“平野太一”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果15个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]等离子体处理装置、等离子体处理方法和存储介质-CN202310348168.0在审
发明人：舆水地盐;平野太一;早坂彻;久保田绅治;丸山幸儿;道菅隆 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供控制方法和等离子体处理装置。一种具有载置被处理体的第一电极的等离子体处理装置的控制方法，其包括：对上述第一电极供给偏置功率的步骤；和将具有比上述偏置功率高的频率的生成源功率供给到等离子体处理空间的步骤，上述生成源功率具有第一状态和第二状态，上述控制方法包括第一控制步骤，该第一控制步骤与基准电气状态的一周期内的相位同步地交替施加上述第一状态和上述第二状态，其中上述基准电气状态表示由上述偏置功率的供电系统测量出的电压、电流或电磁场的任一者。
等离子体处理装置方法存储介质

[发明专利]等离子体处理装置、等离子体处理方法和存储介质-CN202110571547.7在审
发明人：舆水地盐;平野太一;早坂彻;久保田绅治;丸山幸儿;道菅隆 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供控制方法和等离子体处理装置。一种具有载置被处理体的第一电极的等离子体处理装置的控制方法，其包括：对上述第一电极供给偏置功率的步骤；和将具有比上述偏置功率高的频率的生成源功率供给到等离子体处理空间的步骤，上述生成源功率具有第一状态和第二状态，上述控制方法包括第一控制步骤，该第一控制步骤与基准电气状态的一周期内的相位同步地交替施加上述第一状态和上述第二状态，其中上述基准电气状态表示由上述偏置功率的供电系统测量出的电压、电流或电磁场的任一者。
等离子体处理装置方法存储介质

[发明专利]控制方法和等离子体处理装置-CN201980017588.2在审
发明人：舆水地盐;平野太一;早坂彻;久保田绅治;丸山幸儿;道菅隆 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供控制方法和等离子体处理装置。一种具有载置被处理体的第一电极的等离子体处理装置的控制方法，其包括：对上述第一电极供给偏置功率的步骤；和将具有比上述偏置功率高的频率的生成源功率供给到等离子体处理空间的步骤，上述生成源功率具有第一状态和第二状态，上述控制方法包括第一控制步骤，该第一控制步骤与基准电气状态的一周期内的相位同步地交替施加上述第一状态和上述第二状态，其中上述基准电气状态表示由上述偏置功率的供电系统测量出的电压、电流或电磁场的任一者。
控制方法等离子体处理装置

[发明专利]连接器、数据传送设备、数据接收设备、及数据传送和接收系统-CN201480022081.3有效
发明人：鸟羽一彰;松田昂;平野太一 -专利权人：索尼公司
申请日： 2014-03-18 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： H01R13/6581 文献下载
摘要：[问题]为了能够更大地抑制信号质量恶化。[方案]提供一种连接器，所述连接器包括：信号插针(11)，所述信号插针(11)连接到一端被置于任意给定装置中的安装基板(14)上的布线图(15)，并向所述装置的内部和外部传送信号；和外壳(13)，所述外壳由导电体形成，以致在信号插针(11)朝着安装基板(14)延伸的区域中，覆盖信号插针(11)，并在安装基板(14)上被连接到地电位。
连接器数据传送设备接收系统

[发明专利]电源系统、等离子体处理装置和电源控制方法-CN201610168860.5有效
发明人： 平野太一;石桥淳治;伊藤惠贵;佐藤邦纮 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明的电源系统、等离子体处理装置和电源控制方法能够抑制电子相对伴随向下部电极的高频电力的供给在被处理体上产生的等离子体鞘的弹回而导致的上部电极侧的放电。电源系统包括：对用于载置被处理体的下部电极供给等离子体生成用的高频电力的高频电源；直流电源，对与下部电极相对地配置的上部电极供给负的第一直流电压或绝对值比第一直流电压的绝对值大的负的第二直流电压；控制部，执行电源控制处理，交替地反复供给高频电力和停止供给，在供给高频电力期间中的、自高频电力的供给开始时起的第一期间停止供给第一直流电压和第二直流电压，并在该期间中的除第一期间外的第二期间供给第一直流电压，在停止高频电力的供给期间供给第二直流电压。
电源系统等离子体处理装置控制方法

