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[发明专利]一种基于版图设计文件的全晶圆光刻图形定位方法-CN202310724022.1在审
发明人：李国庆;夏长城;黄华程;王鹏 -专利权人：华研芯测半导体（苏州）有限公司
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种基于版图设计文件的全晶圆光刻图形定位方法。该方法包括：使用带电粒子束设备采集一个晶粒范围中任意位置图形的图像，记录采集当前图像的实际物理坐标值；提取图形相对于其所属晶粒图形左上角起始点坐标的偏移值；使用上述图形的图像与偏移值信息进行深度学习模型训练，得到一个训练的深度学习模型；基于深度学习模型对未知图形预测当前图形在晶粒中的偏移值；根据版图设计文件中的光刻图形数据信息计算当前晶粒图形的起始点坐标；重复进行上述步骤，步进光刻机曝光缩小比例计算晶粒的实际物理长度与宽度，可得到全晶圆光刻图形的物理坐标；据本申请实施例，能够节省人力和时间、提高定位准确性和效率，以及避免人为定位误差。
一种基于版图设计文件圆光图形定位方法

[发明专利]一种关键尺寸扫描电子显微镜标准样品、校准装置及校准方法-CN202310571580.9在审
发明人：李国庆;王鹏;楼圣群;夏长城 -专利权人：华研芯测半导体（苏州）有限公司
申请日： 2023-05-21 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种关键尺寸扫描电子显微镜（CD‑SEM）标准样品、校准装置及校准方法，包括：一种关键尺寸扫描电子显微镜标准样品，所述标准样品分为四个不同的区域S1、S2、S3和S4，所述四个区域中图案的最小结构尺寸各不相同；所述四个不同的区域S1、S2、S3和S4中的每个区域又分为四个区域P1、P2、P3和P4，其中的图案为四种不同的形状；所述四种不同的形状又分为上下两个部分，为两种不同的图案类型。一种关键尺寸扫描电子显微镜校准装置，其特征在于，包括：样品承载装置、标准样品、三维运动平台；本发明还公开了一种关键尺寸扫描电子显微镜校准方法，使用所述校准方法可以及时、高效的对CD‑SEM进行校准和实现对样品关键尺寸的量测。
一种关键尺寸扫描电子显微镜标准样品校准装置方法

[发明专利]一种扫描电子显微镜探测器及探测方法-CN202310722971.6在审
发明人：李国庆;王鹏;夏长城;楼圣群 -专利权人：华研芯测半导体（苏州）有限公司
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本发明公开了一种扫描电子显微镜探测器，所述探测器包括：具有中心孔的闪烁体、所述闪烁体表层镀有导电薄膜，同时，所述闪烁体另一面通过光学胶与一光纤束传导装置连接，所述光纤束传导装置包含多根光纤，所述光纤束中的每一根光纤将与之对应位置闪烁体产生的光信号沿光纤传导到信号收集及处理系统中，所述信号收集与处理系统对信号进行分区处理、光电转换、放大及数学运算。应用所述探测器可以实现探测器表面的分区域信号收集效果，通过不同的信号处理方法更丰富的反应样品信息；实现了在不改动硬件基础上就可实现了探测器的多功能化。同时本发明还公开了一种上述扫描电子显微镜探测器的探测方法。
一种扫描电子显微镜探测器探测方法

[实用新型]一种耐候胶生产过程中的取样机-CN202221904558.9有效
发明人：姚美娟;夏长城;郎琳琳;李凯;宋鹏飞 -专利权人：山东景茂新材料有限公司
申请日： 2022-07-23 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G01N1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种耐候胶生产过程中的取样机，包括螺纹孔、一次性存样筒和抽样筒，还包括螺纹接头、隔气板和六角拉杆，所述一次性存样筒内设有隔气板，所述隔气板顶部热熔连接有矩形导向块，所述矩形导向块顶端贯穿一次性存样筒开设有螺纹孔。整体耐候胶生产过程中的取样机使用灵活便捷，利用一次性使用的取样容器对各类型胶料进行独立分装取样，避免胶料之间出现混合污染现象，且利用抽样筒可有效延长取样的抓握距离，能够解决现有人员对胶料池内取样时，胶料易粘覆于手上和样料使用一组取样设备出现样料混合污染的问题，且取样容器与取样机构之间拆装便捷，助于取样机构长期重复使用，具有较高的实用性。
一种耐候胶生产过程中的样机

