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[发明专利]一种单相陶瓷靶材及其制备方法和用途-CN201810556388.1有效
发明人：贾婷婷;刘聪;姚竣翔;樊子冉;程振祥 -专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院
申请日： 2018-06-01 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： C04B35/462 文献下载
摘要：本发明公开了一种单相陶瓷靶材的制备方法，包括：称取原料加入有机溶剂中进行球磨混匀后，再进行煅烧后过筛；将过筛后的粉体，压制成胚体，并对该胚体进行预烧结；进行预烧结后胚体研碎和加入有机溶剂中进行球磨混匀后将所得粉体再压制成胚体并预烧结的过程一次或多次；将所得胚体于1023‑1173K温度下进行成型烧结。本发明所提供的制备方法，研磨、煅烧和烧结所需时间短，操作温度低，烧结过程中无需添加烧结助剂。整个方法对设备要求低，制备效率高，有利于节约能源和降低成本。本发明还公开了一种单相陶瓷靶材及其在电子器件中的用途，制备出的陶瓷靶材均匀致密，在低温和室温下均具有铁磁性，所述单相陶瓷靶材可用于制备电子器件中的薄膜材料。
一种单相陶瓷及其制备方法用途

[发明专利]一种单相多铁性薄膜及其制备方法和用途-CN201810556389.6有效
发明人：贾婷婷;刘聪;姚竣翔;樊子冉;程振祥 -专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院
申请日： 2018-06-01 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种单相多铁性薄膜的制备方法，包括：清洗衬底后将靶材和所述衬底置于镀膜腔内，调节腔体内压强；升高衬底温度，然后在腔体内充入O2，并调节腔体内压强；调节衬底和靶材之间的距离，并调节衬底和靶材旋转；调节激光器的重复频率和脉冲能量；进行薄膜沉积，然后保温；保温结束后冷却至室温，其中，所述靶材的化学组成为(1‑m)BiTi(1‑n)/2FenMg(1‑n)/2O3‑mCaTiO3，其中，0m1，0n1。本发明所提供的制备方法，在制备含复杂氧化物薄膜时具有独特优势，且制备过程中可精确控制薄膜生长。本发明还提供了一种单相多铁性薄膜及其在电子器件中的用途，制备的薄膜致密均匀，在室温下同时具有铁电性，铁磁性和磁电互控性能，可以用于包含薄膜的电子器件中，具有广泛的应用前景。
一种单相多铁性薄膜及其制备方法用途

[发明专利]一种云母薄膜的制备方法-CN201710945059.1有效
发明人：刘聪;贾婷婷;姚竣翔;李迎飞;张德;樊子冉 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2017-10-12 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： C01B33/42 文献下载
摘要：本发明提供一种云母薄膜的制备方法，涉及材料制备技术领域。其中，该方法包括：在距离云母片任意一角端点的2～6mm处进行90～180度弯折，使云母片基底碎裂分层，用水流冲淋云母片的分层处，直到云母薄膜从云母片上剥离。通过在云母片的一角进行小范围内的弯折，使云母片分基底断裂分层，并利用水的冲淋压力促使云母片自动分层，得到云母薄膜。该方法不会造成云母的浪费，利用水流压力可以避免云母片在剥离过程中断裂，适用于大规模的生产。
一种云母薄膜制备方法

[发明专利]基于铁电-铁磁异质结的电控磁型存储器及其制备方法-CN201710313107.5有效
发明人：高兴森;姚竣翔 -专利权人：华南师范大学
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： H01L43/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于铁电‑铁磁异质结的电控磁型存储器及其制备方法。所述基于铁电‑铁磁异质结的电控磁型存储器包括从下往上依次设置的铁电层和铁磁层，所述铁电层为BiFeO
基于铁磁异质结电控磁型存储器及其制备方法

[发明专利]B位掺杂铋铁氧体固溶体薄膜及其制备方法和应用-CN201810763918.X在审
发明人：刘聪;贾婷婷;程振祥;姚竣翔;樊子冉 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2018-07-12 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： C04B35/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种B位掺杂铋铁氧体固溶体薄膜及制备方法和应用，制备方法包括：制备B位掺杂铋铁氧体固溶体溶胶；将固溶体溶胶于衬底上涂布形成溶胶涂层；将衬底上的溶胶涂层进行热固处理；将热固处理后的溶胶涂层进行退火处理；其中，退火处理中通过快速升温后保持，提升薄膜表面的平整度，控制和提升材料的结晶性；然后再缓慢降温促进薄膜形成面外单畴。本发明的以上方法，对传统铁酸铋溶胶凝胶制备薄膜技术进行改良，通过B位掺杂，与钛酸钙混合获得准同型相界的压电增强效应；通过调整退火过程，制备的高质量外延室温多铁薄膜具备良好的高压电性，室温多铁性及单晶外延性。
制备溶胶涂层掺杂铁氧体制备方法和应用固溶体薄膜退火处理固溶体衬底热固压电增强效应室温多铁性准同型相界薄膜表面薄膜技术薄膜形成单晶外延缓慢降温快速升温溶胶凝胶退火过程高压电结晶性平整度铁薄膜铁酸铋钛酸钙单畴改良