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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种升降装置-CN202320697182.7有效
发明人：尹强;陈辉;张冬林;嵇裴裴 -专利权人：上海百雅信息科技发展有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B66F3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种升降装置，包括伸缩套筒、传动机构和电机，还包括限位装置；伸缩套筒包括内套筒和外套筒，外套筒套设于内套筒外；传动机构包括主动齿轮、从动齿轮、传动丝杆、驱动螺母和螺母固定组件；限位装置包括导向滑块和辅助导轨；传动丝杆固接于外套筒中，驱动螺母与传动丝杆啮合，并通过螺母固定组件可转动地与内套筒内壁连接；辅助导轨与传动丝杆平行设置并与后者固定连接，导向滑块与辅助导轨活动连接，并与内套筒内壁固定连接；主动齿轮与电机固接，并与从动齿轮啮合，从动齿轮与驱动螺母固接；电机转动，驱动主动齿轮带动从动齿轮、驱动螺母转动；驱动螺母转动，驱动传动丝杆径向移动，辅助导轨、外套筒随传动丝杆一同移动。
一种升降装置

[实用新型]一种涂胶显影机-CN202320155968.6有效
发明人：杨科;尹强;张冬林;嵇裴裴 -专利权人：上海百雅信息科技发展有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种涂胶显影机，应用于晶圆生产，包括设备主体、工作台组件以及供气供液组件，所述设备主体为中空结构，前后均设有双开柜门，底部安装有福马轮，内部设有隔层，所述供气供液组件包括光刻胶泵和若干液体罐，所述液体罐并向排列设置于所述隔层上，设备主体上方一侧设有控制组件，另一侧安装有所述工作台组件，所述工作台组件设有承载台与臂组件，所述承载台上方设有注胶嘴，所述臂组件为中空结构且内部安装有若干与液体罐相接的软管，通过所述光刻胶泵使所述液体罐中液体经注胶嘴流出，通过在液体罐中放入不同液体，经注胶嘴流出至晶圆上，以实现不同的功能，同时在设备底部安装福马轮，方便设备移动。
一种涂胶显影

[实用新型]一种涂胶显影机工作台-CN202320130258.8有效
发明人：刘辉;尹强;张冬林;嵇裴裴;王军 -专利权人：上海百雅信息科技发展有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涂胶显影机工作台，包括工作台板、连接在工作台板上的转轴组件以及机械臂组件，所述工作台板上还设有驱动电机和承载台，所述机械臂组件与所述转轴组件连接，所述工作台板上设有夹仓盖板，所述夹仓盖板与工作台板之间设有夹仓空间，所述夹仓空间的夹仓壁上设有排气口和回液口，所述夹仓盖板上设有通气孔，所述机械臂组件包括机械臂和设在机械臂一端的注胶口，所述机械臂为中空管路结构，注胶管通过穿过机械臂内部到达所述注胶口进行注胶。本实用新型提供的一种涂胶显影机工作台，能够避免在涂胶过程中高速旋转产生的涡流气体影响胶膜的质量，提高工作效率。
一种涂胶显影机工

[实用新型]一种组合式可视仓门-CN202320127275.6有效
发明人： 嵇裴裴;刘辉;杨科;王军 -专利权人：上海百雅信息科技发展有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种组合式可视仓门，包括仓门本体和合页，还包括接近开关感应架；安装仓门本体包括边框、围板、罩板、支撑件、连接螺母和第一螺栓；安装围板一侧与边框固接，其另一侧间隔地固接有若干连接螺母，罩板边缘设置有对应数量的通孔，安装第一螺栓穿过通孔与连接螺母通过螺纹配合连接，从而将围板与罩板固定连接；安装合页与边框固定连接；支撑件与合页位于同一侧，其一端与边框、围板固定连接，另一端设置有轴孔，连接轴可转动地设置于轴孔中。仓门本体安装到位后，支撑件通过轴孔、连接轴与气缸或者液压杆连接，当需要开启仓门时，气缸或者液压杆收缩，可以驱动仓门本体以合页为轴转动抬升。
一种组合式可视

[实用新型]一种用于真空镀膜设备的刀盘转架-CN202320229450.2有效
发明人：刘辉;尹强;张冬林;嵇裴裴;王军 -专利权人：上海百雅信息科技发展有限公司
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于真空镀膜设备的刀盘转架，所述真空镀膜设备设有真空室，所述真空室内设有转架托板，所述刀盘转架固定于所述转架托板上，所述刀盘转架包括转架本体以及若干刀盘，所述转架本体包含若干工件杆、拔杆，所述刀盘圆心处设有方孔，外圆周设有弧齿轮，所述刀盘通过方孔可传动连接于所述工件杆上，所述拔杆与弧齿轮可传动连接，所述拨杆通过与所述弧齿轮接触使弧齿轮发生自转，通过转架本体的公转、刀盘的自转以及弧齿轮的自转形成三级转动，使得刀盘上的工件表面镀膜更均匀。
一种用于真空镀膜设备刀盘转架

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