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[发明专利]驱动机构、晶片表面清理设备及抛光设备-CN202311042729.0在审
发明人：朱亮;李阳健;陈道光;罗洪吉;夏希林 -专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明提供一种驱动机构、晶片表面清理设备及抛光设备，驱动机构包括转料驱动件、输出轴、轮体支架和从动轮，输出轴连接于转料驱动件并能够转动，从动轮转动安装于轮体支架，输出轴及/或从动轮套设有可弹性形变的蓄水套，蓄水套在受压状态下释放液体。蓄水套能够在晶片边缘的压力作用下被加压，从而排出具有一定初速度的液体，因此可以利用从蓄水套中排出的液体清洗晶片的外周边缘，更好地清除晶片表面的杂质及晶粒残留，提高了晶片的清洗质量；此外，蓄水套可以对晶片起到一定的缓冲减震作用，降低晶片受震荡冲击而损坏的概率，有利于提高晶片的良品率。
驱动机构晶片表面清理设备抛光

[发明专利]晶片表面处理设备-CN202311042733.7在审
发明人：朱亮;李阳健;陈道光;罗洪吉;夏希林 -专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明提供一种晶片表面处理设备，包括转晶机构与清理机构，转晶机构包括驱动套和从动轮，驱动套与从动轮围绕预设转料轴线周向间隔设置，以形成用于搭载圆形晶片的载料区域，驱动套与从动轮承载晶片时，转料轴线与晶片的轴线重合；清理机构包括至少两个刷辊，每个刷辊的外周能够接触晶片并形成接触段，至少一个接触段的长度小于载料直径，载料直径为载料区域沿转料轴线的垂直方向的最大尺寸。接触段作为刷辊接触晶片端面的区域短于晶片直径，因而本发明实现了缩短刷辊和晶片之间的沟槽的目的，更短的沟槽意味着残存于沟槽内的杂质及废液更少，有利于提高晶片的清洁度，通过晶片表面处理设备清理过的晶片更容易达标。
晶片表面处理设备

[发明专利]晶片表面处理机构及晶片表面处理设备-CN202311042731.8在审
发明人：朱亮;李阳健;陈道光;罗洪吉;夏希林 -专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种晶片表面处理机构及晶片表面处理设备，晶片表面处理机构包括供水系统、刷辊支架和至少两个转动安装于刷辊支架的刷辊，至少一个刷辊的外周沿轴向依次设有至少两个刷套，位于所述刷辊的至少两个刷套具有不同的热膨胀系数，供水系统包括蓄水室和供水通道，供水通道连通蓄水室，并形成朝向刷套设置的出水口。刷套获得液体后在温度影响下胀缩形变，同一根刷辊中不同刷套发生不同程度的形变和体积变化，故不同刷套接触晶片的情况不同，不再是整根刷辊上所有刷套都同时接触晶片，由此缩短了刷辊上和晶片接触的区域的长度，意味着刷辊和晶片之间的沟槽更短，更短的沟槽意味着残存于其中的杂质和废液越少。
晶片表面处理机构设备

[发明专利]一种用于工件加工和检测的电动夹具-CN201911084412.7有效
发明人：曲兴田;夏希林;赵风尚;郭相坤;齐昊罡;黄康;蔡炜炯 -专利权人：吉林大学重庆研究院
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于工件加工和检测的电动夹具，属于机械加工技术领域的工装夹具。夹紧机构安装在基座上，平台通过支架安装基座上，锁紧机构固定在平台上，控制器固定在平台上,测量装置固定在靠近控制仪的平台上，防撞检测装置固定在夹紧机构的挡块I侧且靠近平台边缘处。优点是：采用单个电机通过锥齿传动和螺杆传动驱动挡块在X方向和Y方向同时同步沿导轨滑动，快速实现工件的夹紧，提高工作效率，减少劳动强度，实现加工检测一体化，不仅节省大量装夹与检测时间，还可以缩减专门的检测人员和检测工具，从而节省大量工件制造成本。
一种用于工件加工检测电动夹具

