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[发明专利]制造声波装置的方法和声波装置-CN201710499132.7有效
发明人：中村健太郎;松仓史弥;高桥直树;松田隆志;宫下勉 -专利权人：太阳诱电株式会社
申请日： 2017-06-27 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：制造声波装置的方法和声波装置。一种声波装置制造方法包括以下步骤：在压电基板上形成梳状电极和联接到梳状电极的布线层；在压电基板上形成第一电介质膜，该第一电介质膜具有比梳状电极和布线层的厚度大的膜厚度，并且覆盖梳状电极和布线层，并且由掺杂有其他元素的氧化硅或未经掺杂的氧化硅形成；在第一电介质膜上形成第二电介质膜，该第二电介质膜在布线层上方具有开口；通过使用蚀刻液的湿法蚀刻去除由第二电介质膜的开口露出的第一电介质膜，该蚀刻液使得第二电介质膜的蚀刻速率小于第一电介质膜的蚀刻速率，使得第一电介质膜残存以覆盖布线层的端面和梳状电极。
制造声波装置方法

[发明专利]电子部件、其制造方法和具备电子部件的电子器件-CN201180042292.X有效
发明人：井上和则;岩城匡郁;宫下勉;松本一宏 -专利权人：太阳诱电株式会社
申请日： 2011-04-08 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明提供一种电子部件，其具备：设置于压电基板（10）的串联谐振子（12）和并联谐振子（14）；设置于压电基板（10）上的、与串联谐振子（12）和并联谐振子（14）电连接的信号配线（20）；金属板（28），在串联谐振子（12）和并联谐振子（14）的梳型电极（18）的电极指上具有空腔（32），该金属板（28）以覆盖空腔（32）的上面的方式设置；设置于压电基板（10）上不位于信号配线（20）上的部分，支承金属板（28）的支承柱（30）；和覆盖金属板（28）和支承柱（30），并且与空腔（32）的侧面接触的绝缘部（34）。
电子部件制造方法具备电子器件

[发明专利]电子组件、电子装置以及电子组件的制造方法-CN201210076543.2无效
发明人：井上和则;宫下勉;松本一宏 -专利权人：太阳诱电株式会社
申请日： 2012-03-21 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：公开了一种电子组件、电子装置以及电子组件的制造方法。该电子组件包括：基板；设置在基板上的功能部；设置在基板上并且电连接到功能部的互连线；设置在基板上以围绕功能部和互连线的金属壁；以及密封部，该密封部接触金属壁并且覆盖功能部和互连线以在功能部上方限定腔室，该密封部由液晶聚合物制成。
电子组件装置以及制造方法

[发明专利]角速度传感器-CN200610128999.3无效
发明人：太田和弘;细川季展;田中浩;谷内雅纪;宫下勉;石川宽 -专利权人：富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社
申请日： 2006-09-06 - 公布日： 2007-03-14 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括感测角速度的振动器、以及安装有所述振动器的外壳。所述振动器布置在所述外壳中，以使得该振动器的宽度方向与所述外壳的长边方向一致。所述振动器可附着于所述外壳，以使得该振动器相对于垂直方向倾斜。
角速度传感器

[发明专利]角速度传感器-CN200610078626.X无效
发明人：太田和弘;细川季展;田中浩;谷内雅纪;宫下勉;石川宽 -专利权人：富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社
申请日： 2006-04-26 - 公布日： 2006-11-01 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：一种角速度传感器，包括检测角速度的振动器和其上安装有该振动器的外壳。所述振动器沿着所述外壳的对角方向布置。所述角速度传感器包括支撑所述外壳的电路板。所述振动器附接在所述电路板上，以使得所述振动器相对于垂直方向以预定角度倾斜。
角速度传感器

[发明专利]角速度传感器-CN200610073334.7无效
发明人：田中浩;细川季展;太田和弘;谷内雅纪;宫下勉;石川宽 -专利权人：富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社
申请日： 2006-03-31 - 公布日： 2006-10-04 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：一种角速度传感器，包括：音叉谐振器，其具有从基底延伸的多个臂；支撑所述基底的单引线框架；以及支撑所述单引线框架的外壳。所述外壳和引线框架在它们之间限定了空间。
角速度传感器

