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[实用新型]一种炉管辅助安装治具-CN202321716963.2有效
发明人：薛海建;巩雨锋 -专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种炉管辅助安装治具，该炉管辅助安装治具包括用于辅助将一炉管安装或者拆卸至立式扩散炉的预设位置处，其特征在于，包括：底座；移动部；弹性件；测量组件，包括测量部，连接至所述底座或移动部，所述测量部沿所述移动部的运动方向设置，以对所述炉管随所述移动部运动的位置进行标记，使得所述炉管安装或者拆卸至所述立式扩散炉的预设位置处。本实用新型通过设置测量部和弹性件，在对立式扩散炉进行保养时，通过将内管安装或者拆卸时需要移动的距离进行测量并标记，能够将内管一次安装到预设的位置处，能够避免对立式扩散炉的其他部件造成损坏，提高了内管安装的效率。
一种炉管辅助安装

[发明专利]掺杂多晶硅薄膜的形成方法及其表面缺陷去除方法-CN202310876715.2在审
发明人：高勇强;施剑华;巩雨锋 -专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种掺杂多晶硅薄膜的形成方法及其表面缺陷去除方法，应用于半导体技术领域。其首先将形成掺杂多晶硅薄膜的总时间划分成多组时间段，而每组时间段均由第一时长和第二时长组成，然后，让半导体衬底在低压炉管内循环执行预设次数次所述第一时长和第二时长的LPCVD工艺，并在所述第一时长时间段内，将LPCVD工艺的低压炉管的管内气压设置为低压并通入适量的反应气体源，而在所述第二时长时间段内，将低压炉管的管内气压从所述低压降压到0，并同时迅速排走低压炉管内所残留的反应气体源和副产物，之后再在所述总时间之后，将低压炉管的管内气压回升到常压状态，并向低压炉管的管内通入氧化气体，以将掺杂多晶硅薄膜的表面进行热氧化处理。
掺杂多晶薄膜形成方法及其表面缺陷去除

[实用新型]定位装置及半导体工艺设备-CN202320269858.2有效
发明人：王凯;巩雨锋 -专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种定位装置及半导体工艺设备，所述定位装置，包括：定位环，所述定位环具有多个螺纹孔和环形卡槽，各个所述螺纹孔间隔地设置于所述定位环的侧壁上，所述螺纹孔贯穿所述定位环的侧壁，所述环形卡槽设置于所述定位环的一端的内侧壁上；多个可调节旋钮，所述可调节旋钮可转动地穿过所述螺纹孔，且所述可调节旋钮上设置有刻度。本实用新型的技术方案能够固定内管的安装位置，保证内管安装在第一固定环的凹槽的中央，从而提高内管安装的效率和准确性。
定位装置半导体工艺设备

[实用新型]叉盖装置及半导体工艺设备-CN202320113708.2有效
发明人：李金玉;巩雨锋 -专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种叉盖装置及半导体工艺设备，所述叉盖装置包括：透明保护罩，所述透明保护罩的一端具有一开口；至少两个把手，设置于所述透明保护罩的外壁上；至少两个支撑板，设置于所述透明保护罩的所述开口所在一端的侧壁上。本实用新型的技术方案使得在机台保养时，既能避免晶圆叉受到磕碰，又能避免工作人员受伤。
装置半导体工艺设备

[实用新型]清洗治具及清洗机-CN202223519622.4有效
发明人：薛海建;巩雨锋 -专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供的清洗治具及清洗机，所述清洗治具包括：支撑杆组件，所述支撑杆组件包括至少两个第一支撑杆和至少一个第二支撑杆，所述至少一个第二支撑杆正上方的两侧均分别设置有至少一个所述第一支撑杆，且所述第一支撑杆与所述第二支撑杆相互平行，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆上均设置有多个卡槽；两块固定板，两块所述固定板分别设置于所述支撑杆组件的两端。本实用新型提供的技术方案能够在提高半导体配件的清洗效率从而减少酸性清洗液的使用量的同时，还降低了被清洗的半导体配件在清洗过程中的损坏率。
清洗

