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[发明专利]用于器件制造机器的集成光学传感器控制器-CN202180055301.2在审
发明人： 基基什伊·尚;米哈伊尔·塔拉布钦;文卡塔·拉加瓦亚·乔杜里·科德 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-08-18 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G06V10/147 文献下载
摘要：所公开的实施方式描述一种集成传感器控制器，包含传感器电路及逻辑电路。该传感器电路包括用于产生驱动信号的光源驱动器，利用该驱动信号产生将被传递至多个传感器中的一者的多个输出驱动信号的解复用器，及放大器，该放大器用于从第一传感器接收第一信号以及产生第二信号，该第一信号与代表基板在器件制造机器内的位置的第一事件相关联。该传感器电路进一步包括用于接收该第二信号并产生第三信号的模数转换器。该逻辑电路包括存储器装置及耦接至该存储器装置的处理装置，该处理装置基于该第三信号来获得有关该基板的该位置的信息。
用于器件制造机器集成光学传感器控制器

[发明专利]用于对基板的温度控制的方法和系统-CN202180032651.7在审
发明人：保罗·扎卡里·沃思;基基什伊·尚;米哈伊尔·塔拉布钦 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-05-05 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了一种用于控制基板支撑组件的温度的方法。向嵌入在该基板支撑组件的分区中的加热元件供应第一直流(DC)功率，该基板支撑组件被包括在处理腔室中。测量跨该加热元件的电压。类似地，测量流过该加热元件的电流。基于跨该加热元件的该电压和流过该加热元件的该电流来确定该基板支撑组件的该分区的温度。确定该分区的所确定的温度与该分区的目标温度之间的温度差异。至少部分地基于该温度差异来确定向该加热元件递送以实现该目标温度的第二DC功率。向该加热元件供应该第二DC功率以使得该分区的该温度被修改为该目标温度。
用于温度控制方法系统