[发明专利]加速度传感器-CN200510084468.4无效
发明人：町田敦司;山田澄夫;田中浩;爱泽尚德;永田宪治;宫下勉;石川宽 -专利权人：富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社
申请日： 2005-07-08 - 公布日： 2006-05-17 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：提供了一种加速度传感器，其抑制了偏移电压的波动并且具有改善的温度特性。该加速度传感器包括：形成在半导体基板中央的重物；形成在重物周边的框架；连接重物和框架的梁或隔膜；检测元件，其形成在梁或隔膜上并且检测与施加的加速度对应的梁或隔膜的弯曲；以及引线，形成在梁或隔膜上并且将所述检测元件的检测输出引导到设置在框架上的焊盘，其中，在梁或隔膜上形成包括与形成在梁或隔膜上的配线引线独立的多个点状图案的伪引线。
加速度传感器

[发明专利]电接点装置-CN03826489.7无效
发明人：若月升;米泽游;佐藤良夫;中谷忠司;宫下勉 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2003-05-20 - 公布日： 2006-05-10 - 主分类号： H01H9/54 文献下载
摘要：电接点装置(X1)具有：第一接触件，其具有接点部(C1、C2)；第二接触件，其具有与接点部(C1)相对向的接点部(C3)及与接点部(C2)相对向的接点部(C4)；电路结构(Y1)，其并列设置有支路(YA)和支路(YB)，支路(YA)含有由接点部(C1、C3)构成的电接点(SA)，且在电接点(SA)的关闭状态下具有相对低的电阻，支路(YB)含有由接点部(C2、C4)构成的电接点(SB)，且在电接点(SB)的关闭状态下具有相对高的电阻。在第一接触件以及第二接触件接近的闭合动作中，在接点部(C2)与接点部(C4)接触之后，接点部(C1)与接点部(C3)接触。在第一接触件以及第二接触件分开的打开分离动作中，在接点部(C1)和接点部(C2)分离之后，接点部(C2)与接点部(C4)分离。
接点装置

[发明专利]加速度传感器-CN200510068900.0无效
发明人：田中浩;石川宽;永田宪治;小野正明;宫下勉;山田澄夫 -专利权人：富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社
申请日： 2005-05-11 - 公布日： 2006-05-03 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：加速度传感器。该加速度传感器减少了噪声，可以解决由于热膨胀系数差异而出现的应力问题。该加速度传感器检测三维坐标系统中的三个轴向的加速度，包括：具有四个侧面的框架，通过半导体基板一体形成；重物部分，位于该框架中；和四个梁部分，分别与四个侧面中的每一个相对应，所述梁部分的一端连接到重物部分上以支撑该重物部分，另一端连接到四个侧面的相应侧面的中心，在四个梁部分的每一个上形成检测元件，该检测元件检测与作用在重物部分上的加速度相对应的梁部分的挠曲；在框架的四个侧面的每一个上形成有接合部分对，在该接合部分对之间形成有间隙；在一个侧面上形成的所述接合部分对之间的间隙相对该侧面的中心对称，并具有预定的长度。
加速度传感器

[发明专利]双工器-CN200510105173.0有效
发明人：岩城匡郁;堤润;西原时弘;坂下武;谷口真司;横山刚;上田政则;宫下勉 -专利权人：富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社
申请日： 2005-09-28 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： H03H9/54 文献下载
摘要：双工器包括：第一和第二滤波器，包括按梯型形式布置的多个膜体声学谐振器；第一和第二集成无源器件，置于公共端子与第一和第二滤波器之间；以及基板，第一和第二滤波器以及第一和第二集成无源器件安装在其上。该基板包括用于实现连接在第一和第二滤波器与地之间的电感的导电图案。第一和第二集成无源器件包括连接到第一和第二滤波器的电感器。
双工器