[实用新型]一种电气元件快装的自锁防脱结构-CN202222180444.0有效
发明人： 夏长城 -专利权人：深圳市有鹏机电设备有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H02B1/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及电气元件安装技术领域，尤其涉及一种电气元件快装的自锁防脱结构。其技术方案包括：安装架、调节机构和防脱机构，防脱机构包括安装槽，安装槽的内部通过限位块活动安装有防脱板，防脱板的外侧套接安装有复位弹簧。本实用新型通过复位弹簧的弹性力可对限位块进行弹性抵触，通过复位弹簧弹性抵触限位块可以带动防脱板进行弹性复位，利用防脱板的弹性复位力可对电气元件的正面进行弹性夹持，增加了装置夹持防脱落的功能，解决了电气元件在外作用力的影响下容易发生倾斜掉落损坏的问题，提高电气元件稳固安装的效果，以及降低了电气元件的损坏率。
一种电气元件锁防脱结构

[实用新型]结构胶生产用粘黏性检测器-CN202221906351.5有效
发明人：姚美娟;李凯;宋鹏飞;夏长城;郎琳琳 -专利权人：山东景茂新材料有限公司
申请日： 2022-07-23 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G01N19/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了结构胶生产用粘黏性检测器，包括底座、金属板和顶板，所述底座一端通过安装座安装有温控器，所述底座顶部嵌设有加热板，所述加热板外侧胶合有陶瓷隔热套，所述加热板内部通过螺栓固定有电加热丝，所述底座顶部一端焊接有侧板，所述侧板和底座之间通过轴承安装有丝杆，所述丝杆外侧套设有内螺纹滑块，所述内螺纹滑块一侧通过螺纹槽连接有横柱，所述横柱底部通过绳索固定有金属板。本实用新型在对结构胶的粘黏性进行检测时，可以加速结构胶的固化时间，减少等待时长，且通过对加热板顶部的固化后的结构胶进行加热，方便对检测完成后的结构胶进行清理。
结构胶生产黏性检测器

[实用新型]耐候胶生产原料搅拌防沉淀装置-CN202221904581.8有效
发明人：姚美娟;宋鹏飞;夏长城;郎琳琳;李凯 -专利权人：山东景茂新材料有限公司
申请日： 2022-07-23 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B01F27/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了耐候胶生产原料搅拌防沉淀装置，包括外护壳、混料箱和电源箱，所述外护壳内套设有混料箱且混料箱的外侧缠绕具有吸热效果的冷凝管，所述混料箱的顶部通过安装座安装有伺服电机，所述外护壳的一侧通过螺钉安装有电源箱且电源箱内通过螺栓安装有电源稳压器，所述电源稳压器的下端通过螺栓安装有UPS电源，所述外护壳的另一侧通过螺栓安装有微电脑时控开关，所述外护壳的内侧表层设置有玻璃纤维层，所述混料箱内侧表层通过螺钉安装有玻璃板。该新型原料搅拌防沉淀装置搅拌均匀性好，防沉淀效果明显，能控制搅拌的时间，具有吸收胶水原料热量的效果，适合广泛推广使用。
耐候胶生产原料搅拌沉淀装置

