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[实用新型]一种晶圆偏转装置-CN202023311388.7有效
发明人：樊四虎;李强 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆偏转装置，包括：设备支撑板，所述设备支撑板两端设有支撑板安装板，所述支撑板安装板焊接固定在设备支撑板上，所述设备支撑板上设有若干位置调节装置，所述位置调节装置一端通过固定螺栓安装在设备支撑板上、另一端设有晶圆夹持爪，所述位置调节装置包括位置调节气缸，所述位置调节气缸的输出端上设有调节驱动杆，所述调节驱动杆一端固定在位置调节气缸的输出端上、另一端设有调节驱动块，所述调节驱动块通过连接固定块安装在旋转电机安装板上，所述旋转电机安装板上设有偏转驱动电机，本实用新型可以实现多个晶圆输送线的快速夹持偏转，同时能够保证偏转精度，大大提高了晶圆的加工效率。
一种偏转装置

[实用新型]一种晶圆转运机构-CN202023311349.7有效
发明人：樊四虎;李强 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁，所述转运支撑横梁一端固定在左支撑杆上、另一端固定在右支撑杆上，所述左支撑杆下端设有左前后移动装置，所述右支撑杆下端设有右前后移动装置，所述左前后移动装置、右前后移动装置滑动安装在移动滑槽内，所述转运支撑横梁中部设有抓取调节装置，所述抓取调节装置下端设有抓取装置固定座，所述抓取装置固定座上设有若干晶圆抓取装置，本实用新型不仅可以实现晶圆的快速抓取转运，而且，可以实现较大范围的空间转运，方便不同工序设备的组合使用。
一种转运机构

[实用新型]一种用于Ka卫通收发系统的导通检测设备-CN202023304173.2有效
发明人：樊四虎;洪火锋;梁曰坤 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于Ka卫通收发系统的导通检测设备，包括：检测设备底板，所述检测设备底板后端设有检测设备背板，所述检测设备底板上侧设有卫通收发系统载具，卫通收发系统放置在卫通收发系统载具上，卫通收发系统载具上侧设有导通检测装置，导通检测装置安装在检测设备背板上，导通检测装置包括检测装置固定板，检测装置固定板上下两侧设有滑动支撑滑轨，所述滑动支撑滑轨上设有检测调节滑块，检测支撑板上设有检测升降驱动装置，所述检测升降驱动装置的输出端上设有检测治具安装板，检测治具安装板上设有若干检测治具，本实用新型不仅可以实现卫通收发系统的快速放置定位，而且，可以实现多个工件的同时检测，大大提高了工件的检测效率。
一种用于 ka 收发系统检测设备

[实用新型]一种用于晶圆检测的移动载台机构-CN202023311433.9有效
发明人：樊四虎;李强 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G01D11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括：移动支撑架，所述移动支撑架上设有若干支撑架固定座，所述支撑架固定座上设有设备支撑腿，所述设备支撑腿下端设有调节垫脚，所述移动支撑架上设有移动传动带，所述移动传动带一端通过驱动装置安装在移动支撑架上、另一端通过支撑辊安装在移动支撑架上，所述移动传动带外侧设有若干晶圆载台，所述晶圆载台包括晶圆载具，所述晶圆载具固定安装在载具安装板上，所述载具安装板固定安装在载具固定板上，所述载具固定板两端中部设有螺栓固定孔，载具固定板通过固定螺栓安装在移动传动带上，本实用新型可以将晶圆在各检测工位上进行快速转运，而且，可以实现晶圆的精确定位，保证了检测精度和检测效率。
一种用于检测移动机构

[实用新型]一种用于晶圆的取放装置-CN202023311441.3有效
发明人：樊四虎;李强 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于晶圆的取放装置，包括：设备支架，所述设备支架上设有取放驱动装置，所述取放驱动装置的输出端上设有取放夹持装置，所述取放驱动装置包括驱动装置安装板，所述驱动装置安装板上安装有横向驱动气缸，所述横向驱动气缸的缸体通过固定螺栓安装在驱动装置安装板上，所述横向驱动气缸的输出端上设有横向驱动块，所述横向驱动块安装在横向移动支撑板上，所述横向移动支撑板上设有纵向驱动气缸，所述纵向驱动气缸的缸体通过固定螺栓安装在横向移动支撑板上，所述纵向驱动气缸的输出端上设有取放夹持装置，本实用新型不仅可以实现晶圆的快速取放，而且，可以在较大的立体空间内进行转移，大大提高了晶圆的输送转移效率。
一种用于装置

