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[发明专利]压电膜集成器件及其制造方法、以及声学振动传感器-CN202310217695.8在审
发明人：古田裕典;小酒达;铃木贵人;谷川兼一;石川琢磨;北岛由隆;小西晃雄;金森广晃;饭塚猛 -专利权人：冲电气工业株式会社;日商爱伯压电对策股份有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H10N39/00 文献下载
摘要：压电膜集成器件及其制造方法、以及声学振动传感器。在同一基板上设置2种以上的单晶压电膜，由此，提高压电膜集成器件的性能。压电膜集成器件具有：基板(33)；第1电极(34a)，其设置于基板(33)上；第2电极(34b)，其设置于基板(33)上；作为第1单晶压电膜(15)的单晶PZT膜，其设置于第1电极(34a)上；作为第2单晶压电膜(25)的单晶AlN膜，其设置于第2电极(34b)上，具有与第1单晶压电膜(15)的晶体构造不同的晶体构造；第3电极(16)，其设置于第1单晶压电膜(15)上；以及第4电极(26)，其设置于第2单晶压电膜(25)上。
压电集成器件及其制造方法以及声学振动传感器

[发明专利]压电膜集成器件及其制造方法、以及声学振动传感器-CN202310206923.1在审
发明人：古田裕典;小酒达;铃木贵人;谷川兼一;石川琢磨;北岛由隆;小西晃雄;金森广晃;饭塚猛 -专利权人：冲电气工业株式会社;日商爱伯压电对策股份有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H10N39/00 文献下载
摘要：压电膜集成器件及其制造方法、以及声学振动传感器。在同一基板上设置2种以上的单晶压电膜，由此，提高压电膜集成器件的性能。压电膜集成器件(100)具有：基板(33)；电极(34)，其设置于基板(33)上；第1压电元件，其具有第1单晶压电膜(25或15)和重叠于第1单晶压电膜(25或15)上的第1电极膜(26或16)，该第1压电元件设置于电极(34)上；以及第2压电元件，其具有第2单晶压电膜(15或25)和重叠于第2单晶压电膜(15或25)上的第2电极膜(16或26)，该第2压电元件设置于第1压电元件上。
压电集成器件及其制造方法以及声学振动传感器

[发明专利]压电驱动装置、压电电机、机器人、电子元件输送装置、打印机和投影仪-CN201811103335.0有效
发明人： 小西晃雄;梶野喜一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H02N2/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种压电驱动装置、压电电机、机器人、电子元件输送装置、打印机和投影仪。压电驱动装置能够高精度检测振动状态，压电电机、机器人、电子元件输送装置、打印机和投影仪具有该压电驱动装置且可靠性高。压电驱动装置具有：基板；第一绝缘膜，配置在所述基板上；驱动用压电元件，配置在所述第一绝缘膜上，使所述基板振动；检测用压电元件，检测所述基板的振动；驱动用布线，与所述驱动用压电元件电连接；检测用布线，与所述检测用压电元件电连接；以及作为固定电位的下层布线，配置在所述第一绝缘膜和所述基板之间，所述驱动用布线和所述检测用布线的至少一方的至少一部分与所述下层布线重合。
压电驱动装置电机机器人电子元件输送打印机投影仪

[发明专利]压电驱动装置、机器人、电子部件输送装置、打印机-CN201910179094.6有效
发明人：高桥智明;小西晃雄 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本发明提供压电驱动装置、机器人、电子部件输送装置、打印机。压电驱动装置能够提高振动部的振动的检测精度，机器人、电子部件输送装置、打印机及投影仪具备该压电驱动装置。一种压电驱动装置，其特征在于，具有：振动部，包括驱动用压电元件和检测用压电元件，并通过所述驱动用压电元件的驱动而进行振动；驱动电路，生成驱动所述驱动用压电元件的驱动信号；以及检测电路，基于随着所述振动部的振动而从所述检测用压电元件输出的检测信号，检测所述振动部的振动，所述检测用压电元件配置在包括所述振动部的中心的区域。
压电驱动装置机器人电子部件输送打印机