[实用新型]一种电容元件的降噪声装置-CN202220544684.1有效
发明人： 夏长城 -专利权人： 夏长城
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H01G4/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及电容降噪技术领域，公开了一种电容元件的降噪声装置，包括电容器和内泡沫层，所述内泡沫层环绕套置在电容器的外圈，内泡沫层的内表面设置有第一海绵条，第一海绵条设置有多个，且第一海绵条抵触在电容器的外表面，所述内泡沫层的外圈套置有中泡沫层，且内泡沫层和中泡米层之间设有弧形橡胶，弧形橡胶抵触在内泡沫层和中泡沫层之间。本实用新型通过设置吸音棉可以吸收电容工作时的噪声，且设置的第一海绵条可以减少振动从电容器传递至内泡沫层的量，第二海绵条较少振动传递至电路板上，在工作的过程中交叉分布的弧形橡胶也具有缓冲减震的作用，具有降噪的作用，同时可以减少振动避免电容器被损伤。
一种电容元件噪声装置

[发明专利]一种单源同轴多向激光测距装置及测距方法-CN202111001280.4在审
发明人：李国庆;孙国梁;夏长城 -专利权人：华研芯测半导体（苏州）有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G01S17/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种单源同轴多向激光测距装置及测距方法，该装置包括点激光光源、多个级联主轴分光镜和多个光路改变测距单元，点激光光源固定设置于主轴，且沿主轴发射激光光束；点激光光源主轴发射的激光光束经每一级联主轴分光镜皆分为第一光束和第二光束，第一光束为平行于主轴的下一级的入射光束，第二光束为与主轴垂直的本级的反射光束，第二光束进入对应的光路改变测距单元并通过光路改变测距单元在对应方向上实现对目标测距位置的距离的测量。本发明采用单光源形成主轴同轴激光，通过级联主轴分光镜形成多级复用并通过级联主轴分光镜的角度可旋转从而实现任意方向目标的测距；采用单光源节省能源损耗，同轴测量提高测量效率与精度。
一种同轴多向激光测距装置方法

[发明专利]一种内置传送机构的级联真空腔装置及传送方法-CN202111000882.8在审
发明人： 夏长城;李国庆;孙国梁 -专利权人：华研芯测半导体（苏州）有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：本发明公开了一种内置传送机构的级联真空腔装置及传送方法，该装置包括多个依次连接的真空腔，定义最左面的一个真空腔室为第一真空腔，且最右面的一个真空腔为第二真空腔；每一真空腔皆包括真空腔室、分子泵、分子泵接口、晶圆进出口接口、支撑架和机器手，分子泵通过分子泵接口与真空腔室连接，第一真空腔的左侧的晶圆进出口接口与电子显微镜连接，第二真空腔的右侧的晶圆进出口接口与光刻机连接。本发明通过机器手将晶圆从真空腔室与电子显微镜或光刻机中取出或送入，最终使光刻机刻蚀晶圆后能快速送入到电子显微镜中采集图像，采集图像后能够快速送入到光刻机中进行下一层的刻蚀，提高光刻机刻蚀的生产效率。
一种内置传送机构级联空腔装置方法

[实用新型]一种用于清理硅酮密封胶的清洗装置-CN202022256796.0有效
发明人：姚美娟;夏长城;王崇伟 -专利权人：山东景茂新材料有限公司
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： B08B9/087 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于清理硅酮密封胶的清洗装置，属于清洗装置领域，包括主体，主体的前端连接有挡板，主体与挡板的左部连接处通过两个合页活动铰接，主体的上内壁开凿有第一内螺纹槽，螺纹杆螺纹连接于第一内螺纹槽内，且螺纹杆活动贯穿主体并延伸至主体的外侧，螺纹杆的表面套设有齿轮盖，且齿轮盖的下端固定连接在主体的上端，齿轮盖的上端开凿有凹槽，螺纹杆的表面螺纹连接有第二齿轮，且第二齿轮活动连接在齿轮盖内，第二齿轮的上端开凿有第二内螺纹槽，螺纹杆的下端固定连接有刷头，第二齿轮的右端啮合有第一齿轮，本实用新型将转动的刷头上下移动，使得硅酮密封胶桶清洗的更快更干净，提高清洗速率。
一种用于清理硅酮密封胶清洗装置