[实用新型]一种用于晶圆的清洗机构-CN202023304149.9有效
发明人：樊四虎;李强 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于晶圆的清洗机构，包括：设备壳体，所述设备壳体内设有工作平台，工作平台将设备壳体分隔为设备腔和清洗腔，所述清洗腔内的工作平台上设有若干清洗槽，所述清洗槽通过清洗固定支架安装在设备壳体上，所述清洗腔后端的设备壳体上设有热风烘干装置，所述热风烘干装置通过管道连接于热风机，所述热风机与热风烘干装置之间设有气体过滤装置，所述热风烘干装置包括热风输送箱体，所述热风输送箱体上端设有热风输入管，所述热风输入管通过管道连接于热风机，本实用新型不仅可以实现对多组晶圆的同时清洗，而且，可以对清洗后的晶圆进行及时干燥，防止二次污染，保证晶圆洁净度。
一种用于清洗机构

[实用新型]一种晶圆检测的夹具机构-CN202023311339.3有效
发明人：樊四虎;李强 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆检测的夹具机构，包括：夹具固定板，所述夹具固定板上设有左右调节气缸，所述左右调节气缸的缸体通过气缸固定座安装在夹具固定板上，所述左右调节气缸的输出端上设有左右调节驱动头，所述左右调节驱动头固定在上下调节支撑板上，所述上下调节支撑板与夹具固定板支架设有左右调节导向装置，所述上下调节支撑板包括上下调节气缸，所述上下调节气缸的缸体通过气缸固定座安装在上下调节支撑板上，所述上下调节气缸的输出端上设有晶圆夹持爪，所述晶圆夹持爪与上下调节支撑板之间设有上下调节导向装置，本实用新型不仅可以实现晶圆的快速精准夹持固定，而且，可以在较大范围内进行精准转移，以实现各工序之间的无缝衔接。
一种检测夹具机构

[实用新型]一种用于晶圆的生产固定装置-CN202023311439.6有效
发明人：樊四虎;李强 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于晶圆的生产固定装置，包括：固定支撑杆，所述固定支撑杆一端设有左夹紧固定装置、另一端设有右夹紧固定装置，所述左夹紧固定装置、右夹紧固定装置之间对称设置，所述固定支撑杆中部设有旋转固定座，所述旋转固定座通过固定螺栓安装在旋转支撑座上，所述旋转支撑座固定安装在旋转驱动电机的输出端上，所述旋转驱动电机的壳体通过电机固定座安装在设备支架上，本实用新型可以实现晶圆的快速固定，而且，可以实现晶圆的精确定位，同时，能够适应不同的加工设备，大大提高了晶圆的加工效率。
一种用于生产固定装置

[实用新型]一种用于多频带圆极化天线结构的伸缩装置-CN202023304113.0有效
发明人：樊四虎;洪火锋;梁曰坤 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： H01Q1/10 文献下载
摘要：本实用新型一种用于多频带圆极化天线结构的伸缩装置，包括：一级伸缩天线，所述一级伸缩天线内设有二级伸缩天线，所述二级伸缩天线内设有三级伸缩天线，所述一级伸缩天线与二级伸缩天线之间设有伸缩驱动装置，所述二级伸缩天线与三级伸缩天线之间设有伸缩驱动装置，所述一级伸缩天线外侧通过固定螺栓固定在天线固定座上，所述天线固定座内设有天线控制器，所述天线控制器通过固定螺栓安装在天线固定座内，所述伸缩驱动装置包括伸缩驱动绳缆，所述伸缩驱动绳缆一端安装在驱动装置上、另一端设有支撑装置上，所述伸缩驱动绳缆一侧设有伸缩驱动板，本实用新型可以实现天线的快速伸缩，同时，可以实现天线的精确控制，方便天线的调节使用。
一种用于频带极化天线结构伸缩装置

