封舱内部，且真空泵与封口部件均与电源电连接。当使用本实用新型提供的铬版真空包装装置进行包装时，将装有铬版的包装袋放置于密封舱内部后关闭密封舱，利用电源驱动真空泵和封口部件，真空泵快速将密封舱内部的气体抽离，使密封舱内部呈真空状态，之后封口部件运行，对包装袋的开口进行封口，完成包装。利用本实用新型，可实现铬版的真空包装，对铬版形成保护，同时提高铬版的包装效率。
- 真空包装装置
- [实用新型]玻璃光罩存放装置-CN202120624989.9有效
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叶加强
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广州仕元光电有限公司
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2021-03-26
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2021-12-14
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B25H3/00
- 本实用新型实施例公开了一种玻璃光罩存放装置，包括存放台、支架以及空气净化装置。存放台上设有储存架，储存架用于存放玻璃光罩，支架设于存放台并自存放台向上延伸。空气净化装置设于支架，空气净化装置位于储存架的上方，空气净化装置用于向储存架输送洁净空气。通过支架将空气净化装置设置于储存架的上方，空气净化装置能够向储存架输送洁净空气，且该洁净空气形成的气流能够阻挡不洁空气进入储存架，从而为玻璃光罩提供符合洁净度要求的储存环境。并且，采用洁净的气流来阻挡不洁的空气进入储存架的方式，操作人员可直接穿过气流将玻璃光罩存放至储存架或从储存架将玻璃光罩取出，玻璃光罩的存取过程较为便捷。
- 玻璃存放装置
- [实用新型]一种贴合装置-CN202121381995.2有效
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王明波
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广州仕元光电有限公司
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2021-06-21
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2021-12-14
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G03F1/68
- 本实用新型涉及半导体技术领域，公开了一种贴合装置，应用于光罩组件，所述光罩组件包括光罩以及贴合于所述光罩的保护膜和/或金属片，所述贴合装置包括基板以及承载组件，所述基板具有第一表面，所述第一表面设有第一收容槽以及与所述第一收容槽间隔设置的第二收容槽，所述第一收容槽用于放置所述保护膜，所述第二收容槽用于放置所述金属片，所述承载组件可伸缩设于所述第一表面，所述承载组件用于承载所述光罩，以及用于相对所述第一表面伸缩以使所述光罩贴合于所述保护膜和/或所述金属片。采用本实施例的贴合装置，能够兼具贴合保护膜以及贴合金属片两种功能，适用不同使用条件的光罩组件。
- 一种贴合装置
- [实用新型]应用于玻璃光罩的夹具及光刻系统-CN202120218869.9有效
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王明波
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广州仕元光电有限公司
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2021-01-26
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2021-10-01
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种应用于玻璃光罩的夹具，包括基板，该基板具有第一表面，第一表面上间隔开设有多个定位槽，各定位槽分别用于放置待曝光的玻璃光罩，玻璃光罩放置于定位槽中时，玻璃光罩的待曝光表面与第一表面齐平，从而一方面可以将多个玻璃光罩同时被固定在一块夹具上，另一方面可以令每一块固定在夹具上的玻璃光罩的待曝光表面均与夹具的第一表面齐平，从而避免光刻机在曝光过程中因检测到镜头与待曝光面之间的距离不正常而自动死机，有利于实现玻璃光罩的批量曝光，以提高玻璃光罩的生产效率，从而降低玻璃光罩的生产成本。另外，本实用新型还公开了一种具有该应用于玻璃光罩的夹具的光刻系统。
- 应用于玻璃夹具光刻系统
- [发明专利]玻璃光罩及其制造方法-CN202110677329.1在审
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王明波
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广州仕元光电有限公司
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2021-06-18
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2021-09-28
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G03F1/80
- 本发明公开了一种玻璃光罩及其制造方法，该玻璃光罩的制造方法可包括：提供匀胶铬板，匀胶铬板包括依次层叠设置的玻璃基板、铬层、氧化铬层以及光刻胶层，玻璃基板具有第一区域和与第一区域连接的第二区域；去除覆盖在第一区域上的光刻胶层；蚀刻去除覆盖在第一区域上的氧化铬层与铬层；去除覆盖在第二区域上的光刻胶层；蚀刻去除覆盖在第二区域上的氧化铬层，得到玻璃光罩。从而铬层形成玻璃光罩的遮光区域的表面，以使玻璃光罩的遮光区域的表面对光的反射性高。本发明提供的玻璃光罩的制造方法通过对匀胶铬板进行两次蚀刻，实现了使用具有低反射性的氧化铬膜层的匀胶铬板，生产遮光区域的表面具有高反射性的玻璃光罩，生产成本低。
- 玻璃及其制造方法
- [外观设计]转运盒-CN202030801979.9有效
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叶加强;王明波
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广州仕元光电有限公司
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2020-12-24
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2021-05-18
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09-03
- 1.本外观设计产品的名称：转运盒。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于片状电子零部件（例如玻璃光罩、电路板）的转运或者收纳。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：组合状态图。5.本外观设计为组件产品，组件1为盒体，组件2为手提盖。
- 转运
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