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[发明专利]沿面放电元件驱动装置以及沿面放电元件驱动方法-CN201780047409.0有效
发明人：田中元史;大迫俊树;村山裕纪;筱原尚人;安井祐之 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2017-08-08 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H02M7/06 文献下载
摘要：本发明提供沿面放电元件驱动装置以及沿面放电元件驱动方法。实施方式的沿面放电元件驱动装置具备电流检测部(18a、18b)、零交检测部(40a～40d)、存储部(20)以及控制部(19)。电流检测部(18a、18b)对在开关元件(12c、12d)中流动的交流电流进行检测。零交点检测部(40a～40d)对交流电流的零交点进行检测。在存储部(20)中存储用于在试运行时判定沿面放电元件(17)的异常的谐振周期的第1阈值(20a)。控制部(19)在试运行时对沿面放电元件(17)施加比在通常运转开始时施加的电压低的测试电压，根据检测到的交流电流的零交点求出交流电流的谐振周期，在求出的谐振周期超过第1阈值(20a)的情况下，抑制或者停止开关元件(12a～12d)的驱动。
放电元件驱动装置以及方法

[发明专利]等离子体处理装置、半导体制造装置及半导体装置的制造方法-CN201810154971.X在审
发明人：吉水康人;安井祐之 -专利权人：东芝存储器株式会社
申请日： 2018-02-23 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种等离子体处理装置、半导体制造装置及半导体装置的制造方法。实施方式提供一种能够缓和在大气压下的环境中对被处理物的限制的等离子体处理装置、半导体制造装置及半导体装置。实施方式的等离子体处理装置具备：放电部，在大气压下生成等离子体；以及非金属管，能够供在所述放电部中生成的等离子体行进；且从所述管向大气压下的环境释放等离子体。
等离子体处理装置等离子体半导体制造装置半导体装置放电部被处理物非金属管环境释放制造行进缓和

[发明专利]气体净化装置、气体净化系统以及气体净化方法-CN200780043074.1无效
发明人：田中元史;安井祐之 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2007-11-19 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： F01N3/02 文献下载
摘要：气体净化装置(10)具备：第一电场形成单元，在净化对象气体(EG)流动的气体流路(36)中形成放电用的电场而生成放电等离子体(P)，通过放电等离子体(P)的作用使净化对象气体(EG)中所含有的PM带电并且进行燃烧处理；第二电场形成单元，通过电集尘功能捕捉带电的PM并且形成用于将放电等离子体(P)引出到气体流路侧的集尘用的电场；以及带电用电极(35)，在设置有第一电场形成单元以及第二电场形成单元的位置的上游侧，使所流动的净化对象气体(EG)带电。
气体净化装置净化系统以及方法

[发明专利]气体净化系统、气体净化方法和放电反应设备-CN200310100603.0无效
发明人： 安井祐之;荒木邦行;飞田义男 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2003-10-08 - 公布日： 2004-06-30 - 主分类号： F01N3/02 文献下载
摘要：一种用于净化目标气体的气体净化装置，其包括一个气流管线，待净化的目标气体经由该管线从目标气体产生装置流出；一个提供在所述气流管线上的放电反应装置；一个布置在所述放电反应装置中的过滤部件，其所具备的结构可以在目标气体流经该过滤部件时俘获包含在目标气体中的颗粒物；和一个有效地连接在所述放电反应装置上的放电产生装置，其被用来在放电反应装置内形成电场，并在其中产生放电等离子体。
气体净化系统净化方法放电反应设备

[发明专利]废气处理设备-CN99106509.3无效
发明人：冈本优;冈村胜也;山崎长治;安井祐之 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 1999-04-28 - 公布日： 2003-06-25 - 主分类号： F01N3/01 文献下载
摘要：在用于内燃机的废气处理设备中，通过短脉冲高重复性转换部件将电源提供给电晕放电管以产生电晕。用该电晕除掉内燃机废气中的有害物质。将MAGT(金属-氧化物-半导体辅助的由栅极触发的半导体闸流管)用作短脉冲高重复性的转换部件。因此，能提高该转换部件的寿命，并且，即便在开始运转时废气温度较低的情况下也能获得高净化率。
废气处理设备