[实用新型]一种用于W波段的接收结构-CN202023304162.4有效
发明人：樊四虎;洪火锋;梁曰坤 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： H01Q1/12 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于W波段的接收结构，包括：接收天线，所述接收天线为弧形结构，所述接收天线安装在接收天线支架上，所述接收天线支架上端通过角度调节气缸安装在支架安装底座上，所述接收天线支架下端通过旋转固定销安装在支架安装底座上，所述接收天线中部设有信号处理装置，所述信号处理装置通过设备安装座安装在接收天线支架上，接收天线支架包括支架安装板，所述支架安装板外侧设有若干弧形支撑辐条，所述弧形支撑辐条一端固定安装在支架安装板上、另一端设有天线固定外圈，所述弧形支撑辐条中部设有天线中部支撑圈。本实用新型不仅可以实现天线的稳定安装固定，提高天线强度，而且，可以实现天线接收角度的调整，方便调节使用。
一种用于波段接收结构

[实用新型]一种用于Ku波段收发器结构的锁定装置-CN202023304186.X有效
发明人：樊四虎;洪火锋;梁曰坤 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： H01Q1/12 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于Ku波段收发器结构的锁定装置，包括：Ku波段收发天线安装支架，所述Ku波段收发天线安装支架上端通过调节锁定装置安装在支架安装底座上，Ku波段收发天线安装支架下端两侧通过旋转固定销安装在支架安装底座上，调节锁定装置包括调节杆，调节杆内有中心空腔，调节杆两端分别设有第一螺纹孔和第二螺纹孔，第一螺纹孔连有第一螺杆，第一螺杆上一端设有右旋外螺纹，第二螺纹孔连有第二螺杆，第二螺杆上一端设有左旋外螺纹，所述调节杆外侧的第一螺杆上设有上锁紧螺母，所述调节杆外侧的第二螺杆上设有下锁紧螺母，本实用新型不仅可以实现天线的角度调节，而且，在调节完成后可以实现天线的快速锁定，能够保证天线通讯质量。
一种用于 ku 波段收发结构锁定装置

[实用新型]一种用于晶圆的生产检测设备-CN202023311321.3有效
发明人：樊四虎;李强 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于晶圆的生产检测设备，包括：设备支撑架，所述设备支撑架中部设有检测输送设备，所述设备支撑架下端设有若干安装固定座，所述安装固定座上设有设备支撑腿，所述检测输送设备一侧的设备支撑架上设有光学检测装置、X射线检测装置，所述检测输送设备包括输送支撑架，所述输送支撑架上设有输送传送带，所述输送支撑架外侧设有若干支撑架固定杆，所述支撑架固定杆固定安装在设备支撑架上，所述输送传送带外侧设有若干晶圆载台，所述晶圆载台两端通过固定螺栓安装在输送传送带上，本实用新型不仅可以实现晶圆检测的快速输送，而且，可以同时对晶圆进行多角度检测，可以保证产品品质。
一种用于生产检测设备

[发明专利]一种用于具有双面金属介质层之集成电路装置的背面接触电阻降低之制备方式-CN202110092316.8在审
发明人：樊四虎;李强 -专利权人： 天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
申请日： 2021-01-24 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： H01L29/778 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种用于具有双面金属介质层之集成电路装置的背面接触电阻降低之制备方式；本发明包括基材，高电子迁移率电晶体，位于基材上且包括一单晶或多晶集成电路材料层，高电子迁移率电晶体包括栅极，在该栅极上方的Y或T型通道，以及与该通道相邻的源级、汲极(S/D)区域，源级区域包括第一参杂剂浓度，且汲极区域包括第二参杂剂浓度，在S/D区域的至少一者上方的一接触层，以及在接触层和该S/D区域的至少一者之间的一接触电阻降低层，接触电阻降低层包括第三参杂浓度；本发明能够有效地降低集成电路芯片寄生外部电阻，同时还有效地降低其制备工艺流程、生产成本和实施难度。
一种用于具有双面金属介质集成电路装置背面接触电阻降低制备方式

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