[实用新型]散热片的搬运工具-CN202222844858.9有效
发明人：刘猛;巩雨锋 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及散热片搬运技术领域，且公开了散热片的搬运工具，包括固定架以及利用销轴与固定架铰接的调节架，所述调节架与固定架之间利用拉簧连接，所述调节架的外侧具有夹持板，所述夹持板固定于所述调节架外表面，所述夹持板的内部具有卡槽，所述卡槽开设于所述夹持板内壁，所述固定架与调节架之间具有液压管，所述液压管连通所述固定架、调节架与夹持板，所述夹持板内部具有弧形块，所述弧形块活动地插接于所述夹持板内部，所述固定架的内部具有挤压板，通过本实用新型所提供的散热片的搬运工具，能够用于对散热片进行夹持，且相对于普通的散热片的搬运工具，本实用新型所提供的搬运工具具备避免直接与石英接触，保证搬运的稳定性等优点。
散热片搬运工具

[实用新型]一种预防副产物掉落的机构-CN202223254090.6有效
发明人：王凯;巩雨锋 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： F17D1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及泵技术领域，且公开了一种预防副产物掉落的机构，包括泵，所述泵顶部左侧固定连接有管道，所述管道内顶部设置有金属波纹管，所述管道顶端固定连接有旁路，所述旁路远离管道一端固定连接有输入管，所述输入管底端设置有密封盖，所述泵右侧底部设置有输出管，所述金属波纹管顶部开设有孔洞，在管道顶端每隔2mm均匀设置，可以不影响管道正常工作，输入管底部中间开设有凹槽，所述密封盖设置于凹槽内部，所述密封盖内侧设置有铁圆环，可以使密封盖便于安装拆卸。该预防副产物掉落的机构，与现有的机构相比，增加了旁路，同时设置有金属波纹管，可以防止掉落的副产物掉进泵内部，防止泵的频率下降或停机的风险。
一种预防副产物掉落机构

[实用新型]一种石英通气管治具-CN202222844840.9有效
发明人：韦铄烨;巩雨锋 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及冶具技术领域，且公开了一种石英通气管治具，包括炉管，所述炉管内壁固定安装有安装机构，所述安装机构底部固定安装有安装板，所述安装板底部固定安装有固定机构，所述固定机构背面设置有石英注射器，所述安装机构包括安装板，所述安装板固定安装于炉管内壁，所述安装板内部滑动安装有L型块，所述L型块内部插接有插销。该石英通气管治具包括安装机构，能够提高安装速度，安装平滑稳定性好，同时能够快速的进行拆卸，提升了工作效率，避免了工人误操作导致的石英注射器安装不准确，保证每次安装石英注射器的位置做到统一且规范，并保持在最佳位置，避免石英注射器与炉管产生刮蹭，使得石英注射器的安装方便。
一种石英通气管治具

[发明专利]一种石英反应腔的维护方法-CN202110654052.0在审
发明人：张哲;巩雨锋;刘波 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： C30B31/10 文献下载
摘要：本发明通过在将所述承载室的环境设置为大气环境，并将承载室空载后装载至石英反应腔室中；增加所述石英反应腔室的温度至预设温度，所述大气环境中的氧气与残留物膜层的表面析出有固体的N型离子反应形成杂质气体，并在石英反应腔室的腔室壁上形成硅氧薄膜；以及将石英反应腔室中的所述杂质气体抽出，使得石英反应腔室的腔室壁上析出的N型离子气化并得以去除，以及硅氧薄膜的绝缘作用，避免和阻止磷掺杂硅生产过程中，石英反应腔的残留物薄膜表面析出固态的磷，从而降低了由于磷析出后扩散至晶圆表面产生颗粒残留物污染，还可以延长使用三氟化氯气体干刻维护石英反应腔的周期。
一种石英反应维护方法

[实用新型]清洗装置-CN201120294140.6有效
发明人：曹肖肖;巩雨锋 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-08-12 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： B08B9/027 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种清洗装置，用于清洗内壁附着结晶物的待清洗管，该种清洗装置包括倒U型水管架，所述倒U型水管架上设有进水管、进酸管、水泵、杂质过滤器、排水管以及两波纹管，所述进水管、进酸管、排水管以及波纹管上设有阀体，所述待清洗管两端分别通过两连接件与两波纹管密封连接，所述待清洗管与倒U型水管架构成循环流路。本实用新型的优点是结构简单，成本低，提高生产效率，降低劳动力，清洗效果好。
清洗装置

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