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[发明专利]压力传感器的保温装置及其压力传感器-CN202111532108.1在审
发明人：高乐;韩雪飞;林立男;张琳琳;陶硕;刘旭强;唐嫒尧;王杰 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F16L59/04 文献下载
摘要：本发明提供一种压力传感器的保温装置及其压力传感器，包括保温外壳，所述保温外壳罩在压力传感器的加热源外，所述保温外壳上设置有供所述压力传感器的进气管穿出的通孔，且所述保温外壳与所述加热源之间设置有空隙。通过在保温外壳和加热源之间设置空隙，以空气为主要保温材料，提高了该压力传感器的保温装置的隔热性能，有利于降低压力传感器达到所需温度的加热功耗，并且，能在不减弱保温效果的前提下，既减小了整体结构的空间体积，又降低了压力传感器的成本，同时又避免了保温材料使用寿命短的缺点。
压力传感器保温装置及其

[发明专利]薄膜电容式真空规-CN202211543286.9在审
发明人：刘公超;廖兴才;韩雪飞;林立男;刘旭强;王杰;唐嫒尧 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及真空计技术领域，提供一种薄膜电容式真空规，其包括：外壳；应力释放结构；电极极板，电极极板设于外壳的内部，电极极板通过应力释放结构与外壳连接并将外壳分隔形成参考腔和工艺腔；弹性薄膜，弹性薄膜设于工艺腔内，且与电极极板连接形成封闭腔。本发明提供的一种薄膜电容式真空规，通过在外壳与电极极板之间设置应力释放结构，用于释放外壳传导到电极极板和弹性薄膜上的应力，减小甚至消除应力向弹性薄膜的传导，从而减小弹性薄膜因应力产生的翘曲现象，减小真空度测量偏差，提高测量准确性。
薄膜电容真空

[发明专利]一种具有低翘曲度的晶圆-CN202211600657.2在审
发明人：姜浩延;韩雪飞;林立男;张琳琳;曹文静;孙润吉;唐嫒尧;陶硕 -专利权人：北京晨晶电子有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种具有低翘曲度的晶圆，晶圆包括基底和设置于基底上的膜层结构，膜层结构能减小晶圆的翘曲度。膜层结构包括至少一层功能膜层和至少一层平衡膜层，平衡膜层对基底产生的应力与功能膜层对基底产生的应力方向相反，以减小所述晶圆所受的合应力，功能膜层是实现晶圆所需的功能膜层结构，通常功能膜层由于材料热膨胀系数与基底材料有差异会对晶圆产生应力，平衡膜层是通过平衡膜层材料与基底材料的热膨胀系数差别对晶圆产生与功能膜层相反方向的应力，通过平衡膜层与功能膜层对晶圆之间产生的应力的相互作用，使得膜层间应力相互抵消，使得整体晶圆所受合应力减小，从而降低整体晶圆的翘曲度。
一种具有曲度

[发明专利]真空度检测电路、真空规及真空度检测方法-CN202211275215.5在审
发明人：宋冬谊;王松杰;王杰;唐嫒尧;张永斌;闫冉;廖兴才;林立男 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种真空度检测电路、真空规及真空度检测方法，属于真空测量技术领域，该真空度检测电路包括：顺次连接的载波生成模块、电容检测模块及输出处理模块。本发明实施例提供的真空度检测电路，设置顺次连接的载波生成模块、电容检测模块及输出处理模块，在电容检测模块设置包括薄膜电容器的内环电容的电容桥，将载波作为电容桥的电压输入端，利用和载波同频的方波控制开关电路，并使得开关电路在方波变化方向时分别连通电容桥的两个中点电压信号，利用输出处理模块将开关电路输出的信号进行处理后可以得到反映真空度的直流电压信号，该电路全部采用模拟电路设计，大大地减小了系统噪声，降低了系统成本。
真空检测电路方法

[发明专利]基于双路温控的薄膜真空计以及双路温控方法-CN202211117537.7在审
发明人：王松杰;王杰;刘旭强;韩雪飞;闫冉;林立男;宋冬谊;唐嫒尧;廖兴才 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于双路温控的薄膜真空计以及双路温控方法，薄膜真空计包括：等温体温控电路、下规管温控电路、电容器以及下规管，等温体温控电路与电容器连接，下规管与下规管温控电路以及电容器连接，第一电压控制模块，用于接收第一测温元件的第一变化值，并基于第一变化值输出第一控制信号，控制第一加热元件的加热效率，以控制电容器在预设温度范围内工作，第二电压控制模块，用于接收第二测温元件的第二变化值，并基于第二变化值输出第二控制信号，控制第二加热元件的加热效率，以控制下规管在预设温度范围内工作。这样，可以极大地降低温度对薄膜真空计的影响，提高薄膜真空计的稳定性。
基于温控薄膜真空计以及方法