[发明专利]信息处理装置、信息处理方法以及程序-CN201680045013.8在审
发明人：岸治彦;上田健太郎;平野太一;佐藤知则 -专利权人：索尼公司
申请日： 2016-06-06 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： G06Q10/10 文献下载
摘要：指定编辑数据的公开对象并将其添加到内容数据。本公开所涉及的信息处理装置具备存储器，存储内容数据、上述内容数据的编辑数据、以及上述编辑数据的公开对象信息；以及控制部，将通信部控制为基于上述公开对象信息，对允许了上述编辑数据的公开的利用者的终端除了上述内容数据以外还发送上述编辑数据。根据该结构，能够指定编辑数据的公开对象并将其添加到内容数据，能够仅对所指定的公开对象公开编辑数据。
信息处理装置方法以及程序

[发明专利]连接器、数据接收设备、数据发送设备以及数据发送和接收系统-CN201380066805.X在审
发明人：鸟羽一彰;平野太一;松田昂 -专利权人：索尼公司
申请日： 2013-11-19 - 公布日： 2015-08-26 - 主分类号： H01R13/6471 文献下载
摘要：[问题]为了能进一步抑制信号的退化。[解决方案]提供了一种连接器(10)，该连接器包括：信号引脚(110)，所述信号引脚在第一方向(y)上延伸并且发送信号；基板(130)，所述基板具有形成在一个表面上的信号引脚(110)；以及导体层，所述导体层形成在与具有所述信号引脚(110)的表面的相对的所述基板(130)的表面上，所述导体层具有地电位。
连接器数据接收设备发送以及系统

[发明专利]连接器、缆线、发送设备、接收设备和连接器的制造方法-CN201180059006.0有效
发明人：鸟羽一彰;铃木秀幸;平野太一 -专利权人：索尼公司
申请日： 2011-12-02 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： H01R24/62 文献下载
摘要：在分配给屏蔽的引脚用作数据对的新HDMI接口中，提供一种连接器，在保持与当前HDMI连接器的兼容性的同时实现高质量信号传输。安排信号电极引脚（252，152）分别靠近外壳（接地导体）（253，153），以便与外壳耦合，并以单端状态发送差分信号。在第一级的多个信号电极引脚与第二级的多个信号电极引脚之间布置地平面（254，154），第一级和第二级都存在于电介质内（251，151）。在电介质（251，151）内的每级的每个信号电极引脚之间布置电连接地平面和外壳的连接导体（255，155）。在用于发送差分信号的信号电极引脚对中，可以减小来自其他信号电极引脚的串扰，使得能够实现高质量信号传输。
连接器缆线发送设备接收制造方法

[发明专利]腔室内清洁方法-CN201010264380.1有效
发明人：本田昌伸;花冈秀敏;平野太一;三村高范;岩田学;冈城武敏 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-08-20 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种高效率地去除堆积在ESC的外周部的以CF为主要成分且含有Si和Al的肩部堆积物的腔室内清洁方法。朝向ESC(24)的外周部(24a)以压力400～800mTorr供给由O2气体和含F气体构成的混合气体，有选择性地对ESC(24)的外周部(24a)照射由该混合气体生成的等离子体，并且，对ESC(24)的除外周部(24a)之外的上部表面供给作为掩蔽气体的O2单一气体，防止ESC(24)的除外周部(24a)之外的上部表面暴露于F自由基中，一边分解、去除附着在该外周部(24a)的肩部堆积物(50)。
室内清洁方法

[发明专利]空调机的室内机-CN201010154523.3无效
发明人：岸谷哲志;长桥克章;尾原秀司;太田裕树;平野太一 -专利权人：日立空调·家用电器株式会社
申请日： 2010-04-02 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： F24F1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种可适用螺旋桨风扇，降低通风阻力，适合于大空间的空调机的室内机。室内机(10)具备：收容于框体内并朝向水平方向配置旋转轴的至少一个螺旋桨风扇(108a、108b)、对螺旋桨风扇(108)进行旋转驱动的电动机(109)、在配置了螺旋桨风扇(108)的空间的两侧面上设置的热交换器(107a、107b)、形成于框体的两侧壁上的吸入口(111a、111b)、形成于与螺旋桨风扇的吹出侧相向的框体的壁上的吹出口(110a、110b)，因为增大热交换面积能够降低通风阻力，所以适合于适用螺旋桨风扇(108a、108b)的大空间。
空调机室内

