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[发明专利]试样高度调整方法及观察系统-CN201580081062.2有效
发明人：中林诚;大南佑介;河西晋佐 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明涉及在具有带电粒子光学镜筒(2)、第一试样设置部(419)和隔膜(10)的带电粒子线装置中调整隔膜和试样的距离的方法，所述隔膜(10)用于将配置试样(6)的空间从所述带电粒子光学镜筒(2)内部隔离。调整中，使用具有第二试样设置部(400)的光学式装置(402)以及是能够在所述第一试样设置部和所述第二试样设置部共通地设置的形状的高度调整构件(403)。在光学式装置(402)内使用高度调整构件(403)来再现试样(6)与隔膜(10)的位置关系。并且，调整带电粒子显微镜装置的带有Z轴驱动机构的试样台(410)的高度以使试样(6)的表面位于光学式装置(402)的焦点位置。然后，将带有Z轴驱动机构的试样台(410)配置于带电粒子显微镜装置，进行观察。由此，能够安全且简便地调整隔膜与试样的距离。
试样高度调整方法观察系统

[发明专利]带电粒子束装置-CN201580063022.5有效
发明人：奥村大河;大岛卓;大南佑介;庄子美南;久田明子;米山明男 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2015-11-26 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：通过带电粒子显微镜装置简便地实施由光学显微镜所观察到的试样的三维内部构造观察，并且通过透射带电粒子图像准确地测量试样内部构造的三维位置关系、密度分布。具有试样台旋转部，其可以将试样台(500)表面与一次带电粒子束的光轴所形成的角的角度倾斜为不垂直的角度(θ)的状态来使该试样台(500)旋转，试样台(500)被构成为包括检测在试样的内部散射或透射后的带电粒子的检测元件，通过在使试样台旋转部旋转到多个不同的角度(φ)的状态下向试样照射一次带电粒子束，来取得与各角度(φ)相对应的所述试样的透射带电粒子图像。
带电粒子束装置

[发明专利]扫描电子显微镜及图像生成方法-CN201580005384.9有效
发明人：河西晋佐;大南佑介 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2015-02-10 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： H01J37/16 文献下载
摘要：在能在大气压下进行观察的带电粒子线装置中，使用使带电粒子线透过的隔膜，对配置试样的大气压空间和带电粒子光学系统侧的真空空间进行隔离。该隔膜非常薄，因此破损的情况多。因此，产生隔膜的更换频率增加，由更换作业带来的便利性下降、运转费用增加之类的问题。为了解决该课题，参照图1，扫描电子显微镜的特征在于，具备：电子光学镜筒(2)，其将一次电子线照射至试样(6)上；箱体(7)，其与电子光学镜筒内部直接连结，至少在一次电子线的照射中，使内部与上述电子光学镜筒内部相比为低真空的状态；以及隔膜(10)，其对载置试样(6)的大气压环境的空间和低真空状态的箱体的内部进行隔离，并且供上述一次电子线透过。
扫描电子显微镜图像生成方法

[发明专利]带电粒子束装置、试样观察方法、试样台、观察系统及发光部件-CN201480013221.0有效
发明人： 大南佑介;佐藤贡;内田宪孝;麻生定光;坂诘卓;森下英郎;伊东佑博;大岛卓 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-01-22 - 公布日： 2018-01-02 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明的目的是解决在利用透射带电粒子的观察中试样的设置或取出费时的问题。带电粒子束装置(601)，其特征在于，具有将一次带电粒子束向试样(6)照射的带电粒子光学镜筒；能够装拆地配置利用在上述试样(6)内部透射或散射而出的带电粒子发光的发光部件(500)或具有该发光部件(500)的试样台(600)的试样载台；以及检测上述发光部件的发光的检测器(503)。
带电粒子束装置试样观察方法系统发光部件