[实用新型]一种密封硅酮胶用存储装置-CN202022256807.5有效
发明人：姚美娟;夏长城;王崇伟 -专利权人：山东景茂新材料有限公司
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种密封硅酮胶用存储装置，属于存储装置技术领域，包括外壳，外壳的下内壁固定连接有第一电机箱，第一电机箱的上下内壁固定连接有第一电机，第一电机的输出端固定连接有第二圆柱，外壳的左右内壁固定连接有第一隔板，外壳的下内壁与第一隔板的下端固定连接有第二隔板，且第二圆柱活动贯穿第二隔板，第二圆柱的左端固定连接有第二齿轮，外壳的下内壁转动连接有第一圆柱，且第一圆柱活动贯穿第一隔板，第一圆柱的圆周表面固定连接有第一齿轮，且第一齿轮与第二齿轮啮合连接，第一圆柱的上端固定连接有圆盘，圆盘的上端固定连接有多个搅拌扇，可以实现有效的清理粘俯于容器内壁的硅酮胶，且可以打散沉淀的硅酮胶。
一种密封硅酮存储装置

[实用新型]硅酮胶挤出装置-CN202021903294.6有效
发明人：刘兆高;刘兴茂;夏长城 -专利权人：山东景茂新材料有限公司
申请日： 2020-09-03 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： B05C17/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了硅酮胶挤出装置，属于硅酮胶挤出设备技术领域，包括胶管主体，胶管主体的右端开凿有第一安装孔，第一安装孔内活动插接有推杆，推杆的右端固定连接有活塞，活塞滑动连接于胶管主体内，推杆的表面套设有弹簧，弹簧的左端固定连接于活塞的右端，弹簧的右端固定连接于胶管主体的右内壁，胶管主体的左端开凿有出胶孔，推杆的右部固定连接有U形固定块，U形固定块的前后内壁之间转动连接有第一转轴，第一转轴的表面固定连接有连接杆，最终可以实现通过转把、推杆和活塞的相互配合，使得挤出的硅酮胶均匀度大致相同，进而提高物品的粘接质量，消除了安全隐患。
硅酮挤出装置

[实用新型]一种定量挤压式密封硅酮胶管-CN202022256756.6有效
发明人：姚美娟;夏长城;王崇伟 -专利权人：山东景茂新材料有限公司
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： B65D25/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种定量挤压式密封硅酮胶管，属于化工产品包装技术领域，包括胶管主体，胶管主体的上端开凿有第一安装孔，第一安装孔内活动贯穿有推杆，胶管主体内固定连接有固定板，固定板的上端开凿有第二安装孔，推杆活动贯穿第二安装孔，推杆的下端固定连接有活塞，推杆的表面套设有弹簧，推杆的表面固定连接有固定块，固定块位于弹簧的上部，胶管主体的上端安装有第一密封圈，胶管主体的上部设置有上螺纹套筒，胶管主体的表面设置有第一外螺纹，上螺纹套筒螺纹连接于胶管主体的表面，最终可以实现通过将硅酮胶注入胶管主体内，然后通过移动活塞对硅硐胶进行使用，并且通过多个螺纹套筒的相互配合提高胶管主体的密封性。
一种定量挤压密封硅酮胶管

[实用新型]一种硅酮密封胶涂装胶枪-CN202021916778.4有效
发明人：张国权;刘兆高;夏长城 -专利权人：山东景茂新材料有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： B05C17/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅酮密封胶涂装胶枪，属于密封胶涂装设备技术领域，包括胶枪主体，胶枪主体圆周内壁之间固定连接有固定板，固定板的左端开凿有第一安装孔，第一安装孔内活动插接有安装杆，安装杆的表面套设有第一弹簧，安装杆的左端固定连接有活塞，活塞滑动连接于胶枪主体内，安装杆的上表面固定连接有连接块，胶枪主体的上端开凿有第一滑孔，连接块滑动连接于第一滑孔内，安装杆的下端开凿有两个插槽，胶枪主体的下端右部固定连接有第一握把，第一握把内开凿有安装槽，最终可以实现弹簧和卡块的相互配合，提高打胶的效率，同时提高了打胶时的均匀度，使得物品粘接的更加牢固。
一种硅酮密封胶涂装胶枪

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