[发明专利]压电薄膜谐振器和滤波器及其制造方法-CN200510076089.0有效
发明人：谷口真司;西原时弘;坂下武;横山刚;岩城匡郁;上田政则;宫下勉 -专利权人：富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社
申请日： 2005-05-31 - 公布日： 2006-01-04 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：压电薄膜谐振器和滤波器及其制造方法。一种压电薄膜谐振器，其包括：器件基板；以及层状体，设置在所述器件基板上，并由下电极、上电极，以及夹在该上电极和下电极之间的压电膜构成。该层状体具有膜部分，其中所述上电极通过所述压电膜与所述下电极彼此重叠，在所述器件基板和所述下电极之间形成穹顶形的间隙，并且该间隙位于该膜部分的下方。
压电薄膜谐振器滤波器及其制造方法

[发明专利]谐振器、滤波器以及谐振器的制造-CN200510063776.9有效
发明人：横山刚;西原时弘;坂下武;谷口真司;岩城匡郁;上田政则;宫下勉 -专利权人：富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社
申请日： 2005-03-31 - 公布日： 2005-10-05 - 主分类号： H03H9/15 文献下载
摘要：谐振器、滤波器以及谐振器的制造。该谐振器包括：设置在基板主表面上的压电薄膜；设置在压电薄膜的第一表面上的第一电极膜；设置在压电薄膜第二表面上的第二电极膜；设置在所述第一电极膜和所述第二电极膜其中之一上的频率调整膜；所述频率调整膜包括膜叠层，该膜叠层包括设置在第一电极膜和第二电极膜其中之一上的第一调整膜，以及设置在第一调整膜上的第二调整膜。第一调整膜用于Δf调整，第二调整膜用于校正滤波器制造工艺中生成的频率偏移。由此，可以准确地控制其中连接有多个谐振器的滤波器的中心频率。
谐振器滤波器以及制造

[发明专利]具有多轴传感器的力传感器装置及其应力检测方法-CN200510063778.8无效
发明人：花泽敏夫;小野正明;宫下勉;德永博司;石川宽 -专利权人：富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社
申请日： 2005-04-01 - 公布日： 2005-10-05 - 主分类号： G01L1/00 文献下载
摘要：本发明提供用于具有多轴传感器的力传感器装置的应力检测方法和采用此方法的力传感器装置，所述力传感器装置的安装角度是任意的。该应力检测方法包括：检测轴相互正交的第一和第二力传感器。当第一力传感器的检测轴与被检测应力Ax的方向形成角度θ，并且在与被检测应力Ax的方向相垂直的方向上的应力分量是Az时，求得第一力传感器的轴方向的输出Apx为Apx＝α求得第二力传感器的轴方向的输出Apz为Apz＝α当α_x和α传感器的检测灵敏度系数时，将第二力传感器的检测灵敏度系数α_z设置为αAx＝(Apx－Apz)/α_x (cosθ－tanθ×sinθ)。
具有传感器装置及其应力检测方法

[发明专利]微开关元件的制备方法及微开关元件-CN200410069883.8有效
发明人：中谷忠司;宫下勉 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2004-07-15 - 公布日： 2005-08-31 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种用于制造微开关元件的方法。该开关包括一衬底、两个固定到衬底的支撑构件、以及一桥接在支撑构件之间的活动梁。该梁包括一隔膜，一活动接触电极以及一活动驱动电极，活动接触电极和活动驱动电极都设置在隔膜上。该开关元件也包括一对面向活动接触电极的固定接触电极、以及一固定驱动电极，其与活动驱动电极一起用于产生静电力。该方法包括在衬底上制造牺牲层的步骤、在牺牲层上制造隔膜的步骤、以及通过隔膜介入蚀刻牺牲层的步骤，以便在衬底和隔膜之间牺牲层的剩余部分形成为支撑构件。
开关元件制备方法

[发明专利]压电薄膜谐振器以及使用其的滤波器-CN200410087742.9有效
发明人：西原时弘;横山刚;坂下武;岩城匡郁;宫下勉 -专利权人：富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社
申请日： 2004-10-20 - 公布日： 2005-04-27 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：压电薄膜谐振器以及使用其的滤波器。压电薄膜谐振器包括：基板；设置在基板上的下电极；设置在下电极上的压电膜；以及设置在压电膜上的上电极。上电极隔着压电膜与下电极相交叠的区域具有椭圆形状，且满足1＜a/b＜1.9的条件，其中a为该椭圆形状的主轴，b为其副轴。
压电薄膜谐振器以及使用滤波器

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