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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于光学监控个别灯的方法、系统与设备-CN202280018050.5在审
发明人：胡积玓;柴坦尼亚·安贾内亚鲁·普拉萨德;姚东明;塞缪尔·C·豪厄尔斯;维伦·K·内斯托洛夫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2022-01-21 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供用于光学监控基板处理腔室的各个灯的方法、系统及设备。在一个方面中，对各个灯进行监控，以确定是否需要更换一个或多个灯。一种方法包括使用耦接至管道镜的一个或多个相机来捕获基板处理腔室内的一个或多个灯的多个图像。分析多个图像以识别与每个灯相关联的图像参考区域中的平均光像素强度的变化。该方法包括基于平均光像素强度变化的检测来产生警报。
用于光学监控个别方法系统设备

[发明专利]用于低温透射测温的探测器-CN201710625449.0有效
发明人： 塞缪尔·C·豪厄尔斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-07-27 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：一种处理基板的装置和方法包括：探测器歧管，所述探测器歧管用以探测来自腔室主体中的处理区附近的辐射；辐射探测器，所述辐射探测器光耦合至所述探测器歧管；和光谱多陷波滤波器。处理基板的装置和方法包括：探测来自腔室主体中的基板的发射表面的透射辐射；将所探测的辐射的至少一个光谱带传递至光探测器；以及分析在至少一个光谱带中的所探测的辐射以确定基板的推断温度。
用于低温透射测温探测器

[发明专利]用于激光处理设备的多重光束组合器-CN201610717185.7有效
发明人：斯蒂芬·莫法特;道格拉斯·E·霍姆格伦;塞缪尔·C·豪厄尔斯;埃德里克·唐;布鲁斯·E·亚当斯;季平·李;阿伦·缪尔·亨特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-12-13 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： G02B27/10 文献下载
摘要：公开用于组合放大的辐射光束的设备和方法。光束组合器具有准直光学元件，该准直光学元件被定位成相对于准直光学元件的光轴以恒定的入射角接收多个相干辐射光束。各自的入射角度在某些实施方式中亦可为不同的。准直光学元件具有使光束准直的光学特性。该光学特性可为折射或反射，或折射与反射的结合。亦可提供聚集光学元件以将多个光束引导至准直光学元件。光束组合器可用于热处理设备中，以将诸如激光的两个以上的相干放大辐射光束组合至单一光束中。
用于激光处理设备多重光束组合

[发明专利]光纤阵列线路发生器-CN201480067786.7有效
发明人：道格拉斯·E·霍姆格伦;塞缪尔·C·豪厄尔斯;阿伦·缪尔·亨特;西奥多·P·莫菲特;迪瓦卡尔·N·科德拉雅 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-11-25 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： H01S3/0941 文献下载
摘要：在此所描述的具体实施方式涉及基板的快速热处理。光纤耦合激光二极管阵列设置于光学系统中，所述光学系统经配置以在基板表面上产生均匀辐照图案。多个单独可控的激光二极管经由多个光纤而与一个或多个透镜光学耦接。所述光纤耦合激光二极管阵列产生高斯辐射分布，所述高斯辐射分布经透镜散焦而产生均匀强度图像。在一个具体实施方式中，场光阑设置于所述光学系统内。
光纤阵列线路发生器

[发明专利]扫描脉冲退火装置及方法-CN201580035113.8有效
发明人：阿伦·缪尔·亨特;阿米科姆·萨德;塞缪尔·C·豪厄尔斯;道格拉斯·E·霍姆格伦;布鲁斯·E·亚当斯;西奥多·P·莫菲特;斯蒂芬·莫法特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-06-15 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：一种用于热处理基板的装置、系统及方法。脉冲电磁能量源能以至少100Hz的频率产生脉冲。可移动基板支撑件可相对于电磁能量脉冲移动基板。光学系统可设置在能量源和可移动基板支撑件之间，且可包含将电磁能量脉冲塑形成矩形分布的部件。控制器可命令所述电磁能量源以选定的脉冲频率产生能量脉冲。所述控制器也可命令所述可移动基板支撑件以选定的速度在平行于所述矩形分布的选定的边缘的方向上进行扫描，使得沿着平行于所述选定的边缘的直线上的每个点接收预定数量的电磁能量脉冲。
扫描脉冲退火装置方法

[发明专利]光纤阵列线路发生器-CN201710626101.3有效
发明人：道格拉斯·E·霍姆格伦;塞缪尔·C·豪厄尔斯;阿伦·缪尔·亨特;西奥多·P·莫菲特;迪瓦卡尔·N·科德拉雅 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-11-25 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：在此所描述的具体实施方式涉及基板的快速热处理。光纤耦合激光二极管阵列设置于光学系统中，所述光学系统经配置以在基板表面上产生均匀辐照图案。多个单独可控的激光二极管经由多个光纤而与一个或多个透镜光学耦接。所述光纤耦合激光二极管阵列产生高斯辐射分布，所述高斯辐射分布经透镜散焦而产生均匀强度图像。在一个具体实施方式中，场光阑设置于所述光学系统内。
光纤阵列线路发生器

