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[发明专利]使用模型确定与等离子体系统关联的离子能量的方法和系统-CN201810106696.4有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-03-17 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及使用模型确定与等离子体系统关联的离子能量，具体描述了用于确定离子能量的系统和方法。这些方法中的一种包括：检测发生器的输出以识别出发生器输出复电压和电流(VI)。所述发生器耦合到阻抗匹配电路，而所述阻抗匹配电路耦合到静电卡盘(ESC)。该方法进一步包括：从所述发生器输出复VI确定沿着所述阻抗匹配电路的模型的输出和所述ESC的模型之间的路径的点处的投射的复VI。所述投射的复VI的确定的操作使用所述路径中的至少部分的模型来执行。该方法包括施加所述投射的复VI作为函数的输入以将所述投射的复VI映射到在所述ESC模型处的晶片偏置值，并从所述晶片偏置值确定离子能量。
使用模型确定等离子体系统关联离子能量方法

[发明专利]在存在千赫兹射频发生器下提高兆赫兹射频发生器的输送功率的效率的系统和方法-CN201880047401.9在审
发明人：阿瑟·M·霍瓦德;约翰·C·小瓦尔库;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2018-06-07 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：描述了用于调谐射频(RF)发生器的系统和方法。所述方法中的一个包括通过高频RF发生器向IMN提供高频RF信号。所述方法包括访问在高频RF发生器的输出端处测得的变量的多个测量值以产生参数。在低频RF发生器的多个工作周期期间测量变量。测量值与由高频RF发生器供应的多个功率值相关联。所述方法包括对于周期中的一个，确定使得由高频RF发生器输送的功率效率提高的高频RF发生器的频率的值和与IMN的分流电路相关联的因子的值。
存在赫兹射频发生器提高兆赫输送功率效率系统方法

[发明专利]用于在等离子体处理系统中控制等离子体的方法和装置-CN201610301437.8有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-06-24 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及用于在等离子体处理系统中控制等离子体的方法和装置，具体公开了用于在多频率等离子体处理室中处理衬底的方法和装置。基极RF信号在高功率电平和低功率电平之间施加脉冲。在基极RF信号施加脉冲时，非基极RF发生器中的每一个响应于控制信号前摄地(proactively)在第一预定义功率电平和第二预定义功率电平之间切换。替代地或另外地，在基极RF信号施加脉冲时，非基极RF发生器中的每一个响应于控制信号前摄地在第一预定义RF频率和第二预定义RF频率之间切换。本发明公开了用于在生产时间之前为非基极RF信号确定第一和第二预定义功率电平和/或第一和第二预定义RF频率的技术。
用于等离子体处理系统控制方法装置

[发明专利]使用模型确定与等离子体系统关联的晶片偏置-CN201710706833.3有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-01-29 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及使用模型确定与等离子体系统关联的晶片偏置，具体描述了用于确定晶片偏置的系统和方法。这些方法中的一种包括：检测发生器的输出以识别出发生器输出复电压和电流(V&I)。所述发生器耦合到阻抗匹配电路，而所述阻抗匹配电路耦合到静电卡盘(ESC)。该方法进一步包括：从所述发生器输出复V&I确定沿着所述阻抗匹配电路的模型的输出和所述ESC的模型之间的路径的点处的投射的复V&I。所述投射的复V&I的确定的操作使用所述路径的至少部分的模型来执行。该方法包括施加所述投射的复V&I作为函数的输入以将所述投射的复V&I映射到在所述ESC模型处的晶片偏置值。
使用模型确定等离子体系统关联晶片偏置

[发明专利]边沿缓变-CN201610935541.2有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克;安德鲁·S·方 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-09-16 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及边沿缓变，具体描述了用于执行边沿缓变的方法。一种方法包括产生第一射频信号。所述第一射频信号从一种状态渡越到另一种状态。所述第一射频信号从一种状态到另一种状态的所述渡越导致等离子体阻抗的改变。该方法进一步包括产生第二射频信号。所述第二射频信号从一种状态渡越到另一种状态以稳定所述等离子体阻抗的改变。该方法包括当所述第二射频信号从一种状态渡越到另一种状态时，提供参数值用于执行所述第二射频信号的边沿缓变。当所述第二射频信号从一种状态渡越到另一种状态时，提供参数值用于执行所述第二射频信号的边沿缓变，其中执行第二射频信号的边沿缓变以将第二射频信号的渡越速率改变为不同于所述第一射频信号的渡越速率。
边沿

