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[发明专利]利用欠电位沉积和热处理对薄金属层进行电化学掺杂-CN201880058985.X有效
发明人：凯拉什·文卡特拉曼;耶兹迪·多尔迪;安鲁达哈·乔伊 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2018-09-07 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： C23C18/16 文献下载
摘要：提供了一种方法，其包括以下操作：在衬底的特征中沉积钌衬里；在所述钌衬里上沉积单层锌；在沉积所述单层锌之后，在所述衬底上执行热处理，其中所述热处理被配置为引起所述锌迁移到所述钌衬里和所述衬底的氧化物层的界面，所述锌的所述迁移在所述界面处产生粘合剂阻挡层，所述粘合剂阻挡层改善所述钌衬里与所述衬底的所述氧化层之间的粘附性；重复沉积所述单层锌并且执行所述热处理的操作，直至达到预定的循环数。
利用电位沉积热处理金属进行电化学掺杂

[发明专利]无外部电压偏置的水溶液中的选择性无电电化学电原子层沉积-CN201880053047.0有效
发明人： 安鲁达哈·乔伊;凯拉什·文卡特拉曼;耶兹迪·多尔迪 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C23C18/54 文献下载
摘要：提供了一种进行无电电化学原子层沉积的方法，并且其包括：提供包括暴露的上金属层的衬底；将所述衬底暴露于第一前体溶液中以经由欠电位沉积在所述暴露的上金属层上产生牺牲金属单层，其中所述第一前体溶液是包含还原剂的水溶液；在形成所述牺牲金属单层之后，漂洗所述衬底；在漂洗所述衬底之后，将所述衬底暴露于第二前体溶液中，以用第一沉积层置换所述牺牲金属单层，以及在用所述第一沉积层置换所述牺牲金属单层之后，漂洗所述衬底。将所述衬底暴露于所述第一前体溶液和将所述衬底暴露于所述第二前体溶液是无电工艺。
外部电压偏置水溶液中的选择性电化学原子沉积

[发明专利]金属互连结构中的掺杂工艺-CN202080091717.5在审
发明人： 安鲁达哈·乔伊;德赖斯·狄克特斯;耶兹迪·多尔迪 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：金属互连结构使用自上而下的掺杂工艺掺杂有锌、铟或镓，以改善扩散阻挡特性，且对线路电阻有最小影响。在金属化之前或金属化之后引入掺杂物。可通过在金属化之前于高温下在衬里层上进行化学气相沉积、通过在金属化之后于高温下在金属特征上进行化学气相沉积、或通过在金属化之后在铜特征上进行无电沉积来引入掺杂物。施加高温导致金属互连结构被掺杂并形成自形成阻挡层或强化现有扩散阻挡层。
金属互连结构中的掺杂工艺

[发明专利]用于衬里钝化和粘附性改善的金属衬里的锌化和掺杂-CN201980042464.X在审
发明人： 安鲁达哈·乔伊;德赖斯·狄克特斯;耶兹迪·多尔迪 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C23C16/56 文献下载
摘要：提供了一种用于在衬底的特征中形成自形成的阻挡层的方法，其包括以下操作：在所述衬底的所述特征中沉积金属衬里，所述金属衬里沉积在所述衬底的电介质上方；将含锌前体沉积在所述金属衬里上方；执行所述衬底的热浸泡；将所述含锌前体的所述沉积和所述衬底的所述热浸泡重复预定的循环次数；其中所述方法在所述金属衬里和所述电介质之间的界面形成含锌的阻挡层。
用于衬里钝化粘附改善金属掺杂

[发明专利]通过锌掺杂增强金属衬里的钝化和粘附-CN201980038040.6在审
发明人：耶迪·N·道尔迪;安鲁达哈·乔伊;史蒂文·詹姆斯·马德森;德赖斯·狄克特斯 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-05-23 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： H01L21/285 文献下载
摘要：一种方法包括：在电介质层上沉积阻挡层，以防止由于所述电介质层中存在氧化物而导致待通过电镀而沉积的金属层氧化；以及在所述阻挡层上沉积掺杂的衬里层，以与待通过所述电镀而沉积在所述衬里层上的所述金属层结合。当在所述电镀之前所述衬里层的表面暴露于空气时，所述掺杂剂在所述表面上形成保护性钝化层，并且在所述电镀期间溶解，使得通过所述电镀沉积在所述衬里层上的所述金属层与所述衬里层结合。所述掺杂剂与所述电介质层反应并且在所述阻挡层与所述电介质层之间形成化合物层。所述化合物层防止由于所述电介质层中存在的所述氧化物而导致的所述阻挡层和所述衬里层的氧化，并且将所述阻挡层粘附到所述电介质层上。
通过掺杂增强金属衬里钝化粘附

[发明专利]自形成阻挡层工艺-CN201880043608.9在审
发明人： 安鲁达哈·乔伊;耶兹迪·多尔迪 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：提供了一种方法，其包括以下操作：在衬底上执行沉积工艺，所述沉积工艺被配置为在所述衬底上的特征中沉积铜层，所述铜层以小于约30％的原子百分比掺杂有锌；在沉积所述铜层之后，对所述衬底进行退火，其中所述退火被配置为导致所述锌迁移至所述铜层和所述衬底的氧化物层的界面，所述锌的所述迁移在所述界面处产生抑制所述铜层的电迁移的粘附性阻挡层。
形成阻挡工艺

[发明专利]连续铂层的无电沉积-CN201510084904.1有效
发明人：尤金尼厄斯·诺尔库斯;阿尔冬娜·亚格米妮;阿宾娜·齐列内;伊娜·斯坦科维;洛蕾塔·塔玛萨凯特-塔玛修纳特;安鲁达哈·乔伊;耶兹迪·多尔迪 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2015-02-16 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明涉及连续铂层的无电沉积，具体提供了一种用于提供含铂层的无电镀敷的方法。提供Ti3+稳定溶液。提供Pt4+稳定溶液。将所述Ti3+稳定溶液的流与所述Pt4+稳定溶液的流以及水混合以提供所述Ti3+稳定溶液与所述Pt4+稳定溶液的稀释的混合物。将衬底暴露于所述Ti3+稳定溶液与所述Pt4+稳定溶液的所述稀释的混合物。
连续沉积