[发明专利]使用微透镜阵列而产生线路的光学设计-CN201610887491.5有效
发明人：道格拉斯·E·霍姆格伦;塞缪尔·C·豪厄尔斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-10-12 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明的实施例提供一种设备，该设备包括基板支撑件；激光辐射源，该激光辐射源沿着光学路径发射激光辐射；和照明光学器件，该照明光学器件沿着光学路径设置。照明光学器件包括慢轴透镜集合和快轴透镜集合。设备进一步包括均化器，该均化器沿着光学路径设置在照明光学器件与基板支撑件之间。均化器包括柱状透镜的第一微光学小透镜阵列和柱状透镜的第二微光学小透镜阵列，其中柱状透镜的第二微光学小透镜阵列具有相对大于柱状透镜的第一微光学小透镜阵列的小透镜间距的小透镜间距，且第一微光学小透镜阵列的小透镜轴和第二微光学小透镜阵列的小透镜轴沿着轴定向，该轴平行于激光辐射源的快轴。
使用透镜阵列产生线路光学设计

[发明专利]新型热处理设备-CN201610565610.5有效
发明人：斯蒂芬·莫法特;道格拉斯·E·霍姆格伦;塞缪尔·C·豪厄尔斯;埃德里克·唐;布鲁斯·E·亚当斯;季平·李;阿伦·缪尔·亨特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-06-20 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：描述了光学系统，所述光学系统能够跨越包含于衬底的表面上的退火区域可靠地递送数量均匀的能量。所述光学系统经调适以在衬底的表面上的所要区域上递送或投射具有所要二维形状的数量均匀的能量。用于光学系统的能量源通常为多个激光，所述多个激光经组合以形成能量场。
光学系统递送衬底激光新型热处理二维形状设备描述退火区域能量场能量源投射

[实用新型]透射测温探测器-CN201720924190.5有效
发明人： 塞缪尔·C·豪厄尔斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-07-27 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本实用新型公开一种透射测温探测器。所述透射测温探测器包括探测器歧管，所述探测器歧管用以探测来自腔室主体中的处理区附近的辐射；辐射探测器，所述辐射探测器光耦合至所述探测器歧管；和光谱多陷波滤波器。
透射测温探测器

[发明专利]扫描脉冲退火装置及方法-CN201710606365.2在审
发明人：阿伦·缪尔·亨特;阿米科姆·萨德;塞缪尔·C·豪厄尔斯;道格拉斯·E·霍姆格伦;布鲁斯·E·亚当斯;西奥多·P·莫菲特;斯蒂芬·莫法特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-06-15 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：一种用于热处理基板的装置、系统及方法。脉冲电磁能量源能以至少100Hz的频率产生脉冲。可移动基板支撑件可相对于电磁能量脉冲移动基板。光学系统可设置在能量源和可移动基板支撑件之间，且可包含将电磁能量脉冲塑形成矩形分布的部件。控制器可命令所述电磁能量源以选定的脉冲频率产生能量脉冲。所述控制器也可命令所述可移动基板支撑件以选定的速度在平行于所述矩形分布的选定的边缘的方向上进行扫描，使得沿着平行于所述选定的边缘的直线上的每个点接收预定数量的电磁能量脉冲。
扫描脉冲退火装置方法

[发明专利]使用微透镜阵列而产生线路的光学设计-CN201280044675.5有效
发明人：道格拉斯·E·霍姆格伦;塞缪尔·C·豪厄尔斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-10-12 - 公布日： 2016-11-02 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明的实施例提供一种设备，该设备包括基板支撑件；激光辐射源，该激光辐射源沿着光学路径发射激光辐射；和照明光学器件，该照明光学器件沿着光学路径设置。照明光学器件包括慢轴透镜集合和快轴透镜集合。设备进一步包括均化器，该均化器沿着光学路径设置在照明光学器件与基板支撑件之间。均化器包括柱状透镜的第一微光学小透镜阵列和柱状透镜的第二微光学小透镜阵列，其中柱状透镜的第二微光学小透镜阵列具有相对大于柱状透镜的第一微光学小透镜阵列的小透镜间距的小透镜间距，且第一微光学小透镜阵列的小透镜轴和第二微光学小透镜阵列的小透镜轴沿着轴定向，该轴平行于激光辐射源的快轴。
使用透镜阵列产生线路光学设计

[发明专利]用于激光处理设备的多重光束组合器-CN201280052799.8有效
发明人：斯蒂芬·莫法特;道格拉斯·E·霍姆格伦;塞缪尔·C·豪厄尔斯;埃德里克·唐;布鲁斯·E·亚当斯;季平·李;阿伦·缪尔·亨特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-12-13 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：公开用于组合放大的辐射光束的设备和方法。光束组合器具有准直光学元件，该准直光学元件被定位成相对于准直光学元件的光轴以恒定的入射角接收多个相干辐射光束。各自的入射角度在某些实施方式中亦可为不同的。准直光学元件具有使光束准直的光学特性。该光学特性可为折射或反射，或折射与反射的结合。亦可提供聚集光学元件以将多个光束引导至准直光学元件。光束组合器可用于热处理设备中，以将诸如激光的两个以上的相干放大辐射光束组合至单一光束中。
用于激光处理设备多重光束组合

[发明专利]新型热处理设备-CN201280027949.X有效
发明人：斯蒂芬·莫法特;道格拉斯·E·霍姆格伦;塞缪尔·C·豪厄尔斯;埃德里克·唐;布鲁斯·E·亚当斯;季平·李;阿伦·缪尔·亨特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-06-20 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明大体而言涉及光学系统，所述光学系统能够跨越包含于衬底的表面上的退火区域可靠地递送数量均匀的能量。所述光学系统经调适以在衬底的表面上的所要区域上递送或投射具有所要二维形状的数量均匀的能量。用于光学系统的能量源通常为多个激光，所述多个激光经组合以形成能量场。
新型热处理设备

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