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[实用新型]一种适用真空镀膜机的翻板阀装置-CN201721645565.0有效
发明人：沈聚丰;李龙哲;周征华;夏伟;李花;孙海澄;朱小凤;王田英 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-12-01 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，包括：用于安装在真空室和主阀腔之间的阀板结构；阀板结构包括用于导通或封闭真空室与主阀腔的阀板；用于带动阀板转动的转轴机构；以及，用于驱动转轴机构旋转的驱动机构，驱动机构包括驱动部件和齿轮齿条传动组件；驱动部件通过齿轮齿条传动组件带动阀板转动。本实用新型实现了真空室和主阀腔间的启闭，且本装置传动方式简单实用，传动效能高，控制精确；结构紧凑，传动灵活，阀板转动无死角，阀板能紧密贴合真空室(或主阀腔)，密封效果非常理想；从而有效保证了主阀腔的洁净度，简化了主阀腔的保养工作，并延长了主阀气缸主轴的使用寿命。
主阀腔阀板真空室转动齿轮齿条传动本实用新型真空镀膜机阀板结构驱动部件驱动机构翻板阀传动方式传动效能紧密贴合密封效果气缸主轴驱动转轴使用寿命转轴机构组件带动洁净度无死角传动导通启闭主阀保养封闭灵活保证

[实用新型]真空镀膜机可拆卸PlASMA电极-CN201420248470.5有效
发明人：李龙哲;夏伟;朱小凤;孙海澄;周征华 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2014-05-15 - 公布日： 2014-09-24 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机可拆卸PlASMA电极，它涉及一种可拆卸式PLASMA电极。它包括第一绝缘陶瓷、第二绝缘陶瓷、可调节式电极轴、第一O型氟橡胶密封圈、O型保护套、第二O型氟橡胶密封圈，可调节式电极轴上设置有第一绝缘陶瓷、第二绝缘陶瓷，第一绝缘陶瓷外侧分别设置有第一O型氟橡胶密封圈和第二O型氟橡胶密封圈，第一O型氟橡胶密封圈与第一绝缘陶瓷配合，第二O型氟橡胶密封圈与O型保护套相配合，O型保护套右侧设置有第二绝缘陶瓷。本实用新型延长电极使用寿命。此结构因电极在后部不会污染，节约成本更好的绝缘效果。
真空镀膜可拆卸 plasma 电极

[实用新型]真空镀膜机平板式发射板结构-CN201320531813.4有效
发明人：夏伟;孙海澄;李龙哲;刘强;金虎 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2013-08-29 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了真空镀膜机平板式发射板结构，它包含真空室腔体、发射板、保护罩和电极，所述发射板和保护罩上设有相对应的固定孔，所述发射板上通过绝缘陶瓷钉和插针固定在保护罩上，所述绝缘陶瓷钉末端设有插孔，绝缘陶瓷钉穿过发射板固定孔及保护罩固定孔后，在其末端插孔上插入插针固定，所述真空室腔体上设有调节板，所述保护罩固定在调节板上，所述电极的螺杆端穿过发射板，并用调节螺母固定。本实用新型的有益效果：本实用新型采用板式发射，板式的发射因面积增加而产生的保护膜效果更佳，即大大增强附着力及耐碱性；在同样功率下能发射出更大电压，在同样的条件下能得到更厚的膜；在等离子轰击工艺下可获得更好的附着力；防止污染。
真空镀膜平板发射板结

[实用新型]真空镀膜机内壁和内壁板的安装结构-CN201320531550.7有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;王洪彬;孙海澄;李顺立 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2013-08-29 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了真空镀膜机内壁和内壁板的安装结构，它包含内壁和内壁板，所述内壁上设有卡扣装置和定位柱，所述卡扣装置包括防污染垫，防污染垫上设有插孔座，插孔座上设有弹簧固定端，弹簧固定端连接弹簧一端，弹簧另一端连接插针；所述内壁板上设有定位孔和固定孔。本实用新型的有益效果：本实用新型安装、拆卸方便，制作简单，不会因污染而无法拆卸，固定牢固，不易掉落，可以不用工具徒手拆装，提高工作效率；插针只要利用弹簧的弹性作为固定；内壁板上开有定位孔和固定孔，装配更精确。
真空镀膜内壁壁板安装结构