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[发明专利]卡盘结构及反应腔室-CN201910143676.9有效
发明人： 宋智燕 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供的卡盘结构及反应腔室，其包括自下而上依次叠置的基座、隔热层和卡盘本体，还包括第一紧固结构和第二紧固结构，其中，第一紧固结构用于使隔热层与卡盘本体固定连接，且仅与隔热层与卡盘本体相接触；第二紧固结构用于使隔热层与基座固定连接，且仅与隔热层与基座相接触。本发明中，每两个相邻层之间相互固定，且用于固定的紧固结构不与另一层相接触，从而避免了卡盘本体通过紧固结构将热量传递至基座，避免因基座升温致使的真空波纹管、射频器件、密封圈等元器件的寿命降低的问题，延长卡盘结构的使用寿命。
卡盘结构反应

[发明专利]传输装置、传输腔室及防止机械手腐蚀的方法-CN201910604844.X有效
发明人： 宋智燕 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种传输装置、传输腔室及防止机械手腐蚀的方法。该传输装置包括输送气路，所述输送气路的出气端设置在所述传输腔室内机械手的外表面上，或者位于所述机械手的附近，用以通过输出保护气体，而在所述机械手周围形成气体保护层。采用本发明可以对传输腔室内的机械手起到了有效的防腐蚀效果，使得一些关键零部件可以从损耗件变成长期使用零件，不需要定期更换，降低了机台的维护成本。且增设输送气路，基本不会影响机台的正常使用，对现有机台的改造比较方便，成本较低。
传输装置防止机械手腐蚀方法

[发明专利]流路互锁结构、进气装置及半导体加工设备-CN201910391563.0在审
发明人： 宋智燕;陈景春 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种流路互锁结构、进气装置及半导体加工设备，该流路互锁结构包括常闭开关、常开开关和互锁装置，其中，在至少两条流路中，每条流路上均设置有至少一个常闭开关和至少一个常开开关；互锁装置用于使指定流路上的至少一个常闭开关与其他流路中的至少一条流路上的至少一个常开开关同步动作；同时，使指定流路上的至少一个常开开关与其他流路中的至少一条流路上的至少一个常闭开关同步动作。本发明提供的流路互锁结构，其可以在软件互锁的基础上增加一道硬件互锁，从而可以提高互锁的可靠性。
互锁结构装置半导体加工设备

[实用新型]联动式边组织开口机构-CN201420143628.2有效
发明人：袁树信;袁立安;宋智燕 -专利权人：经纬纺织机械股份有限公司
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： D03C11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种联动式边组织开口机构，包括设置在机架墙板顶面上的横梁，所述横梁上设置有用于固定上导轮的右导轮座、双导轮座和左导轮座，所述上导轮用于支撑尼龙钢丝绳，所述尼龙钢丝绳的一端经过所述上导轮与拉簧相连接，另一端固定在开口臂上，所述拉簧通过弹簧座固定在机架墙板上，所述双导轮座下方设置有用于固定下导轮的下导轮支架，所述双导轮座和下导轮支架之间设置有导轨，所述导轨的两侧设置有用于固定综丝挂架组件的滑块，所述滑块通过牵拉绳索沿导轨上下运动。所述联动式边组织开口机构能够同时驱动左、右两套或左、中、右三套甚至左、中1、中2、右四套边组织开口综丝挂架联动，简单方便，大幅度降低了制造成本和维护难度。
联动组织开口机构

[发明专利]联动式边组织开口机构-CN201410119359.0无效
发明人：袁树信;袁立安;宋智燕 -专利权人：经纬纺织机械股份有限公司
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2014-07-16 - 主分类号： D03C11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种联动式边组织开口机构，包括设置在机架墙板顶面上的横梁，所述横梁上设置有用于固定上导轮的右导轮座、双导轮座和左导轮座，所述上导轮用于支撑尼龙钢丝绳，所述尼龙钢丝绳的一端经过所述上导轮与拉簧相连接，另一端固定在开口臂上，所述拉簧通过弹簧座固定在机架墙板上，所述双导轮座下方设置有用于固定下导轮的下导轮支架，所述双导轮座和下导轮支架之间设置有导轨，所述导轨的两侧设置有用于固定综丝挂架组件的滑块，所述滑块通过牵拉绳索沿导轨上下运动。所述联动式边组织开口机构能够同时驱动左、右两套或左、中、右三套甚至左、中1、中2、右四套边组织开口综丝挂架联动，简单方便，大幅度降低了制造成本和维护难度。
联动组织开口机构

