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[实用新型]一种半导体单晶炉的二次投料装置-CN202321190424.X有效
发明人：马四海;马青;马先松;见亚军;张笑天 -专利权人： 安徽易芯半导体有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体单晶炉的二次投料装置，包括石英加料筒，石英加料筒轴向一端形成封闭端、轴向另一端为筒口，封闭端外缘固定有第一法兰，的封闭端中心贯穿滑动安装有连杆，还包括石英锥形托底，石英锥形托底堵于石英加料筒的筒口，连接杆位于石英加料筒的一端固定连接石英锥形托底的锥顶位置。本实用新型在进行投料时保持半导体单晶炉与外部环境隔离，避免外部环境对半导体单晶炉内的影响，进而提高产品质量。
一种半导体单晶炉二次投料装置

[实用新型]一种半导体单晶炉对中辅助测具-CN202321190670.5有效
发明人：马四海;马青;马先松;见亚军;张笑天 -专利权人： 安徽易芯半导体有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01B5/252 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体单晶炉对中辅助测具，包括内衬架，内衬架由多个共中心交叉固定一体的长度相同的直杆构成，且各个直杆的中心位置设有孔，每个直杆一侧侧面两端位置分别固定连接有固定座，每个固定座中分别贯穿安装有多个调节件。本实用新型可在硅单晶棒装入硅单晶炉之前对硅单晶棒进行对中测量，具有对中中心点精度高、通用性良好、校准方便、操作便捷的优点。
一种半导体单晶炉辅助

[发明专利]单晶硅生长炉停冷却热场阶段部分热能回收利用装置-CN201710329433.5有效
发明人：马四海;张笑天;马青;朱光开;丁磊 -专利权人： 安徽易芯半导体有限公司
申请日： 2017-05-11 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H02N11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶硅生长炉停冷却热场阶段部分热能回收利用装置，其特征在于：包括有加热箱，所述加热箱中有传送带穿过，所述加热箱体内传送带的下面铺设有圆柱状的加热管，所述加热管从中间至两端的分布为有密到疏，所述加热管的进气口设置在中部，出气口分别设置在两端，且进气口和两个出气口均通过管道连接到集气箱，所述进气口处设有风机。本发明结构简单，操作方便，成本低，避免导线的烫伤，提高线束磁环外热缩管热缩的效率，而且加热管的分布合理，可避免使热缩管过快的加热收缩和过快的降温，保证了热缩管的收缩质量，而且通过加热箱体内保温层的可保证箱体内的温度，减慢散热箱体散热的速度。
单晶硅生长冷却阶段部分热能回收利用装置

[实用新型]一种半导体单晶炉的集成吊装结构-CN202221899251.4有效
发明人：马四海;张笑天;马青;马先松;见亚军;张锋;刘伟 -专利权人： 安徽易芯半导体有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B66C23/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体单晶炉的集成吊装结构，包括多个立杆，每个立杆上分别设置有可动吊装装置，可动吊装装置包括支架以及立向转动连接于立杆的旋转轴，支架固定连接旋转轴，支架上设有驱动旋转轴转动的旋转驱动机构，支架上还固定有悬臂，悬臂水平滑动安装有动臂，悬臂上设置有驱动动臂水平运动的平移驱动机构，动臂的臂端固定有提升卷扬机。本实用新型可实现在较大辐射区域进行吊装动作，满足单晶炉周边半径的吊装工作需求，并且吊装输送时通过旋转、平移即可进行，无须过多人工参与。
一种半导体单晶炉集成吊装结构

[发明专利]一种热氧化法生长二氧化硅薄膜的装置和方法-CN202210867693.9在审
发明人：马四海;张笑天;马先松;丁磊;郑天元 -专利权人： 安徽易芯半导体有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C30B33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种热氧化法生长二氧化硅薄膜的装置和方法，装置包括石英炉管、氧气输送装置，氧气输送装置向石英炉管内输送氧气，氧气输送装置还向石英炉管内输送水蒸汽，石英炉管内沿轴向分布设置有两组均流罩，两组均流罩之间设置有至少两个晶舟，石英炉管内一端与对应方向的均流罩之间设有保温腔。本发明方法通过均流罩实现均流，进而可实现多排晶舟上硅片热氧化。本发明中可使产能与效率在原有基础上大为增加、更有利于批量生产与节能降耗。
一种氧化生长二氧化硅薄膜装置方法

