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- [实用新型]一种石墨加热器-CN201921092554.3有效
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小仓浩昭;黄建明;朱林杰;詹国彬
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上海东洋炭素有限公司
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2019-07-12
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2020-04-03
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H05B3/02
- 本实用新型实施例公开了一种石墨加热器,应用于单晶炉的加热,包括加热器本体,所述加热器本体的外壁上设有多个开槽,所述开槽的槽底为圆弧形,取开槽槽底的半径为R,取开槽的槽宽为W,则R大于W/2。本实用新型通过对现有设有开槽的加热器进行改进,在不改变槽宽的情况下,将相当于槽宽的槽底半径增大,使槽底附近的电流路径长度增加,缩小槽底附近的电流路径与远离槽底的电流路径长度差异,从而降低槽底处的电流密度,在保证热场能够正常运作的基础上,有效解决了加热器的槽底由于电流密度大,在工作时消耗会比其它部位更严重的现象,提高了加热器的使用寿命。
- 一种石墨加热器
- [实用新型]一种多瓣石墨坩埚-CN201921092566.6有效
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小仓浩昭;黄建明;朱林杰;詹国彬
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上海东洋炭素有限公司
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2019-07-12
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2020-04-03
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C30B35/00
- 本实用新型实施例公开了一种多瓣石墨坩埚,包括多块相同的瓣体,多块所述瓣体两两相连构成埚体,并且相邻的两块瓣体之间形成有接缝,所述石墨坩埚的接缝处嵌入有保护垫,所述保护垫设置在石墨坩埚底部边缘的圆角处。本实用新型实施例通过在石墨坩埚的接缝内,位于底部上容易发生断裂的圆角处嵌入保护垫片,使得石墨坩埚在高温工作时原本会经过整个接缝处的气体被阻挡在保护垫片上,从而让坩埚在使用后不会整个接缝边缘都发生氧化(仅保护垫片内侧会有氧化现象),从而在保证热场能够正常运作的基础上,有效解决石墨坩埚在高温下与硅蒸气、氧化硅气体等发生氧化反应使得外石墨坩埚的接缝边缘部位损耗严重,影响坩埚的使用寿命的问题。
- 一种石墨坩埚
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