[发明专利]一种全天候未知环境无人自主工作平台-CN201911092699.8有效
发明人：张旺;黄康;齐昊罡;蔡炜烔;赵风尚;夏希林;郭相坤 -专利权人：吉林大学
申请日： 2019-11-11 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G06T19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于全天候未知环境无人自主工作平台，属于人工智能和视觉导航领域；包括立体视觉定位、红外可见光融合、图像识别、地图构建和回环与返程检测五个模块，视觉定位与图像识别模块共用图卷积神经网络框架，视觉定位选取关键帧进行特征匹配与视觉定位，图像识别针对点云局部地图进行语义分类，地图构建模块进行点云拼接形成全局深度稠密语义地图。本发明引入深度神经网络提高特征提取效果节省提取时间；采用单目视觉测距，节省多目视差配准时间；进行多光谱融合关键帧图像，实现全天候高效工作，提高被遮目标检出率。
一种全天候未知环境无人自主工作平台

[实用新型]一种用于工件加工的电动夹具-CN201921914407.X有效
发明人：曲兴田;夏希林;赵风尚;郭相坤;齐昊罡;黄康;蔡炜炯 -专利权人：吉林大学
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于工件加工的电动夹具，属于机械加工技术领域的工装夹具。夹紧机构安装在基座上，平台通过支架安装基座上，锁紧机构固定在平台上。优点是：结构新颖，采用单个电机通过锥齿传动和螺杆传动驱动各挡块在X方向和Y方向同时同步沿导轨滑动，不仅可以代替传统的手动夹紧，快速实现工件的夹紧，提高工作效率，减少劳动强度，还可以将工件牢固可靠定位到夹具上，提高工件的加工稳定性和工件的加工精度，提高工件的合格率。
一种用于工件加工电动夹具

[实用新型]一种测量保险杠刚强度的装置-CN201921894278.2有效
发明人：曲兴田;赵风尚;夏希林;黄康;郭相坤;齐昊罡;蔡炜炯 -专利权人：吉林大学
申请日： 2019-11-05 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： G01N3/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种测量保险杠刚强度的装置，属于刚强度检测装置。滑块与导轨一滑动连接，支撑板二两端与导轨二滑动连接，伺服电动缸固定连接在缸架上，伺服电动缸的缸杆与支撑板一、支撑板二滑动连接，加载头安装在缸杆前端，步进电动机一通过螺栓固定在横梁上面，丝杠通过联轴器和步进电动机一连接，丝杠与支撑板二上的丝杠连板螺纹连接，步进电动机二通过螺栓固定在支架内部，齿轮与步进电动机二的输出轴固定连接，齿条通过螺栓固定在底座上面，齿轮与齿条啮合连接。优点是结构新颖，可以测量多点处的刚强度；既可以测量刚度又可以测量强度，大大提高了精确度，更加准确并且环保，后期的维修成本低，易于安装。
一种测量保险杠强度装置

[发明专利]一种电动式土壤贯入阻力与温度的测量装置-CN201610537373.1有效
发明人：刘立意;刘镇业;李义德;马悦;汪雨晴;张宝鹏;夏希林 -专利权人：东北农业大学
申请日： 2016-07-08 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： G01N33/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种土壤圆锥指数和温度的测量装置，包括测量表头、电动贯入装置、折叠扶手、固定套、支架、支撑底板、支脚、推杆、圆锥形贯入头和测力传感器。电动贯入装置包括直流电机、机座、导向套筒，测量表头与机座连接。圆锥形贯入头在恒速贯入土壤过程中受到来自土壤的贯入阻力，推杆以二力杆形式将所受贯入阻力传递给测力传感器，贯入深度由电机贯入速度和贯入土壤时间的乘积计算得出，温度由温度传感器测出，液晶显示屏实时显示出的土壤贯入深度、土壤圆锥指数、土壤温度。本发明实现了恒速贯入、自动记录和数据储存，其测量精度高、结构简单、工作效率高。
一种电动土壤阻力温度测量装置

