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[发明专利]晶片保持装置-CN202180088991.1在审
发明人：竹岛诚;久保祐辉;冈浩平;西川修二 -专利权人：东丽工程株式会社;塔斯米特株式会社
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供晶片保持装置，在对容易产生翘曲或变形的晶片进行保持时，即使在仅允许该晶片的外周下部的一部分接触的情况下，也能够以期望的姿势可靠地进行保持。具体而言，晶片保持装置以水平状态接收晶片并以规定的姿势进行保持，其特征在于，该晶片保持装置具有：第一支承部，其从下方支承设定于晶片的外周下部的接触允许区域中的第一支承部位；第二支承部，其从下方支承第二支承部位；第三支承部，其支承第三支承部位；第一升降部；第二升降部；负压吸引部；以及控制部，控制部至少具有第一支承模式、第二支承模式以及第三支承模式，在对通过所述第一支承模式接收到的所述晶片进行吸引保持的状态下，在从该第一支承模式切换为所述第二支承模式之后，切换为所述第三支承模式。
晶片保持装置

[发明专利]外观检查装置及方法-CN202180068633.4在审
发明人：大美英一 -专利权人：东丽工程株式会社;塔斯米特株式会社
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：提供外观检查装置及方法，即使检查对象部位包含允许外缘的位置偏移、尺寸误差的变动区域，也能够不检测疑似缺陷而获得所期望的检查结果。具体而言，外观检查装置检查检查对象部位的外观，具备：检查图像取得部，取得检查图像；检查基准图像登记部，登记成为检查的基准的基准图像；以及检查部，比较检查图像和基准图像来进行检查，检查对象部位包含允许外缘的位置偏移、尺寸误差的变动区域，具备检测变动区域的外缘位置的边缘检测部，作为基准图像，登记有成为对变动区域进行检查的基准的变动区域基准图像，检查部比较检查图像中的变动区域、和变动区域基准图像中的基于由边缘检测部检测出的外缘的位置而与该变动区域位置对应的区域，来检查该变动区域。
外观检查装置方法

[发明专利]图案测量方法-CN202180035695.5在审
发明人：中泽伸一 -专利权人： 塔斯米特株式会社
申请日： 2021-05-06 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种自动确定形成在晶圆、掩模、面板、基板等工件上的图案的尺寸等特征量的测量方案的方法。本方法基于在设计数据中定义的坐标系上的测量点(111)和CAD图案(101)的相对位置、以及CAD图案(101)的面积，确定CAD图案(101)的类型和测量方案，进行与CAD图案(101)对应的图像上的实际图案(121)和CAD图案(101)的对位，按照确定的测量方案测量实际图案(121)的特征量。
图案测量方法

[发明专利]扫描电子显微镜-CN202180022962.5在审
发明人：齐藤尚也;久保田大辅 -专利权人： 塔斯米特株式会社
申请日： 2021-03-18 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：本发明涉及以电子束扫描晶圆、掩膜、面板、基板等工件而生成该工件的图像的扫描电子显微镜。本发明的扫描电子显微镜具备：偏转器(17、18)，它们使电子束偏转而以电子束扫描工件(W)上的目标区域(T)；以及偏转控制部(22)，其对偏转器(17、18)施加扫描电压和偏移电压，所述扫描电压使电子束扫描目标区域(T)，所述偏移电压将电子束从光轴中心(O)挪到目标区域(T)。
扫描电子显微镜

[发明专利]图案缺陷检测方法-CN202180031114.0在审
发明人：丸山浩太郎 -专利权人： 塔斯米特株式会社
申请日： 2021-04-21 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本方法通过扫描电子显微镜(50)生成包含形成在多个层上的多个图案的层叠结构(400)的反射电子图像，将包含CAD图案的虚拟层叠结构(300)的多个区域根据虚拟层叠结构(300)的深度方向上的CAD图案排列而分类为多个组，该CAD图案根据上述多个图案的设计数据而生成，进行反射电子图像上的多个图案中的至少一个与对应的CAD图案的匹配，计算与属于各组的区域对应的反射电子图像上的区域的亮度指标值，当亮度指标值在标准范围外时，确定在反射电子图像上的区域内有图案缺陷。
图案缺陷检测方法

[发明专利]图案匹配方法-CN202180026528.4在审
发明人：三浦祐治 -专利权人： 塔斯米特株式会社
申请日： 2021-04-09 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本方法对属于第1组的参考图案(210A)的宽度的测量值进行累计来确定第1累计值，对属于第2组的参考图案(210B)的宽度的测量值进行累计来确定第2累计值，实施第2区域的图像上的多个图案与对应的多个CAD图案的第2匹配，对属于第1组的图案(220A)的宽度的测量值进行累计来确定第3累计值，对属于第2组的图案(220B)的宽度的测量值进行累计来确定第4累计值，在第3累计值与第4累计值的大小关系和第1累计值与第2累计值的大小关系一致时，确定正确地进行了第2匹配。
图案匹配方法

[发明专利]图案边缘检测方法、图案边缘检测装置、记录有用于让计算机执行图案边缘检测的程序的记录介质-CN202080092004.0在审
发明人：冈本阳介 -专利权人： 塔斯米特株式会社
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G01B15/04 文献下载
摘要：本发明涉及从由扫描电子显微镜生成的图像中检测与半导体制造有关的在晶圆或掩膜等工件上形成的图案的边缘(轮廓线)的方法。图案边缘检测方法中，生成在工件上形成的目标图案的对象图像，生成表示对象图像的各像素的多个特征量的特征向量，将特征向量输入至通过机器学习构建出的模型，从模型输出表示具有特征向量的像素为边缘的像素还是非边缘的像素的判定结果，将得到了表示边缘的像素的判定结果的具有特征向量的多个像素以线相连来生成假想边缘。
图案边缘检测方法装置记录用于计算机执行程序介质