[发明专利]电容式薄膜真空计检测装置、真空计及检测方法-CN202210556319.7在审
发明人：王松杰;廖兴才;林立男;汤一;闫冉;王杰;宋冬谊;唐嫒尧;高乐 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种电容式薄膜真空计检测装置、真空计及检测方法，该装置包括：载波生成单元、信号采集单元、第一定时器和处理单元；载波生成单元用于根据配置的数字信号生成载波信号，并将载波信号传输至真空计的电极；信号采集单元用于采集真空计的调制信号，并对调制信号进行模数转换后传输至处理单元；其中，调制信号是将真空计的电极的输出信号调制到载波信号得到的；第一定时器用于触发载波生成单元和信号采集单元同步进行信号的传输；处理单元用于对模数转换后的调制信号进行信号处理，得到真空计的气压检测结果。本发明采用数字驱动的方式获取真空计的气压检测结果，有效保证了检测装置的线性度，且信号处理过程更为简单，无需复杂的电路。
电容薄膜真空计检测装置方法

[发明专利]真空度检测电路、真空度检测方法及真空计-CN202111466865.3在审
发明人：王杰;汤一;宋冬谊;王松杰;韩雪飞;唐嫒尧;廖兴才;林立男 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种真空度检测电路、真空度检测方法及真空计，其中，真空度检测电路包括：微处理器模块、信号驱动模块和信号检测模块，其中，所述信号检测模块的输入端与所述信号驱动模块的输出端连接，所述信号检测模块的输出端与所述微处理器模块的输入端连接，所述微处理器模块的输出端与所述信号驱动模块的输入端连接；所述信号驱动模块用于接收所述微处理器模块发出的第一载波，并将所述第一载波传输至所述信号检测模块；所述信号检测模块用于检测真空度，并将所述真空度的检测结果发送至所述微处理器模块。通过本发明的真空度检测电路，实现了通过一种具有简单结构的数字电路，即可满足对真空度测量灵敏度与信噪比的要求。
真空检测电路方法真空计

[发明专利]一种基于薄膜电容器的气体真空度检测方法及系统-CN202111481431.0在审
发明人：宋冬谊;韩雪飞;王松杰;王杰;唐嫒尧;汤一;廖兴才;林立男;张永斌 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于薄膜电容器的气体真空度检测方法及系统，包括：将预设的激励信号分别输入含有薄膜电容器的检测电路和含有参考电容器的基准电路，在所述激励信号的作用下分别由所述检测电路和基准电路得到输出信号；根据所述检测电路的输出信号以及所述基准电路的输出信号，得到检测信号；对所述检测信号进行解算，得到气体真空度检测值；其中，所述参考电容器为除薄膜电容器外的其他种类的电容器。用以解决现有技术中对中高真空范围的真空度测量方法方案复杂，且真空度不高的缺陷，实现中高真空范围的高真空度的准确检测，且检测方法简单易于实施。
一种基于薄膜电容器气体真空检测方法系统

[发明专利]真空规颗粒阻挡结构-CN202111468150.1在审
发明人：刘旭强;林立男;陶硕;张琳琳;高乐;唐嫒尧;廖兴才 -专利权人：北京晨晶精仪电子有限公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及真空度测量技术领域，提供一种真空规颗粒阻挡结构，包括壳体、基层挡板和至少一层叠加层挡板，壳体的一侧适于固定薄膜电极，壳体的另一侧形成有空气通道；基层挡板设置在壳体内靠近空气通道一侧，并与壳体固定连接，基层挡板上设置有第一通气口，第一通气口在垂直于空气通道的延伸方向上与空气通道错位设置；叠加层挡板设置在基层挡板靠近薄膜电极的一侧，并与壳体固定连接，叠加层挡板上设置有第二通气口，第二通气口在垂直于空气通道的延伸方向上与第一通气口错位设置。本发明提供的真空规颗粒阻挡结构，基层挡板和叠加层挡板共同作用，对薄膜电极起到良好的防护作用，有效避免颗粒物到达薄膜电极并在薄膜电极上沉积。
真空颗粒阻挡结构

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