[发明专利]一种电动式排种器-CN201610809273.X有效
发明人：刘立意;李贵宾;封纪港;刘亚儒;夏希林;吴翔;温欣 -专利权人：东北农业大学
申请日： 2016-09-08 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： A01C7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种电动式排种器，涉及农作物播种设备。本发明包括箱体、排种轮、清种毛刷轮、清种片及排种检测传感装置；排种轮为电动式轮环形结构，排种轮外环的外圆周壁上设置有盛种窝眼和清种片滑道，内圆周壁上均匀排布有长方体永磁铁，构成内磁环；内磁环中装有圆柱体软磁定铁芯，软磁定铁芯外圆周壁的嵌线槽内均匀绕有线圈绕组，其中心装有固定支撑轴，且一个端面上安装有转速测量装置；固定支撑轴两侧安装有轴承，端盖与轴承外圈相固联，使得排种轮外环、端盖、内磁环成一体绕轴转动；排种轮经传动机构带动清种毛刷轮同向转动。本发明体积较小，结构简单，有效降低了排种器驱动和传动结构的复杂度，实现了排种器的实时调速与变量排种。
排种轮排种器电动式固定支撑轴清种毛刷轮外圆周壁定铁芯内磁环清种片端盖软磁转速测量装置播种设备传动结构传感装置环形结构均匀排布内圆周壁排种检测绕轴转动实时调速同向转动线圈绕组轴承外圈复杂度嵌线槽永磁铁固联滑道内磁排种种窝轴承农作物驱动

[实用新型]一种电动式排种器-CN201621043477.9有效
发明人：刘立意;李贵宾;封纪港;夏希林;刘亚儒;吴翔;温欣 -专利权人：东北农业大学
申请日： 2016-09-08 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： A01C7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电动式排种器，涉及农作物播种设备。本实用新型包括箱体、排种轮、清种毛刷轮、清种片及排种检测传感装置；排种轮为电动式轮环形结构，排种轮外环的外圆周壁上设置有盛种窝眼和清种片滑道，内圆周壁上均匀排布有长方体永磁铁，构成内磁环；内磁环中装有圆柱体软磁定铁芯，软磁定铁芯外圆周壁的嵌线槽内绕有线圈绕组，其中心装有固定支撑轴，且一个端面上安装有转速测量装置；固定支撑轴两侧安装有轴承，端盖与轴承外圈相固联，使得排种轮外环、端盖、内磁环成一体绕轴转动；排种轮经传动机构带动清种毛刷轮同向转动。本实用新型体积较小，结构简单，降低了排种器驱动和传动结构的复杂度，实现了排种器的实时调速与变量排种。
一种电动式排种器

[实用新型]一种电动式土壤贯入阻力与温度的测量装置-CN201620719803.7有效
发明人：刘立意;刘镇业;李义德;马悦;汪雨晴;张宝鹏;夏希林 -专利权人：东北农业大学
申请日： 2016-07-08 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： G01N33/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电动式土壤贯入阻力与温度的测量装置，包括测量表头、电动贯入装置、折叠扶手、固定套、支架、支撑底板、支脚、推杆、圆锥形贯入头和测力传感器。电动贯入装置包括直流电机、机座、导向套筒，测量表头与机座连接。圆锥形贯入头在恒速贯入土壤过程中受到来自土壤的贯入阻力，推杆以二力杆形式将所受贯入阻力传递给测力传感器，贯入深度由电机贯入速度和贯入土壤时间的乘积计算得出，温度由温度传感器测出，液晶显示屏实时显示出的土壤贯入深度、土壤圆锥指数、土壤温度。本实用新型实现了恒速贯入、自动记录和数据储存，其测量精度高、结构简单、工作效率高。
一种电动土壤阻力温度测量装置

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