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[发明专利]层积体制造装置和自组装单分子膜的形成方法-CN202280007796.6在审
发明人：菅沼直登;寺田丰治;山原基裕;登尾一幸;田口贡士 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B01J19/08 文献下载
摘要：本发明提供一种能够在基板表面形成高密度的自组装单分子膜的层积体制造装置。具体而言，层积体制造装置具备：真空腔，其容纳基板；气体导入口，其向真空腔内导入气体；以及等离子体产生部，其在真空腔内形成等离子体气氛，该层积体制造装置构成为具有下述模式：表面亲水化模式，在向真空腔内供给了赋予亲水性基团的蒸发源的状态下，利用由等离子体产生部形成的等离子体气氛对基板的膜形成面进行改性，使该膜形成面亲水化；以及自组装模式，在真空腔内为在真空中、供给有促进自组装单分子膜的前体材料的水解的蒸发源的状态下，对膜形成面被亲水化了的基板供给自组装单分子膜的前体材料的蒸发源，从而在亲水化的膜形成面上形成自组装单分子膜。
层积体制装置组装分子形成方法

[发明专利]安装方法和安装装置-CN201880082929.X有效
发明人：新井义之;寺田丰治 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：提供安装方法和安装装置，将半导体芯片高精度且稳定地安装于电路基板。具体而言，依次执行如下的工序：第1转移工序，在半导体芯片(1)的第2面侧准备第1粘接片(4a)，使激光(11)透过载体基板(2)而照射至半导体芯片(1)的第1面，从而按照使半导体芯片(1)从载体基板(2)剥离而粘贴于第1粘接片(4a)上的方式使半导体芯片(1)转移至第1粘接片(4a)，其中，所述第2面是与所述第1面相反的一侧的面；第2转移工序，在半导体芯片(1)的第1面侧准备第2粘接片(4b)，使激光(11)透过第1粘接片(4a)而照射至半导体芯片(1)的第2面，从而按照使半导体芯片(1)从第1粘接片(4a)剥离而粘贴于第2粘接片(4b)上的方式使半导体芯片(1)转移至第2粘接片(4b)；以及安装工序，由头(32)对第2粘接片(4b)的未转移有半导体芯片(1)的这一侧的面进行保持，借助头(32)而将半导体芯片(1)与电路基板(6)热压接，从而将半导体芯片(1)安装于电路基板(6)。
安装方法装置

[发明专利]太阳能电池模块的制造装置及其制造方法-CN201280010169.4有效
发明人：岩出卓;寺田丰治;中北和德 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2012-02-13 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：在对太阳能电池单元以其边缘部彼此重叠的方式并排排列多个时，为了防止单元呈浮起状态，该制造装置包括：能够保持作为载物台（10）载置对象的单元（2）的一部分（21）的保持部（11），和使保持部（11）以单元（2）的长边方向为移动方向在载物台（10）上进退移动的移动单元（12）。其中，将所前进的保持部（11）保持的单元（2）前方侧的端部（22）吸附于载物台（10）后，在解除通过该保持部（11）的单元（2）的保持状态下，使该保持部11后退。在使保持部（11）后退时，按压部件（13）在被载物台（10）上吸附而经过的单元（2）上面上通过，由此向载物台（10）一侧的方向按压单元（2）的浮起部分。
太阳能电池模块制造装置及其方法

[发明专利]太阳能电池模块及其制造方法-CN201180061411.6有效
发明人：岩出卓;寺田丰治;中北和德;酒井博史;津田雄一郎 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2011-10-04 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种太阳能电池模块及其制造方法，提供能够防止在太阳能电池单元之间发生短路的简单的结构，具体而言，在所述太阳能电池模块中，多个在一个方向上长的太阳能电池单元(2-1、2-2、2-3)并排排列，所述太阳能电池单元包括下导电层、上导电层以及这些上下导电层之间的半导体层，相邻的太阳能电池单元的边缘部彼此重叠而电连接，各太阳能电池单元包括：在两端部中实施防止所述上导电层和所述下导电层发生短路处理的端部处理区域(A1)，和位于其中央侧的实际进行光电转换的主发电区域(A2)，在所述太阳能电池单元的边缘部上重叠的另一所述太阳能电池单元的边缘部重叠在位于下面的太阳能电池单元的主发电区域(A1)的范围内。
太阳能电池模块及其制造方法