[实用新型]一种具备机械自锁功能的毛巾织机起毛圈机构-CN201320471292.8有效
发明人：袁树信;宋智燕 -专利权人：经纬纺织机械股份有限公司
申请日： 2013-08-02 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： D03D51/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种具备机械自锁功能的毛巾织机起毛圈机构，包括曲柄摇杆机构、机前侧双摇杆机构和机后侧双摇杆机构，所述曲柄摇杆机构包括依次相连的曲柄、连杆、摇杆和摇轴，所述摇轴与双摇杆机构的双驱摇杆相连接，所述曲柄摇杆机构在曲柄和连杆在共线位置时，机后侧双摇杆机构产生的逆向力施加到曲柄的力矩为零，用于抵消机构出现的偏移趋势。本实用新型简单可靠性高，能提高织机运行效率和保证织物质量。
一种具备机械功能毛巾织机起毛机构

[发明专利]一种具备机械自锁功能的毛巾织机起毛圈机构及织造方法-CN201310334638.4有效
发明人：袁树信;宋智燕 -专利权人：经纬纺织机械股份有限公司
申请日： 2013-08-02 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： D03D51/02 文献下载
摘要：本发明提供一种具备机械自锁功能的毛巾织机起毛圈机构及其织造方法，包括曲柄摇杆机构、机前侧双摇杆机构和机后侧双摇杆机构，所述曲柄摇杆机构包括依次相连的曲柄、连杆、摇杆和摇轴，所述摇轴与双摇杆机构的双驱摇杆相连接，所述曲柄摇杆机构在曲柄和连杆在共线位置时，机后侧双摇杆机构产生的逆向力施加到曲柄的力矩为零，用于抵消机构出现的偏移趋势。所述机构在引起圈纬循环的最后一纬的过程中，伺服电机反转使曲柄回到起始的基准位置处，机构中的所有杆件均被驱动回到起始位置，曲柄承受机后侧的逆向力，但此时施加到曲柄的力矩为零，机构在基准位置对逆向力形成自锁。本发明简单可靠性高，能提高织机运行效率和保证织物质量。
一种具备机械功能毛巾织机起毛机构织造方法

[实用新型]自然锁边织造织物-CN201220143541.6有效
发明人：袁树信;宋智燕;陈利;马小莉;李伟;余文斌 -专利权人：经纬纺织机械股份有限公司
申请日： 2012-04-06 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： D03D47/40 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种无需专门的锁边装置，具有自然锁边效果的自然锁边织造织物，包括多层织物，织物的布边包括光边和毛边，每层织物的一侧布边包括交替的两纬光边和两纬毛边。本实用新型的自然锁边织造织物，解决了现有各种锁边装置无法适应多层织物分次逐层引纬，统一一次性打纬的织造方法的织物锁边问题，通过织造工艺方法的改变达到自然锁边的良好效果，简化了织机机构，提高了织机对织物品种的适应性和织物质量，保证多层织物边部组织的机械物理性能不降低，有利于提高织物利用率，这对于原料价格昂贵的碳素纤维类多层织物尤为重要。
自然锁边织造织物

[实用新型]自动寻找梭口装置及其织机-CN201220143530.8有效
发明人：袁树信;余文斌;李伟;宋智燕;马小莉 -专利权人：经纬纺织机械股份有限公司
申请日： 2012-04-06 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： D03D47/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种能够自动寻找梭口织造多层织物的自动寻找梭口装置及其织机。本实用新型的自动寻找梭口装置，包括驱动控制单元、与所述驱动控制单元相连的伺服电机，与所述伺服电机输出轴相连的减速装置，与所述减速装置的输出轴相连的滚珠丝杠单元，与所述滚珠丝杠单元的丝杠螺母固定有剑杆传动装置。本实用新型的多层织物剑杆引纬装置，能够自动寻找梭口，使得本实用新型的多层织物织机可以实现多层织物逐层自动引纬的织造工艺；可以采用高度较低的钢筘织造多层织物；可以使织机的开口装置得到简化；使多层角联及三维织物连续自动织造成为可能。
自动寻找装置及其织机

[实用新型]无捻度变化储纬装置-CN201220143688.5有效
发明人：袁树信;李伟;余文斌;马小莉;宋智燕 -专利权人：经纬纺织机械股份有限公司
申请日： 2012-04-06 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： D03D47/34 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种在退绕、储存和引纬过程中纬纱不会发生捻度变化且对纱线磨损较轻的无捻度变化储纬装置，包括用于将纱线退绕下来的退绕装置；用于存储退绕下来的纱线的吸风储存装置；位于吸风储存装置上，用于检测纱线退绕正常的检测装置。本实用新型的无捻度变化储纬装置，伺服电机通过纱筒轴驱动纱筒转动，实现主动径向退绕纱线，使退绕过程中纬纱不会发生捻度变化；用安装在透明硬管两侧的光电对检测纬纱信号的方法；通过对2组光电对在特定时间内检测信号的处理、比对，确认储纬在某一时刻的长度，以此判定是否有引纬故障、储纱量是否正常，并根据判定结果发动织机停止运转或调整储纬电机转速，以微调储纬量，保证储纱量合理。
捻度变化装置