[实用新型]单晶硅生长炉停冷却热场阶段部分热能回收利用装置-CN201720520360.3有效
发明人：马四海;张笑天;马青;朱光开;丁磊 -专利权人： 安徽易芯半导体有限公司
申请日： 2017-05-11 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： H02N11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅生长炉停冷却热场阶段部分热能回收利用装置，包括有圆形筒体，圆形筒体的上方通过支架安装有半导体温差发电模块，半导体温差发电模块包括有热量收集装置、散热装置、温差发电片，热量收集装置包括有圆台体，圆台体的小端面为底端面，大端面为上端面，圆台体的底端面上均布有多个开孔，其开孔贯穿到上端面上，上端面的开孔处分别固定放置有加热板，加热板上安装有与其对应的温差发电片，散热装置包括有散热板，散热板位于温差发电片上且与其各个冷面贴合，散热板的上端面中部安装有散热风扇。本新型设计合理地利用了半导体生产环节中可以利用的部分热量进行电能的存储，将热能直接转换成电能，符合节能减排的理念。
单晶硅生长冷却阶段部分热能回收利用装置

[实用新型]一种简易机械助力臂装置-CN201720738225.6有效
发明人：马四海;张笑天;马青;朱光开;丁磊 -专利权人： 安徽易芯半导体有限公司
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2018-02-09 - 主分类号： B66C23/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种简易机械助力臂装置，其特征在于包括有平板基座，所述平板基座的底端安装有行走轮，所述平板基座上的一侧架设有立柱，所述平板基座上的另一侧放置有平衡物块，所述立柱的顶端转动安装有旋转座，所述旋转座上安装有旋转把手，所述旋转座的顶端通过支板安装有伸缩套管臂，所述伸缩套管臂的端部安装有定滑轮，所述定滑轮上有钢丝绳绕过，所述钢丝绳的另一端由电动机驱动。本实用新型简易实用，方便操作，在日常生活生产中很多地方可以使用，针对有限空间内取卸物体节省人工搬运劳动力，提高工作效率，而且容易制作，可以广泛的采用使用。
一种简易机械助力装置

[实用新型]一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置-CN201720737999.7有效
发明人：马四海;张笑天;马青;朱光开;丁磊 -专利权人： 安徽易芯半导体有限公司
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2018-02-09 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种CZ直拉法硅单晶棒取棒装置，包括有平板小车，平板小车上设置有对应开合的固定支撑基座和活动支撑基座，固定支撑基座和活动支撑基座上分别设有由间隔排列竖直分布的支撑杆和连接横杆组成的固定框，固定框为两半圆形固定框，固定支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的固定立柱固定安装在平板小车上，活动支撑基座与其上方的固定框之间通过其一侧的转动立柱转动安装在平板小车上，活动支撑基座上的固定框支撑杆上设有扶手，固定支撑基座上的固定框支撑杆上连接有倾斜辅助机构。本实用新型可以方便了单晶硅棒倾斜放置，方便人工取棒，该装置有一半可以转动完全打开，取卸方便，同时针对大直径单晶硅棒设计，提高取棒效率。
一种 cz 直拉法硅单晶棒取棒装置

[实用新型]一种CZ直拉法硅单晶炉热场石墨三瓣埚取装装置-CN201720738238.3有效
发明人：马四海;张笑天;马青;朱光开;丁磊 -专利权人： 安徽易芯半导体有限公司
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2018-02-09 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种CZ直拉法硅单晶炉热场石墨三瓣埚取装装置，包括有位于石墨三瓣埚上方的钢板圆盘，钢板圆盘的圆周位置分布有多个支杆，支杆分别位于石墨加热器与石墨三瓣埚之间的空间位置，支杆的底端分别通过转轴转动安装有三瓣埚托手，钢板圆盘的上方设置有与其对应配合的钢丝连接圆盘，钢丝连接圆盘与钢板圆盘的中部通过吊装杆连接，钢丝连接圆盘的圆周位置上分布有与其下方支杆两侧位置对应的钢丝绳，钢丝绳的另一端分别穿过钢板圆盘连接至支杆底端三瓣埚托手两侧转轴的两端。本实用新型极大地节省了人工的劳动力，提高了生产效率，很好的降低了人员手动搬装带来的安全隐患，以及人工搬运较重的大尺寸石墨件造成的磕碰石墨件的风险性。
一种 cz 直拉法硅单晶炉热场石墨三瓣埚取装装置

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