[发明专利]带电粒子束装置以及过滤部件-CN201480019441.4有效
发明人：河西晋佐;大南佑介;安岛雅彦;铃木宏征 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-03-05 - 公布日： 2017-10-10 - 主分类号： H01J37/16 文献下载
摘要：本发明的特征是在配置于非真空下的试料(6)与一次电子光学系统之间设有隔膜(10)的扫描电子显微镜中，具备过滤部件(200)，该过滤部件(200)至少在一次带电粒子束照射于试料的状态下配置在一次带电粒子束的路径上，使一次带电粒子束以及从试料得到的二次带电粒子透射或者通过，并且在隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽。由此，当在试料观察过程中隔膜损伤了的情况下，能够利用简单的结构没有时滞地防止因试料被吸入带电粒子光学镜筒内而产生的带电粒子光学系统、检测器的污染。
带电粒子束装置以及过滤部件

[发明专利]带电粒子束装置、样本图像取得方法以及程序记录介质-CN201480072130.4有效
发明人： 大南佑介;中平健治;田中麻纪;河西晋佐 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-12-03 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明的带电粒子束装置具备数据处理部，其从检测器的信号中除去一次带电粒子束在到达样本以前由于被散射而对一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。例如，在用电子显微镜观察处于非真空气氛中的样本(6)的情况下，从通过检测器取得的信号中除去一次带电粒子束由于隔膜(10)或存在于非真空空间(12)中的气体而散射从而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。由此，能够简便地得到高质量的图像。
带电粒子束装置样本图像取得方法以及程序记录介质

[发明专利]带电粒子束装置、图像生成方法、观察系统-CN201480073481.7有效
发明人： 大南佑介;片根纯一;河西晋佐;伊东佑博 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-12-24 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明提供一种能够简便地进行样本内部和表面的观察的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在以下模式下动作根据来自通过被照射透射了样本(6)的内部的透射带电粒子而发光的发光构件(500)的光的检测信号(512)生成透射带电粒子图像的透射带电粒子图像模式；根据因来自样本(6)的二次带电粒子(517)或反射带电粒子而产生的检测信号(518)生成二次带电粒子图像的二次带电粒子图像模式。
带电粒子束装置图像生成方法观察系统

[发明专利]带电粒子线装置及试样观察方法-CN201380040935.6有效
发明人： 大南佑介;伊东佑博 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-06-28 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明提供一种试样观察方法，其在试样上照射一次带电粒子线，检测由上述照射得到的二次带电粒子信号，并观察上述试样，该试样观察方法的特征在于，使在保持为真空状态的带电粒子光学镜筒内产生的上述一次带电粒子线透过或通过隔膜，该隔膜以使载置上述试样的空间与上述带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，检测通过向置于大气压或比大气压稍低的负压状态的规定的气体环境的上述试样照射上述一次带电粒子线而得到的透过带电粒子线。
带电粒子线装试样观察方法

[发明专利]带电粒子束装置以及试样图像取得方法-CN201480048806.6有效
发明人： 大南佑介;西村雅子;河西晋佐;铃木宏征 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-03-10 - 公布日： 2017-06-23 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：在带电粒子光学系统与试样之间设置了带电粒子束可透射的隔膜的带电粒子束装置中，在试样存在凹凸的情况下，也防止试样与隔膜的接触。根据从检测器(3)输出的检测信号或根据该检测信号生成的图像，监视试样(6)与隔膜(10)的距离，上述检测器(3)检测通过照射初级带电粒子束从试样(6)放出的次级带电粒子。
带电粒子束装置以及试样图像取得方法

[发明专利]隔膜安装部件及带电粒子线装置-CN201480044976.7有效
发明人：河西晋佐;大南佑介;铃木宏征;安岛雅彦 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-03-10 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： H01J37/16 文献下载
摘要：以往在更换隔膜时未充分考虑所需的成本、作业的便利性等，因此装置难以使用。在本发明中，通过隔离真空空间与大气压空间的隔膜(10)而将一次带电粒子线照射在放置于大气压空间的试样上的带电粒子线装置上所设置的隔膜安装部件(155)具有安装TEM用膜片的隔膜设置部位；以及安装在带电粒子线装置的壳体上的壳体固定部位。并且，该隔膜设置部位具有对保持有隔膜(10)的基座(9)进行定位的定位结构(155a)。
隔膜安装部件带电粒子线装