[发明专利]膜结构体及其制造方法-CN202211430242.5在审
发明人： 小西晃雄;金森广晃 -专利权人：微新创研究所股份有限公司
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H10N30/80 文献下载
摘要：课题：提供膜结构体及其制造方法，该膜结构体具有形成于衬底上的缓冲膜，能够使形成于缓冲膜上的金属膜或者压电体膜的取向方向一致为规定方向。解决手段：膜结构体(10)具有衬底(11)和形成于衬底(11)上的缓冲膜(12)。衬底(11)为SOI衬底，其包含：由36°～48°旋转Y切割的Si衬底或者36°～48°旋转Y切割的Si衬底构成的基体、基体上的绝缘层、和由绝缘层上的Si膜构成的SOI层，SOI层的上表面的晶面的密勒指数与基体的上表面的晶面的密勒指数相同。缓冲膜(12)包含在衬底(11)上外延生长的ZrO2。
膜结构及其制造方法

[发明专利]压电驱动装置、机器人以及打印机-CN201910810582.2有效
发明人：梶野喜一;高桥智明;小西晃雄 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H02N2/12 文献下载
摘要：本发明提供通过获得精度较高的检测信号而能够稳定地进行驱动的压电驱动装置、机器人以及打印机。该压电驱动装置的特征在于，具有振动部和控制所述振动部的振动的控制部；所述振动部具备：压电体，具有处于表背关系的第一面和第二面；驱动用电极，具备配置于所述第一面的第一电极和配置于所述第二面的第二电极，并通过将来自所述控制部的驱动信号输入所述第二电极而使所述压电体振动；以及检测用电极，具备配置于所述第一面的第三电极和配置于所述第二面的第四电极，并将与所述压电体的振动对应的检测信号经由所述第四电极输出至所述控制部，在所述第一面上，所述第一电极与所述第三电极分离，并且，在所述第二面上，所述第二电极与所述第四电极分离。
压电驱动装置机器人以及打印机

[发明专利]编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器-CN201811264212.5有效
发明人： 小西晃雄 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-10-26 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01D5/347 文献下载
摘要：本发明提供能够一面实现低成本化、一面提高检测精度的编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器，另外，提供具备该编码器标尺的编码器、机器人、电子部件输送装置、打印机以及投影仪。编码器标尺其特征在于，具备板状的基材、以及设于所述基材的一面并排列有第一区域和第二区域的光学图案，所述第一区域具有配置于所述基材上并构成为包括感光性树脂的树脂层、以及配置于所述树脂层上并由金属材料构成的金属膜，所述第一区域的表面将以所述基材的厚度方向为法线的第一面作为主体而构成，所述第二区域的表面将相对于所述第一面倾斜的第二面作为主体而构成。
编码器标尺制造方法以及

[发明专利]编码器标尺及其制造方法、编码器、机器人以及打印机-CN201810407213.4有效
发明人： 小西晃雄;荒川豊 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： G01D5/347 文献下载
摘要：本申请提供编码器标尺及其制造方法、编码器、机器人以及打印机，所述编码器标尺及其制造方法能够在实现低成本化的同时提高检测精度。所述编码器、机器人以及打印机具备所述编码器标尺。编码器标尺的特征在于包括：板状的基材；以及光学图案，设置于所述基材的一侧的面，交替排列有第一区域和第二区域。由以所述基材的厚度方向为法线的第一面构成所述第一区域的主体，由相对于所述第一面倾斜的第二面构成所述第二区域的主体。
编码器标尺及其制造方法机器人以及打印机

[发明专利]振子及制造方法、压电致动器及电机、机器人及输送装置-CN201710729237.7有效
发明人：荒川豊;古谷昇;小西晃雄 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2017-08-23 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本申请一种振子及制造方法、压电致动器及电机、机器人及输送装置，其振子能够容易地与外部电连接。该振子具有：振动部，具备一对振动基板以及配置在所述一对振动基板之间的压电体；支承部，具备一对支承基板以及配置在所述一对支承基板之间的基板间部；以及布线，配置于所述振动部和所述支承部，所述布线从所述支承部露出。
制造方法压电致动器电机机器人输送装置