[发明专利]一种生成校正线的方法和装置以及计算机可读记录介质-CN201980022609.X有效
发明人：金子功次 -专利权人： 塔斯米特株式会社
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G01B15/04 文献下载
摘要：本方法是一种生成表示晶片图案的边缘与基准图案的边缘的偏离量和与所述基准图案的边缘邻接的空间的宽度的关系的校正线的方法，包括如下工序：制作与处于所指定的区域内的基准图案邻接的空间的宽度的出现频率图，获取与在所述出现频率图中示出的多个空间宽度对应的晶片图案的图像，计算所述图像上的所述晶片图案的边缘与对应的基准图案的边缘的偏离量，将根据所述多个空间宽度与所述边缘的偏离量而确定的多个数据点标绘在坐标系上，根据所述坐标系上的所述多个数据点而生成所述校正线。
一种生成校正方法装置以及计算机可读记录介质

[发明专利]图像生成方法-CN202080023950.X在审
发明人：丸山浩太郎 -专利权人： 塔斯米特株式会社
申请日： 2020-03-06 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种图像生成方法，该图像生成方法选择存在具有比阈值高的唯一性值的图案的剪辑区域(C1)，确定存在于选择的剪辑区域(C1)内的特定点，即第1特定点(P1)，由扫描电子显微镜生成通过确定的第1特定点(P1)的坐标所确定的芯片上的第1点(F1)的图像，计算表示第1特定点(P1)与图像上的第1点(F1)的偏移的多个矢量(V1)，确定存在具有阈值以下的唯一性值的图案的剪辑区域内的第2特定点(P5)，基于矢量(V1)来校正确定的第2特定点(P5)的坐标。
图像生成方法

[发明专利]图像匹配方法以及用于执行图像匹配处理的运算系统-CN201980082059.0在审
发明人：森泰平 -专利权人： 塔斯米特株式会社
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： G01B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于进行设计数据上的图案与图像上的图案的对位的图像匹配处理，特别涉及使用通过机器学习构建的模型的图像匹配处理。本方法将设计数据上的指定的CAD图案转换为CAD图像(301)，将CAD图像(301)输入到通过机器学习构建的模型中，按照由模型定义的算法执行计算，由此从模型输出疑似图像(321)，从由图像生成装置(100)生成的图像上的多个图案中，确定具有与疑似图像(321)上的CAD图案(322)的形状最接近的形状的图案。
图像匹配方法以及用于执行处理运算系统

[发明专利]图案边缘检测方法-CN201980021715.6在审
发明人：大家政洋 -专利权人： 塔斯米特株式会社
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： G06T7/13 文献下载
摘要：本发明涉及一种能够应用于使用图案的设计数据来进行图案检查的半导体检查装置的图案边缘检测方法。在本方法中，生成图案的图像，基于根据图案的设计数据生成的基准图案来检测图像上的图案的边缘，重复进行图案的图像的生成与图像上的图案的边缘的检测，制作由多个图像与对应的多个图案边缘构成的训练数据候选，通过从训练数据候选排除满足预先确定的不合格条件的图案边缘和对应的图像，从而确定训练数据，使用训练数据，通过机器学习而生成边缘检测模型，生成其他图案的图像，使用边缘检测模型来检测图像上的其他图案的边缘。
图案边缘检测方法

[发明专利]测定背散射电子能谱的装置及方法-CN201980016742.4在审
发明人：嘉藤诚;佐佐木澄夫;田中幸浩;山崎裕一郎 -专利权人： 塔斯米特株式会社
申请日： 2019-03-01 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： H01J37/05 文献下载
摘要：本发明涉及用于分析从试样产生的背散射电子的能量的装置及方法。该装置包括：电子束源(101)，其用于产生一次电子束；电子光学系统(102、105、112)，其使一次电子束引导至试样地会聚并偏转；以及能量分析系统，其能够检测从试样产生的背散射电子的能谱。能量分析系统具备：维恩过滤器(108)，其使背散射电子分散；检测器(107)，其用于测定由维恩过滤器(108)分散的背散射电子的能谱；以及动作控制部(150)，其一边使维恩过滤器(108)的四极场的强度变化，一边与四极场的强度的变化同步地使检测器(107)的背散射电子的检测位置移动。
测定散射电子装置方法

[发明专利]扫描电子显微镜的自动对焦方法-CN201980011846.6在审
发明人：久保田大辅 -专利权人： 塔斯米特株式会社
申请日： 2019-01-18 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： H01J37/21 文献下载
摘要：本发明涉及利用隔行扫描的扫描电子显微镜的自动对焦技术。扫描电子显微镜的自动对焦方法如下：一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描所述试样，由此生成在试样的表面上形成的图案(160)的间隔剔除图像，一边改变所述电子束的焦点位置和照射位置，一边多次执行生成所述图案(160)的间隔剔除图像的工序，由此生成所述图案(160)的多个间隔剔除图像，计算所述多个间隔剔除图像的每个的多个清晰度，根据所述多个清晰度确定最佳焦点位置。
扫描电子显微镜自动对焦方法

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