[实用新型]首纬纱线伸展装置-CN201220143701.7有效
发明人：袁树信;马小莉;程卫华;宋智燕;余文斌;李伟 -专利权人：经纬纺织机械股份有限公司
申请日： 2012-04-06 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： D03D47/34 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种提高织物质量，使织物获得理想的机械物理性能的首纬纱线伸展装置，包括筘座、连接杆，所述连接杆上固定有导杆导向座和导轨支座；所述导杆导向座上设有导杆，所述导杆能够在导杆导向座上滑动；所述导杆伸出导杆导向座一端设有限位连接板，所述导杆的另一端固定有主滑块，所述导杆上位于主滑块和导杆导向座之间设有复位弹簧；所述导轨支座上固定有导轨，所述导轨上设有次滑块，所述次滑块上还固定有气缸座，所述气缸座上固定有气缸，所述气缸的活塞杆自由端连接有挂针；所述气缸座上还连接有拉杆，所述拉杆的另一端连接在主滑块上。
纬纱伸展装置

[发明专利]首纬纱线伸展装置-CN201210100136.0无效
发明人：袁树信;马小莉;程卫华;宋智燕;余文斌;李伟 -专利权人：经纬纺织机械股份有限公司
申请日： 2012-04-06 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： D03D49/60 文献下载
摘要：本发明提供了一种提高织物质量，使织物获得理想的机械物理性能的首纬纱线伸展装置，包括筘座、连接杆，所述连接杆上固定有导杆导向座和导轨支座；所述导杆导向座上设有导杆，所述导杆能够在导杆导向座上滑动；所述导杆伸出导杆导向座一端设有限位连接板，所述导杆的另一端固定有主滑块，所述导杆上位于主滑块和导杆导向座之间设有复位弹簧；所述导轨支座上固定有导轨，所述导轨上设有次滑块，所述次滑块上还固定有气缸座，所述气缸座上固定有气缸，所述气缸的活塞杆自由端连接有挂针；所述气缸座上还连接有拉杆，所述拉杆的另一端连接在主滑块上。
纬纱伸展装置

[发明专利]自动寻找梭口装置及其织机-CN201210099983.X无效
发明人：袁树信;余文斌;李伟;宋智燕;马小莉 -专利权人：经纬纺织机械股份有限公司
申请日： 2012-04-06 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： D03D47/27 文献下载
摘要：本发明提供了一种能够自动寻找梭口织造多层织物的自动寻找梭口装置及其织机。本发明的自动寻找梭口装置，包括驱动控制单元、与所述驱动控制单元相连的伺服电机，与所述伺服电机输出轴相连的减速装置，与所述减速装置的输出轴相连的滚珠丝杠单元，与所述滚珠丝杠单元的丝杠螺母固定有剑杆传动装置。本发明的多层织物剑杆引纬装置，能够自动寻找梭口，使得本发明的多层织物织机可以实现多层织物逐层自动引纬的织造工艺；可以采用高度较低的钢筘织造多层织物；可以使织机的开口装置得到简化；使多层角联及三维织物连续自动织造成为可能。
自动寻找装置及其织机

[发明专利]自然锁边织造织物及其织造方法-CN201210100074.3无效
发明人：袁树信;宋智燕;陈利;马小莉;李伟;余文斌 -专利权人：经纬纺织机械股份有限公司
申请日： 2012-04-06 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： D03D47/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种无需专门的锁边装置，具有自然锁边效果的自然锁边织造织物及其织造方法。本发明的自然锁边织造织物，包括多层织物，织物的布边包括光边和毛边，每层织物的一侧布边包括交替的两纬光边和两纬毛边。本发明的自然锁边织造织物及其织造方法，解决了现有各种锁边装置无法适应多层织物分次逐层引纬，统一一次性打纬的织造方法的织物锁边问题，通过织造工艺方法的改变达到自然锁边的良好效果，简化了织机机构，提高了织机对织物品种的适应性和织物质量，保证多层织物边部组织的机械物理性能不降低，有利于提高织物利用率，这对于原料价格昂贵的碳素纤维类多层织物尤为重要。
自然锁边织造织物及其方法

[实用新型]自动换纬装置-CN201120257759.X有效
发明人：袁树信;余文斌;马小丽;宋智燕;李伟 -专利权人：经纬纺织机械股份有限公司
申请日： 2011-07-21 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： D03D45/34 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种对纬纱没有捻度变化的载纬器进行自动换纬的自动换纬装置，包括长条形基座、驱动系统、控制所述驱动系统的控制单元、可在所述基座上来回移动的载纬器库，所述载纬器库设有两个载纬器空位，其中一个所述载纬器空位一端设有脱离挡块；所述驱动系统可推动所述载纬器库在所述基座上移动。本实用新型的自动换纬装置是针对纬纱断面形状是长方形，且引纬过程中纬纱不允许有捻度变化，在织机运行过程中及时自动补充纬纱，保证织机不会因为载纬器中缺少纬纱造成织机停车的现象，最终达到使织机能连续运行，最大限度的提高织机的运行效率，提高织物的质量。
自动装置

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