[发明专利]功率和频率的基于阻抗的调节-CN201610296729.7有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-02-22 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：说明了用于功率和频率的基于阻抗的调节的系统和方法。系统包括用于收容等离子体的等离子体腔室。所述等离子体腔室包括电极。所述系统包括与等离子体腔室耦合以用于向所述电极提供射频(RF)信号的驱动器放大器。驱动器放大器经由传输线与等离子体腔室耦合。系统进一步包括与驱动器放大器耦合的选择器、与选择器耦合的第一自动频率控制器(AFC)以及与选择器耦合的第二AFC。该选择器被配置为基于在传输线上感测到的电流和电压的值来选择第一AFC或第二AFC。
功率频率基于阻抗调节

[发明专利]基于三个或更多个状态的功率和频率的调节-CN201611234961.4有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-09-16 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及基于三个或更多个状态的功率和频率的调节，具体描述了用于根据三个或更多个状态调节功率和频率的系统和方法。所述方法中的一个包括：接收具有多个状态的脉冲信号。通过多个射频(RF)产生器接收所述脉冲信号。当接收到具有第一状态的所述脉冲信号时，由第一RF产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号以及由第二RF产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。此外，当接收到具有第二状态的所述脉冲信号时，由所述第一和第二射频产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。此外，当接收到具有第三状态的所述脉冲信号时，由所述第一和第二射频产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。
基于三个更多状态功率频率调节

[发明专利]使用建模、反馈和阻抗匹配来控制蚀刻速率-CN201410524866.2有效
发明人： 布拉德福德·J·林达克;约翰·C·小瓦尔考;阿列克谢·马拉霍塔诺夫;塞得·亚法·亚法莉安-特哈利;陈志刚 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-10-08 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： H03H11/28 文献下载
摘要：本发明涉及使用建模、反馈和阻抗匹配电路来控制蚀刻速率，说明了实现蚀刻速率的方法。该方法包含接收与处理等离子体室中的工件关联的计算的变量。该方法还包含经由模型来传送所述计算的变量，以在模型的输出处产生所述计算的变量的值，识别与该值关联的计算的处理速率；并且基于所述计算的处理速率来识别预先确定的处理速率。该方法还包含：基于所述预先确定的处理速率识别要在输出实现的预先确定的变量；以及识别与所述预先确定的变量的实部和虚部关联的特征。该方法包含控制可变电路组件以实现特征，以进一步实现所述预先确定的变量。
预先确定蚀刻关联建模可变电路组件阻抗匹配电路等离子体室反馈速率识别阻抗匹配输出处实部虚部传送输出

[发明专利]使用模型确定与等离子体系统关联的离子能量-CN201410097194.1有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-03-17 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及使用模型确定与等离子体系统关联的离子能量，具体描述了用于确定离子能量的系统和方法。这些方法中的一种包括检测发生器的输出以识别出发生器输出复电压和电流(V＆I)。所述发生器耦合到阻抗匹配电路，而所述阻抗匹配电路耦合到静电卡盘（ESC）。该方法进一步包括从所述发生器输出复V＆I确定沿着所述阻抗匹配电路的模型的输出和所述ESC的模型之间的路径的点处的投射的复V＆I。所述投射的复V＆I的确定的操作使用所述路径中的至少部分的模型来执行。该方法包括施加所述投射的复V＆I作为函数的输入以将所述投射的复V＆I映射到在所述ESC模型处的晶片偏置值，并从所述晶片偏置值确定离子能量。
使用模型确定等离子体系统关联离子能量

[发明专利]在等离子体处理系统中同步RF脉冲的方法和装置-CN201380010617.5有效
发明人：约翰·瓦尔考;哈梅特·辛格;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-02-07 - 公布日： 2017-11-21 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：提供了一种用于提供至少两个同步脉冲RF信号至等离子体处理系统的等离子体处理室的同步脉冲装置，该装置包括用于提供第一RF信号的第一RF发生器。将所述第一RF信号提供至所述等离子体处理室以在其中激发等离子体，所述第一RF信号表示脉冲RF信号。该装置还包括用于提供第二RF信号至所述等离子体处理室的第二RF发生器。所述第二RF发生器具有传感器子系统，其用于检测所述至少一个与所述等离子体处理室相关的反映是向所述第一RF信号施加高脉冲还是施加低脉冲的参数的值，以及脉冲控制子系统，其用于响应于所述检测的所述至少一个参数的所述值对所述第二RF信号施加脉冲。
等离子体处理系统同步 rf 脉冲方法装置

