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[发明专利]MgIn₂O₄/MgO复合衬底材料及其制备方法-CN03141904.6无效
发明人：徐军;周圣明;杨卫桥;彭观良;李抒智;周国清;宋词;杭寅;蒋成勇;赵广军;司继良 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2003-07-29 - 公布日： 2004-03-17 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：一种MgIn₂O₄/MgO复合衬底材料及其制备方法，该复合衬底材料是在MgO单晶上设有一层MgIn₂O₄覆盖层构成。该复合衬底材料的制备方法是：先利用脉冲激光淀积方法在MgO单晶衬底上制备In₂O₃薄膜，然后在高温下，通过In₂O₃与MgO的固相反应，在MgO单晶衬底上形成MgIn₂O₄覆盖层。本发明的复合衬底材料的制备工艺简单、易操作，此种结构的复合衬底(MgIn₂O₄/MgO)适合于高质量GaN的外延生长。
mgin sub mgo 复合衬底材料及其制备方法

[发明专利]复合激光晶体的生长方法-CN03141528.8无效
发明人：徐军;宋词;杭寅;周国清;周圣明 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2003-07-11 - 公布日： 2004-02-25 - 主分类号： C30B7/10 文献下载
摘要：一种复合激光晶体的生长方法，其特征是采用水热法直接在掺杂YAG激光单晶的两端生长YAG晶体，形成复合激光晶体材料。采用高压釜和与之配套的电阻炉，通过合理的温场设计，使反应腔内的生长区和溶解区的温度合适，使高温高压的YAG水溶液达到一定的过饱和度，当容器内的溶液由于上下部之间的温差而产生对流时，高温区的饱和YAG水溶液被送到低温区的YAG激光单晶的衬底籽晶片的两个界面上生长一定厚度的YAG体单晶。利用本发明可以将Nd∶YAG(或Yb∶YAG)与YAG直接生长在一起，晶格不失配，所生长的YAG/Nd∶YAG(或Yb∶YAG)/YAG两种晶体间无明显分界，晶体完整性好，重复性好。
复合激光晶体生长方法

[发明专利]γ－LiAlO₂/α－Al₂O₃复合衬底材料的制备方法-CN03129602.5有效
发明人：徐军;王海丽;周圣明;杨卫桥;彭观良;周国清;蒋成勇;宋词;杭寅;司继良;赵广军 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2003-06-27 - 公布日： 2004-02-18 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种γ－LiAlO₂/α－Al₂O₃复合衬底材料的制备方法，包括如下具体步骤：在铂金坩埚内，放置有带气孔的LiAlO₂和Li₂O混合料块；将双面抛光或单面抛光的蓝宝石α－Al₂O₃晶片置于或悬于铂金丝上，加上覆盖有LiAlO₂和Li₂O混合粉料和热电偶的坩埚盖，坩埚顶部加铂金盖密闭，置于电阻炉中；该电阻炉加热升温至1000～1400℃左右，恒温20～100小时，Li₂O扩散到α－Al₂O₃晶片中，降温后可得到LiAlO₂/α－Al₂O₃复合衬底材料。本发明克服了α－Al₂O₃衬底晶格失配度大和难以获得大尺寸高质量LiAlO₂单晶衬底等问题，可用于生长高质量InN－GaN薄膜外延生长。
lialo sub al 复合衬底材料制备方法

[发明专利]ZnAl₂O₄/α－Al₂O₃复合衬底材料的制备方法-CN03129601.7无效
发明人：徐军;王海丽;周圣明;杨卫桥;彭观良;周国清;宋词;杭寅;蒋成勇;司继良;赵广军 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2003-06-27 - 公布日： 2004-02-18 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种ZnAl₂O₄/α－Al₂O₃复合衬底材料的制备方法，包括下列步骤：在铂金坩埚内，放置有带气孔的ZnAl₂O₄和ZnO混合料块；将双面抛光或单面抛光的蓝宝石α－Al₂O₃晶片，置放或悬挂于铂金丝上，加上覆盖有ZnAl₂O₄和ZnO混合粉料和热电偶的坩埚盖，坩埚顶部加铂金盖密闭后置于电阻炉中；电阻炉加热升温至1000～1400℃，恒温20～100小时，ZnO扩散到α－Al₂O₃晶片中；降温，可获得ZnAl₂O₄/α－Al₂O₃复合衬底材料。本发明的优点是工艺简单、易操作、质量稳定，可用于InN－GaN基蓝光半导体外延生长。
znal sub al 复合衬底材料制备方法

[发明专利]祖母绿和绿柱石复合激光晶体的生长方法-CN03128937.1无效
发明人：宋词;徐军;周圣明;杭寅 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2003-05-30 - 公布日： 2003-12-10 - 主分类号： C30B7/00 文献下载
摘要：一种祖母绿和绿柱石复合激光晶体的生长方法，该方法的实质是高温高压下的绿柱石(Be3Al2Si6O18)水溶液达到一定的过饱和度，在祖母绿(Cr：Be3Al2Si6O18)衬底晶片籽晶上与水溶液接触的两个界面上生长等厚的Be3Al2Si6O18体单晶。本发明方法生长的祖母绿和绿柱石复合激光晶体，其Cr∶Be3Al2Si6O18与Be3Al2Si6O18直接生长在一起，不存在晶格失配，没有明显界面，光损耗很小。本发明适宜批量生产，满足可调谐激光器件制造上的市场需求。
祖母绿柱石复合激光晶体生长方法

[发明专利]掺钛蓝宝石和蓝宝石复合激光晶体的生长方法-CN03114821.2有效
发明人：徐军;宋词 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2003-01-10 - 公布日： 2003-06-25 - 主分类号： C30B7/10 文献下载
摘要：一种掺钛蓝宝石和蓝宝石复合激光晶体的生长方法，是采用水热法生长炉在掺钛蓝宝石的衬底单晶片两端面生长等厚的纯蓝宝石单晶构成复合激光晶体，经实验证明，制成全固态连续激光器，激光阈值降低10％，激光输出效率提高5％，具有较好的应用前景。
蓝宝石复合激光晶体生长方法

[发明专利]掺钕钒酸钇和钒酸钇复合激光晶体的生长方法-CN03114819.0无效
发明人：徐军;宋词 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2003-01-10 - 公布日： 2003-06-25 - 主分类号： C30B7/10 文献下载
摘要：一种掺钕钒酸钇和钒酸钇复合激光晶体的生长方法，采用水热法生长炉在掺钕钒酸钇单晶两端生长不掺杂的钒酸钇单晶而成，晶体完整性好，将其切割、加工后制成激光器，该激光器在小型化、高效率、低阈值固体激光领域有广阔的应用前景。
掺钕钒酸钇钒酸钇复合激光晶体生长方法