[发明专利]带电粒子束装置以及试样观察方法-CN201380041393.4有效
发明人： 大南佑介;河西晋佐;铃木宏征;细谷幸太郎;振木昌成 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-07-08 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明提供一种具备对气体氛围或者液体状态下的试样进行观察的功能的带电粒子束装置，其目的在于对向干燥状态的试样导入液体而逐渐浸润的样子进行观察，并且防止向隔膜与试样之间导入多余的液体而使带电粒子束散射。本发明具备如下结构，该结构具备从试样(6)的下表面方向或者侧面方向导入导出所希望的液体或者气体的导入导出部(300)，并在试样(6)与隔膜(10)为非接触的状态下将一次带电粒子束照射至试样(6)。
带电粒子束装置以及试样观察方法

[发明专利]带电粒子束装置、隔膜的位置调整方法以及隔膜位置调整工具-CN201380051004.6有效
发明人：河西晋佐;大南佑介;安岛雅彦;铃木宏征 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-09-25 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：在进行大气压或与大气压大致同等压力的气体环境下的观察的带电粒子束装置中，将载置有试样的大气压空间与电子光学镜筒内部的真空空间隔离的隔膜由于使电子束透射因此非常薄，破损的可能性较高。更换隔膜时需要调整隔膜位置，在现有技术的方法中，无法容易地进行该隔膜位置的调整。在采用将真空环境与大气环境或气体环境分隔的薄膜的结构的带电粒子束装置中，具备：隔膜，其能够拆装，并以将载置有试样的空间的压力保持为比机箱内部的压力大的方式将载置有试样的空间隔离，并能够使一次带电粒子束透射或通过，以及可动部件，能够以保持载置有试样的空间的压力和机箱内部的压力的状态移动上述隔膜。
带电粒子束装置隔膜位置调整方法以及工具

[发明专利]带电粒子束装置及利用带电粒子束装置进行观察的方法-CN201280017689.8有效
发明人： 大南佑介;伊东佑博;大泷智久 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-03-02 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：提供一种带电粒子束装置乃至带电粒子显微镜，其不很大地改变现有的高真空带电粒子显微镜的结构，就能够在大气气氛或气体气氛下观察观察试样。在采用划分真空气氛和大气气氛（或气体气氛）的薄膜（10）的结构的带电粒子束装置中，能够保持上述薄膜（10），并且将能够将内部维持为大气气氛或气体气氛的配件（121）插入到高真空型带电粒子显微镜的真空室（7）中来使用。该配件（121）被真空密封地固定在上述真空试样室的真空隔壁上。通过用氦气、氢气或水蒸汽这样的质量比大气气体轻的轻元素气体置换配件内部，来进一步提高画质。
带电粒子束装置利用进行观察方法

[发明专利]试样收纳容器、带电粒子线装置及图像获得方法-CN201380055784.1有效
发明人： 大南佑介;河西晋佐;铃木宏征 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-10-29 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明的试样收纳容器具备将试样(6)收纳在与外部的环境状态不同的环境状态下的收纳容器(100)；带电粒子线能通过或透过的隔膜(10)；试样载物台(103)，其设于收纳容器(100)的内部，能在将收纳容器(100)的内外环境状态保持为不同的环境状态的状态下，使试样(6)相对于隔膜(10)的相对位置在水平方向及垂直方向上移动；以及操作部(104)，其从收纳容器(100)的外部操作试样载物台(103)的移动，以收纳试样(6)的状态设于带电粒子线装置的真空房间内。
试样收纳容器带电粒子线装图像获得方法

[发明专利]带电粒子束装置、试样观察方法-CN201480030121.9在审
发明人： 大南佑介;坂诘卓;伊东佑博 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-03-12 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明的特征为，在透射型电子显微镜中，对决定一次带电粒子束(900)和试样之间的相互关系的矢量参数(θ、E、I)进行控制，取得与多个不同的矢量参数对应的试样的透射带电粒子图像；在检测从试样透射的透射电子或前方散射电子的检测器(500)上直接或经由预定的部件来配置试样。这样即使在使用了焦点深度比光学显微镜大的电子显微镜的情况下，也能够正确地确定试样内部的结构物的三维位置和密度，能够容易地实施针对试样相同的场所的光学显微镜观察和使用了电子显微镜的三维内部结构观察。
带电粒子束装置试样观察方法

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