[发明专利]膜结构体、压电体膜及超导体膜-CN201980093697.2在审
发明人：木岛健;小西晃雄 -专利权人：前进材料科技株式会社
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：根据本发明，对于各种压电材料，能够将具有单晶的晶体结构的压电体膜形成在本发明的膜结构体之上。本发明的膜结构体具备：基板；形成于所述基板上的、含氧化锆的具有四方晶的晶体结构的缓冲膜；形成于所述缓冲膜上的、外延生长的含铂族元素的金属膜；以及形成于所述金属膜上的、外延生长的含Sr(Ti1‑x，Rux)O3(0≤x≤1)的膜。
膜结构压电超导体

[发明专利]膜结构体-CN202010219883.0在审
发明人：木岛健;小西晃雄 -专利权人：前进材料科技株式会社
申请日： 2020-03-25 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明提供一种膜结构体，能够使含有锆钛酸铅的压电膜的压电特性提高。膜结构体(構造体)具有：基体(11)；形成于基体(11)上，并且含有锆钛酸铅的下部压电膜(21)；形成于下部压电膜(21)上，并且含有锆钛酸铅的上部压电膜(22)。基体(11)具有压缩应力，下部压电膜(21)和上部压电膜(22)均具有拉伸应力，下部压电膜(21)的弹性常数大于上部压电膜(22)的弹性常数。
膜结构

[发明专利]微机电系统装置、压电致动器、以及超声波电机-CN201710481252.4在审
发明人：山田大介;平井荣树;小西晃雄 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2017-06-22 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：本发明提供一种电压下降等得到抑制的输出较高的MEMS装置、压电致动器、以及超声波电机。MEMS装置的特征在于，从基板(24)的第一面(39)侧起依次层叠了第一电极层(28)、压电体层(29)、以及第二电极层(30)而构成，在基板(24)的与第一面(39)相反的一侧的第二面(40)上层叠有第一配线层(28)，第一电极层(28)与第一配线层(34)经由贯穿基板(24)的贯穿配线(37)而被连接。
微机系统装置压电致动器以及超声波电机

[发明专利]压电驱动装置及其制造方法、马达、机器人以及泵-CN201610851955.7在审
发明人： 小西晃雄;梶野喜一;古谷升 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2016-09-26 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： H01L41/08 文献下载
摘要：本发明提供压电驱动装置及其制造方法、马达、机器人以及泵。压电驱动装置包含基板；压电元件，其具有设置于上述基板上的第一电极、设置于上述第一电极上的压电体层、设置于上述第一压电体层上的第二电极；在俯视面中沿上述基板的外周设置且与上述第一电极电连接的含铜的层；以及以覆盖上述含铜的层的方式设置的含镍和磷的导电层。
压电驱动装置及其制造方法马达机器人以及

[发明专利]压电驱动装置、机器人以及压电驱动装置的驱动方法-CN201610423946.8在审
发明人：荒川丰;小西晃雄;桥本泰治;宫泽修;岩崎友寿;露木幸一郎 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2016-06-15 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： H02N2/10 文献下载
摘要：本发明涉及压电驱动装置、机器人以及压电驱动装置的驱动方法，目的在于减少来自压电元件的驱动力的传递损失。压电驱动装置(10)具备振动体(210)、与上述振动体(210)一体地形成的支承部(220)、以及在上述振动体(210)的至少一个面上由第一电极膜(130)、压电体膜(140)以及第二电极膜(150)形成的压电元件(110)。
压电驱动装置机器人以及方法

[发明专利]压电驱动装置、机器人及机器人的驱动方法-CN201610059932.2在审
发明人：荒川丰;小西晃雄 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2016-01-28 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： H02N2/12 文献下载
摘要：本发明涉及压电驱动装置，具备对被驱动部件进行驱动的多个压电驱动部，上述多个压电驱动部分别具有：振动板；压电振动体，其设置于上述振动板；以及接触部件，其能够与上述被驱动部件接触，上述多个压电驱动部分类为第一压电驱动部组和第二压电驱动部组，上述第一压电驱动部组具有的多个压电驱动部的各接触部件被配置在相对于上述被驱动部件的移动中心轴或移动中心线呈对称的位置，上述第二压电驱动部组所具有的多个压电驱动部的各接触部件被配置在相对于上述被驱动部件的移动中心轴或移动中心线呈对称的位置，上述第一压电驱动部组的上述各接触部件按压上述被驱动部件的时机和上述第二压电驱动部组的上述各接触部件按压上述被驱动部件的时机不同。
压电驱动装置机器人方法

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