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[发明专利]衬底处理装置-CN201780057738.3有效
发明人：铃木达大;德利宪太郎;西村高志;结城嘉晓;玉置康人;宫路信行;平下友美;内田博章;奥谷洋介 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-06-08 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供抑制衬底的污染的技术。衬底处理装置具备：衬底保持部，其水平地保持衬底；处理液供给部，其向被保持于衬底保持部的衬底供给处理液；和受液部，其围绕衬底保持部的周围，并接收从衬底飞散的处理液。另外，受液部的内周面具有在被保持于衬底保持部的衬底侧露出的多个槽，多个槽各自的延伸方向包含铅垂方向的分量。因此，处理液的液滴易于在槽内合流并因自重而落下。
衬底处理装置

[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法-CN202110723910.2在审
发明人： 平下友美 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置，能高精度地控制回收的臭氧水的臭氧浓度。基板处理装置具备：臭氧水生成部，使用臭氧气体生成臭氧水；第一浓度计，测量生成的臭氧水的臭氧浓度；基板处理部；回收部，回收臭氧水并向臭氧水生成部供给；以及控制部，控制臭氧水生成部的动作，回收部具备：温度控制部，控制臭氧水的温度；以及第二浓度计，测量臭氧浓度，控制部基于由第二浓度计测量出的臭氧浓度，控制臭氧水生成部中的臭氧气体的供给量。
处理装置以及方法