[发明专利]使用模型确定与等离子体系统关联的晶片偏置-CN201410042674.8有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-01-29 - 公布日： 2017-09-15 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明涉及使用模型确定与等离子体系统关联的晶片偏置，具体描述了用于确定晶片偏置的系统和方法。这些方法中的一种包括检测发生器的输出以识别出发生器输出复电压和电流(V＆I)。所述发生器耦合到阻抗匹配电路，而所述阻抗匹配电路耦合到静电卡盘（ESC）。该方法进一步包括从所述发生器输出复V＆I确定沿着所述阻抗匹配电路的模型的输出和所述ESC的模型之间的路径的点处的投射的复V＆I。所述投射的复V＆I的确定的操作使用所述路径的至少部分的模型来执行。该方法包括施加所述投射的复V＆I作为函数的输入以将所述投射的复V＆I映射到在所述ESC模型处的晶片偏置值。
使用模型确定等离子体系统关联晶片偏置

[发明专利]调谐与等离子体阻抗有关联的参数-CN201410014140.4有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-01-13 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： G05B19/04 文献下载
摘要：本发明涉及调谐与等离子体阻抗有关联的参数，具体描述了用于调谐与等离子体阻抗相关联的参数的系统和方法。方法中的一种包括接收信息以判定变量。在传输线路测量信息并在参数具有第一值时进行测量。该传输线路用于提供功率到等离子体室。该方法进一步包括判定所述变量是否在局部最小值，并在判定所述变量在局部最小值时提供所述第一值来调谐阻抗匹配电路。该方法包括在判定变量不在局部最小值时改变参数的所述第一值到第二值，并判定参数具有第二值时变量是否在局部最小值。
调谐等离子体阻抗关联参数

[发明专利]基于状态的功率和频率调节-CN201310057220.3有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-02-22 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明描述了用于基于状态的功率和频率调节的系统和方法。系统的主发生器包括用于将主射频（RF）信号提供给电极的主功率供应器。主发生器进一步包括自动频率控制单元（AFC）以在脉冲信号处于第一状态时将第一频率输入提供给主功率供应器。该系统的从发生器包括用于将从RF信号提供给电极的从功率供应器。从发生器还包括AFC以在脉冲信号处于第一状态时将第二频率输入提供给从功率供应器。从发生器包括AFC以在脉冲信号处于第二状态时将第三频率输入提供给从功率供应器。该系统包括用于产生脉冲信号的数字脉冲源。
基于状态功率频率调节

[发明专利]确定等离子体系统中的故障装置-CN201410097999.6有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克;亚瑟·萨托 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-03-17 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明描述了确定等离子体系统中的故障装置，具体涉及用于确定在等离子体系统中的故障装置的系统和方法。方法中的一种包括接收等离子体系统的等离子体室中是否产生等离子体的指示。所述等离子体系统包括处理部分和功率传输部分。该方法还包括响应于接收到产生所述等离子体的指示判定等离子体系统是否在限制范围内操作，在所述处理部分从所述功率传输部分解耦时，确定在功率传输部分的输出处的变量的值，以及将所确定的值与所述变量的预记录值进行比较。该方法包括判定所确定的值是否在所述预记录值的范围之外，并在判定所确定的值在所述预记录值的所述范围之外时，确定所述功率传输部分内的故障装置。
确定等离子体系统中的故障装置

[发明专利]基于三个或更多个状态的功率和频率的调节-CN201310422704.3有效
发明人：约翰·C·小瓦尔考;布拉德福德·J·林达克 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-09-16 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及基于三个或更多个状态的功率和频率的调节，具体描述了用于根据三个或更多个状态调节功率和频率的系统和方法。所述方法中的一个包括接收具有多个状态的脉冲信号。通过多个射频（RF）产生器接收所述脉冲信号。当接收到具有第一状态的所述脉冲信号时，由第一RF产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号以及由第二RF产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。此外，当接收到具有第二状态的所述脉冲信号时，由所述第一和第二射频产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。此外，当接收到具有第三状态的所述脉冲信号时，由所述第一和第二射频产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。
基于三个更多状态功率频率调节

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