[发明专利]等离子体处理装置-CN200810005545.6有效
发明人：兴石公;广濑润;小笠原正宏;平野太一;佐佐木宽充;吉田哲雄;斋藤道茂;石原博之;大薮淳;沼田幸治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-11-25 - 公布日： 2008-07-30 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置，其具有：可以设置成有真空气氛的处理容器；与在所述处理容器内配置在规定位置的被处理基板相对向而环状地配置的第一上部电极；在所述第一上部电极的半径方向内侧以与其电绝缘状态配置的第二上部电极；向所述处理容器内提供处理气体的处理气体供给部；输出第一高频的第一高频电源；把来自所述第一高频电源的所述第一高频以第一功率值提供给所述第一上部电极的第一供电部；把来自所述第一高频电源的所述第一高频，从所述第一供电部分出，以比所述第一功率值小的第二功率值提供给所述第二上部电极的第二供电部，所述第一上部电极具有与所述第二上部电极的下面相比还向下方突出的突出部分。
等离子体处理装置

[发明专利]等离子体处理装置和方法-CN200380104292.3有效
发明人：兴石公;广瀬润;小笠原正宏;平野太一;佐佐木宽充;吉田哲雄;斋藤道茂;石原博之;大薮淳;沼田幸治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-11-25 - 公布日： 2006-01-04 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：一种等离子体处理装置，包含可设定成具有真空气氛的处理容器(10)。与在处理容器(10)内配置的被处理基板(W)相对面地配置上部电极(36、38)。具有与上部电极(36)在周围方向上实质上连续连接的第一筒形导电部件(50)的供电部，将来自第一高频电源(52)的第一高频供给上部电极(36)。
等离子体处理装置方法

[发明专利]等离子体处理方法和装置-CN200380104294.2有效
发明人：兴石公;广瀬润;小笠原正宏;平野太一;佐佐木宽充;吉田哲雄;斋藤道茂;石原博之;大薮淳;沼田幸治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-11-25 - 公布日： 2006-01-04 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：一种等离子体处理方法，向配置有被处理基板(W)的等离子体生成空间(10)内供给规定的处理气体、使所述处理气体等离子体化。而且，由等离子体对基板(W)实施规定的等离子体处理。这里，由与基板(W)相对向的对向部(34)，对基板(W)分别独立地控制等离子体的密度空间分布与等离子体中的自由基的密度空间分布，在基板(W)的整个被处理面上得到规定的处理状态。
等离子体处理方法装置

[发明专利]等离子体处理装置和方法以及等离子体处理装置的电极板-CN200380104293.8有效
发明人：兴石公;广瀬润;小笠原正宏;平野太一;佐佐木宽充;吉田哲雄;斋藤道茂;石原博之;大薮淳;沼田幸治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-11-25 - 公布日： 2006-01-04 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明的等离子体处理装置包括可以设置成有真空气氛的处理容器(10)。第一上部电极(36)被配置成与配置在处理容器(10)内的被处理基板(W)相面对并成环状。在第一上部电极(36)的半径方向内侧以与其电绝缘状态配置第二上部电极(38)。第一供电部(50)把来自第一高频电源(52)的第一高频以第一功率值提供给第一上部电极(36)。从第一供电部(50)分出的第二供电部(76)把来自第一高频电源的所述第一高频，以比第一功率值小的第二功率值提供给所述第二上部电极(38)。
等离子体处理装置方法以及极板

[发明专利]等离子体处理装置和阻抗调整方法-CN200510073552.6有效
发明人： 平野太一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2005-06-02 - 公布日： 2005-12-07 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置，可调整等离子体源侧的阻抗，可消除装置间或清洗循环间的阻抗误差。该等离子体处理装置在分割成内侧电极(38)和外侧电极(36)的上部电极(34)与下部电极(16)之间生成等离子体，并在晶片(W)上施行等离子体处理，包括以高频电流向内侧电极38流入的方式形成的谐振电路(101)；设在向内侧电极(38)的供电线上的可变电容器(78)；检测下部电极(16)的偏压(VPP)的检测器(89)；和在形成等离子体的状态下，一边改变可变电容器(78)的电容，一边检测来自检测器(89)的信号而探出谐振电路(101)的谐振点，把谐振点处的可变电容器(78)的电容调整成成为基准的值的控制器(102)。
等离子体处理装置阻抗调整方法

1
共 15 条